CN203794627U - 一氧化氮纯化器 - Google Patents
一氧化氮纯化器 Download PDFInfo
- Publication number
- CN203794627U CN203794627U CN201320883537.8U CN201320883537U CN203794627U CN 203794627 U CN203794627 U CN 203794627U CN 201320883537 U CN201320883537 U CN 201320883537U CN 203794627 U CN203794627 U CN 203794627U
- Authority
- CN
- China
- Prior art keywords
- nitric oxide
- absorption tank
- tank
- tourie
- purifier
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Lifetime
Links
- MWUXSHHQAYIFBG-UHFFFAOYSA-N Nitric oxide Chemical compound O=[N] MWUXSHHQAYIFBG-UHFFFAOYSA-N 0.000 title abstract description 24
- GQPLMRYTRLFLPF-UHFFFAOYSA-N Nitrous Oxide Chemical compound [O-][N+]#N GQPLMRYTRLFLPF-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 18
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 claims description 4
- 238000010521 absorption reaction Methods 0.000 abstract description 12
- 238000000034 method Methods 0.000 abstract description 4
- 238000001179 sorption measurement Methods 0.000 abstract description 4
- 239000003463 adsorbent Substances 0.000 abstract description 3
- OKTJSMMVPCPJKN-UHFFFAOYSA-N Carbon Chemical compound [C] OKTJSMMVPCPJKN-UHFFFAOYSA-N 0.000 abstract 4
- OMBRFUXPXNIUCZ-UHFFFAOYSA-N dioxidonitrogen(1+) Chemical compound O=[N+]=O OMBRFUXPXNIUCZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 8
- 239000007789 gas Substances 0.000 description 7
- LZDSILRDTDCIQT-UHFFFAOYSA-N dinitrogen trioxide Chemical compound [O-][N+](=O)N=O LZDSILRDTDCIQT-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 6
- 239000012535 impurity Substances 0.000 description 6
- 239000002594 sorbent Substances 0.000 description 6
- IJGRMHOSHXDMSA-UHFFFAOYSA-N Atomic nitrogen Chemical compound N#N IJGRMHOSHXDMSA-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- 238000000746 purification Methods 0.000 description 4
- LPXPTNMVRIOKMN-UHFFFAOYSA-M sodium nitrite Chemical compound [Na+].[O-]N=O LPXPTNMVRIOKMN-UHFFFAOYSA-M 0.000 description 4
- HEMHJVSKTPXQMS-UHFFFAOYSA-M Sodium hydroxide Chemical compound [OH-].[Na+] HEMHJVSKTPXQMS-UHFFFAOYSA-M 0.000 description 3
- 239000000047 product Substances 0.000 description 3
- CDBYLPFSWZWCQE-UHFFFAOYSA-L Sodium Carbonate Chemical compound [Na+].[Na+].[O-]C([O-])=O CDBYLPFSWZWCQE-UHFFFAOYSA-L 0.000 description 2
- UIIMBOGNXHQVGW-UHFFFAOYSA-M Sodium bicarbonate Chemical compound [Na+].OC([O-])=O UIIMBOGNXHQVGW-UHFFFAOYSA-M 0.000 description 2
- 238000006243 chemical reaction Methods 0.000 description 2
- 238000009833 condensation Methods 0.000 description 2
- 230000005494 condensation Effects 0.000 description 2
- 238000001816 cooling Methods 0.000 description 2
- 238000003795 desorption Methods 0.000 description 2
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 2
- 230000007613 environmental effect Effects 0.000 description 2
- 229910052757 nitrogen Inorganic materials 0.000 description 2
- 229910052939 potassium sulfate Inorganic materials 0.000 description 2
- OTYBMLCTZGSZBG-UHFFFAOYSA-L potassium sulfate Chemical compound [K+].[K+].[O-]S([O-])(=O)=O OTYBMLCTZGSZBG-UHFFFAOYSA-L 0.000 description 2
- VWDWKYIASSYTQR-UHFFFAOYSA-N sodium nitrate Chemical compound [Na+].[O-][N+]([O-])=O VWDWKYIASSYTQR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 235000010288 sodium nitrite Nutrition 0.000 description 2
- CURLTUGMZLYLDI-UHFFFAOYSA-N Carbon dioxide Chemical compound O=C=O CURLTUGMZLYLDI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000007832 Na2SO4 Substances 0.000 description 1
- GRYLNZFGIOXLOG-UHFFFAOYSA-N Nitric acid Chemical compound O[N+]([O-])=O GRYLNZFGIOXLOG-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- IOVCWXUNBOPUCH-UHFFFAOYSA-N Nitrous acid Chemical compound ON=O IOVCWXUNBOPUCH-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- PMZURENOXWZQFD-UHFFFAOYSA-L Sodium Sulfate Chemical compound [Na+].[Na+].[O-]S([O-])(=O)=O PMZURENOXWZQFD-UHFFFAOYSA-L 0.000 description 1
- QAOWNCQODCNURD-UHFFFAOYSA-N Sulfuric acid Chemical compound OS(O)(=O)=O QAOWNCQODCNURD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 230000000274 adsorptive effect Effects 0.000 description 1
- WYTGDNHDOZPMIW-RCBQFDQVSA-N alstonine Natural products C1=CC2=C3C=CC=CC3=NC2=C2N1C[C@H]1[C@H](C)OC=C(C(=O)OC)[C@H]1C2 WYTGDNHDOZPMIW-RCBQFDQVSA-N 0.000 description 1
- 239000007864 aqueous solution Substances 0.000 description 1
- QVGXLLKOCUKJST-UHFFFAOYSA-N atomic oxygen Chemical compound [O] QVGXLLKOCUKJST-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 description 1
- 238000009835 boiling Methods 0.000 description 1
- BVKZGUZCCUSVTD-UHFFFAOYSA-N carbonic acid Chemical compound OC(O)=O BVKZGUZCCUSVTD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000007795 chemical reaction product Substances 0.000 description 1
- 238000005229 chemical vapour deposition Methods 0.000 description 1
- 230000007812 deficiency Effects 0.000 description 1
- 230000018044 dehydration Effects 0.000 description 1
- 238000006297 dehydration reaction Methods 0.000 description 1
- 239000003814 drug Substances 0.000 description 1
- 238000001914 filtration Methods 0.000 description 1
- XLYOFNOQVPJJNP-ZSJDYOACSA-N heavy water Substances [2H]O[2H] XLYOFNOQVPJJNP-ZSJDYOACSA-N 0.000 description 1
- 239000007788 liquid Substances 0.000 description 1
- 229910000372 mercury(II) sulfate Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910017604 nitric acid Inorganic materials 0.000 description 1
- 230000003647 oxidation Effects 0.000 description 1
- 238000007254 oxidation reaction Methods 0.000 description 1
- 239000001301 oxygen Substances 0.000 description 1
- 229910052760 oxygen Inorganic materials 0.000 description 1
- 235000010289 potassium nitrite Nutrition 0.000 description 1
- 238000002360 preparation method Methods 0.000 description 1
- 238000010926 purge Methods 0.000 description 1
- 239000002994 raw material Substances 0.000 description 1
- 229920006395 saturated elastomer Polymers 0.000 description 1
- 229910052710 silicon Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010703 silicon Substances 0.000 description 1
- 235000017557 sodium bicarbonate Nutrition 0.000 description 1
- 229910000030 sodium bicarbonate Inorganic materials 0.000 description 1
- 235000017550 sodium carbonate Nutrition 0.000 description 1
- 229910000029 sodium carbonate Inorganic materials 0.000 description 1
- 235000010344 sodium nitrate Nutrition 0.000 description 1
- 229910052938 sodium sulfate Inorganic materials 0.000 description 1
- 235000011152 sodium sulphate Nutrition 0.000 description 1
- 235000011149 sulphuric acid Nutrition 0.000 description 1
Landscapes
- Separation Of Gases By Adsorption (AREA)
Abstract
本实用新型的一氧化氮纯化器,包括吸收罐,在吸收罐的外围绕有气体输送管,气体输送管一端伸入到吸收罐的内腔底部,另一端接有进气嘴,在吸收罐的上部设有出气嘴,吸收罐内堆放有活性炭和吸附剂,在吸收罐的外围套装有低温罐。所述的位于吸收罐内侧底部的气体输送管的端部围制成圆形,并在圆形部分上加工有多个出气孔。所述的低温罐为冰机或盛有低温介质的罐体。本实用新型的一氧化氮纯化器,工作时一氧化氮气体通过吸收罐外侧的气体输送管后再进入吸收罐内腔底部,然后在吸收罐内上升,自出气嘴排出进入输送装置或储存装置,在此过程中由于处于低温环境,并有活性炭和吸附剂的吸附,使一氧化氮气体得到纯化。结构简单,操作方便,容易控制。
Description
技术领域
本实用新型涉及一种一氧化氮纯化器,用于对生产的一氧化氮进一步纯化。
背景技术
一氧化氮是一种特种气体,广泛应用于医药、电子、科研、环保、精细化工等,在电子行业主要用于硅的氧化膜形成、氧化、化学气相淀积。一氧化氮制备原理如下:
1、3Cu + 8HNO3(稀) ==== 3Cu(NO3)2 + 2NO↑ + 4H2O;
2、NaNO2+H2SO4==== 2N0↑+Na2SO4+H2O+NaNO3;
3、KNO2+2Hg+2H2SO4===2NO↑+K2SO4+HgSO4+2H20;
4、2KNO3+4H2SO4+6FeSO4===3Fe2(SO4)3+2NO↑+K2SO4+H2O;
5、2HI+HNO2===I2+2NO↑+2H2O。
由以上原理可以看出,反应产物中都有水分的存在,一氧化氮又会与反应器中的微量氧气反应生产二氧化氮2NO+O2==N02;二氧化氮又会与一氧化氮反应生产三氧化二氮NO+NO2==N2O3,由于反应原料纯度问题又会有新杂质产生,例如NaNO2纯度的问题,里面一般会含有部分的Na2CO3、NaHCO3,在反应中会生产CO2杂质,传统工艺在过滤纯化过程中,会使用一定比例的NaOH水溶液进行第一段的脱H2SO4、HNO3、H2CO3、CO2、N2O,第二段会采用CaO脱水、第三段会采用特殊吸附剂脱除部分NO2,由于这种吸附剂对NO2脱除效果非常有限,因此一氧化氮纯度水平多数保持在99.0%以内,含有大量的NO2、N2O3等杂质,而科研、环保、电子等行业对一氧化氮纯度要求非常高、尤其电子行业对一氧化氮中二氧化氮杂质一般要求在100ppm以内,目前急需提供一种对生产的一氧化氮气体进一步纯化的装置。
发明内容
本实用新型的目的是提供一种结构简单、操作方便、容易控制的一氧化氮纯化器,克服现有技术的不足。
本实用新型的一氧化氮纯化器,包括吸收罐,在吸收罐的外围绕有气体输送管,气体输送管一端伸入到吸收罐的内腔底部,另一端接有进气嘴,在吸收罐的上部设有出气嘴,在吸收罐的外围套装有低温罐。
所述的位于吸收罐内侧底部的气体输送管的端部围制成圆形,并在圆形部分上加工有多个出气孔。
所述的低温罐为冰机或盛有低温介质的罐体。
本实用新型的一氧化氮纯化器,工作时一氧化氮气体通过吸收罐外侧的气体输送管后可得到预冷凝,其内的杂质达到液滴状态,再进入吸收罐内腔底部由活性炭及吸附剂吸附纯化,提高了纯化效果,然后在吸收罐内上升,自出气嘴排出进入输送装置或储存装置,在此过程中由于处于低温环境,并有活性炭和吸附剂的吸附,使一氧化氮气体得到纯化。结构简单,操作方便,容易控制。
附图说明
图1是本实用新型具体实施方式的结构示意图。
具体实施方式
如图1所示:1为吸收罐,吸收罐1内堆放有活性炭和吸附剂。吸收罐1上方通过螺栓连接有盖8,3为气体输送管,气体输送管3的一端接有进气嘴4,气体输送管3缠绕在吸收罐1的外侧,然后经过右接头9连接外部管6,再通过左连接头5与吸收罐1内的内管2相接,内管2的下端位于吸收罐1内腔底部并围制成环形,在环形部加工有多个均匀分布的出气孔。在盖8上连接有排出管10,排出管10接有出气嘴7。进气嘴4、左连接头5、出气嘴7、右连接头9均螺纹连接在同一个上盖板上。上盖板盖在低温罐11上。吸收罐1位于低温罐11内。低温罐11可以选择冰机套装在吸收罐1的外侧,也可以是盛有低温介质的罐体,使吸收罐1处于低温环境中。
本纯化器是将一氧化氮的粗产品输送至吸收罐的外侧,方便冷却粗产品气,将冷却后的产品气经过吸附罐内的活性炭及吸附剂吸附纯化。吸收罐外侧缠绕的气体输送管形成蛇形冷凝管位于低温环境中,由冰机或低温介质提供-42oC的冷量,因为本纯化器主要用于脱除经一段、二段纯化后未彻底的脱除的NO2,NO2沸点为21.2oC,熔点为-11.2oC,根据这种特性可采用低温冷凝的方式使吸附剂对杂质有更大的吸附量。运行时可将两个纯化器并联,当一个吸附饱和后,将气路切换到另一个运行。被切换下来的纯化器进入升温氮气吹扫过程,抽真空脱附阶段,脱附合格后备用。如果选用盛有低温介质的罐体,当运行一段时间后介质温度升高,可加入液氮降温。
Claims (3)
1.一种一氧化氮纯化器,其特征在于:包括吸收罐(1),在吸收罐(1)的外围绕有气体输送管,气体输送管一端伸入到吸收罐(1)的内腔底部,另一端接有进气嘴(4),在吸收罐(1)的上部设有出气嘴(7),在吸收罐(1)的外围套装有低温罐(11)。
2.根据权利要求1所述的一氧化氮纯化器,其特征在于:所述的位于吸收罐(1)内侧底部的气体输送管的端部围制成圆形,并在圆形部分上加工有多个出气孔。
3.根据权利要求2所述的一氧化氮纯化器,其特征在于:所述的低温罐(11)为冰机或盛有低温介质的罐体。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
CN201320883537.8U CN203794627U (zh) | 2013-12-31 | 2013-12-31 | 一氧化氮纯化器 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
CN201320883537.8U CN203794627U (zh) | 2013-12-31 | 2013-12-31 | 一氧化氮纯化器 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
CN203794627U true CN203794627U (zh) | 2014-08-27 |
Family
ID=51376860
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
CN201320883537.8U Expired - Lifetime CN203794627U (zh) | 2013-12-31 | 2013-12-31 | 一氧化氮纯化器 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
CN (1) | CN203794627U (zh) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN111547690A (zh) * | 2020-06-19 | 2020-08-18 | 大连大特气体有限公司 | 一种高纯度的电子级一氧化氮生产装置 |
-
2013
- 2013-12-31 CN CN201320883537.8U patent/CN203794627U/zh not_active Expired - Lifetime
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN111547690A (zh) * | 2020-06-19 | 2020-08-18 | 大连大特气体有限公司 | 一种高纯度的电子级一氧化氮生产装置 |
CN111547690B (zh) * | 2020-06-19 | 2024-03-29 | 大连大特气体有限公司 | 一种高纯度的电子级一氧化氮生产装置 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
CN102765701B (zh) | 一种六氟化硫气体净化提纯方法及其净化提纯固化罐 | |
CN105457451A (zh) | 一种氨气吸收装置 | |
CN103848398B (zh) | 采用一体式低温吸附法生产超纯氢装置 | |
CN106938188A (zh) | 脱除并回收硫酸尾气中so2的吸附剂及其制备 | |
CN203794627U (zh) | 一氧化氮纯化器 | |
CN103055655B (zh) | 一种环己烷氧化系统尾气的处理方法 | |
CN112938899A (zh) | 一种高纯电子级溴化氢的提纯方法 | |
CN102765702A (zh) | 一种六氟化硫气体净化提纯组罐及其净化提纯方法 | |
CN104556035A (zh) | 一种食品级高纯度液体二氧化碳的制备方法及其制备装置 | |
CN106794416A (zh) | 从废气催化移除二氧化硫的方法 | |
CN205235699U (zh) | 一种吸附塔及lng原料气的净化装置 | |
CN203671253U (zh) | 一种氢空发生器装置 | |
CN206414936U (zh) | 一种硝酸工业尾气除碳提取n2o的预处理设备和纯化装置 | |
CN104383789B (zh) | 碳纤维增强石墨的工业尾气处理成套设备 | |
CN206214979U (zh) | 一种二硫化碳的真空脱附系统 | |
CN205709899U (zh) | 一种氨气纯化装置 | |
CN109351138A (zh) | 一种VOCs焚烧废气处理方法及装置 | |
CN203845819U (zh) | 锂电池用低露点氮气制造系统 | |
CN210366992U (zh) | 一种制备高纯度二氧化硫气体的装置 | |
CN204159186U (zh) | 全石墨尾气净化塔 | |
CN201906547U (zh) | 稀氨水提浓吸收塔 | |
CN101987726A (zh) | 气体纯化装置 | |
CN201940149U (zh) | 真空绝热式高纯气体低温吸附纯化设备 | |
CN204159190U (zh) | 碳纤维增强石墨的工业尾气处理成套设备 | |
CN207371308U (zh) | 一种可提高换热效率的吸附塔 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
C14 | Grant of patent or utility model | ||
GR01 | Patent grant | ||
CX01 | Expiry of patent term |
Granted publication date: 20140827 |
|
CX01 | Expiry of patent term |