CN203767208U - 化学液存储瓶 - Google Patents

Abstract

本实用新型公开了一种化学液存储瓶，所述化学液存储瓶包括：瓶端口部，其包括顶壁、自所述顶壁的边缘延伸而成的端口侧壁、自所述顶壁的边缘延伸而成的外缘部，所述外缘部的延伸方向与所述端口侧壁的延伸方向相反，所述外缘部和所述顶壁共同围成有凹槽，所述凹槽容纳从所述化学液存储瓶泄露出的化学液；与所述瓶端口部接合在一起的瓶本体部，其中所述瓶端口部和所述瓶本体部共同形成一个容纳腔，所述顶壁上设置有供传输管线穿过的与所述容纳腔相通的瓶口。其能同时满足易于制造，较低成本，收集泄漏液体等需求。

Description

化学液存储瓶

【技术领域】

本实用新型涉及液体存放容器领域，特别涉及化学液存储瓶。

【背景技术】

通常可用做化学药品自动化传输的化学药液存储瓶，是由一个瓶身和一个含多个通道的瓶盖组成，如高效液相色谱(HPLC)中流动液的存储瓶。将用于传输化学液体的管子的一头通过瓶盖上的通道进入瓶中，定位在接近瓶子的底部地区，再将管子的另一头接到一个液泵入口上，通过液泵产生的吸力将化学液传输到要传输的地方。为了保证液泵传送化学液速度的稳定，通常会通过瓶盖的另一个通道，给存储瓶输入氮气，在液面产生低压，以保证液泵进口有足够的液体供应。

在半导体制造业，常需要采用各种化学药液对基体进行清洗、刻蚀和做特殊表面的准备。由于高端半导体产品的制造工艺对基体表面洁净度的要求超高，为了避免在化学液配制、传输过程中有可能发生的污染及安全问题，从化学药液的配制、传送，到使用完后的收集过程都需要采用全自动控制机制。这就需要特制的化学药液存储瓶以满足化学药液全自动化传输。

可应用于半导体制造的化学液存储瓶必须满足耐腐蚀、不影响化学液纯度及超净度的要求。在半导体制造业常采用含有氢氟酸的化学配方，对化学液中的金属污染浓度要求在十亿分之一(ppb)水平之下，因此，化学液瓶通常采用超纯、耐腐蚀的塑料材料制成，如：聚乙烯(PP)、聚四氟乙烯(PTFE、PFA、PVDF)等。市场上可选用的塑料瓶主要分为两种：一种是由瓶身和含有多通道的瓶盖两部分组成的结构；一种是瓶身和瓶盖一体的结构。

为了减少化学液中的颗粒污染，在化学液的传输过程需要尽可能地避免使用液泵，而是通过往化学液存储瓶输入氮气，在化学液存储瓶中产生压力，将瓶中的化学液压出瓶中。常见的瓶身和瓶盖可分离的塑料瓶能承受的压力很有限，通常在10psi气体压力状态时，在瓶盖和瓶身的连接处就会发生气体泄漏，这不仅限制瓶中压力的增高，同时由于泄漏的气体会同时带出化学蒸汽，产生安全隐患。而瓶身瓶盖一体的瓶子，能很好的解决气体泄漏的问题，但通常因为需要特制模具，制造成本很高。

有必要提出一种改进的技术方案来克服上述问题。

【发明内容】

本实用新型的目的在于提供一种容易制造，成本较低，同时能够收集泄漏液体的化学液存储瓶。

为了实现上述目的，根据本实用新型的一个方面，本实用新型公开了一种化学液存储瓶，其包括：瓶端口部，其包括顶壁、自所述顶壁的边缘延伸而成的端口侧壁、自所述顶壁的边缘延伸而成的外缘部，所述外缘部的延伸方向与所述端口侧壁的延伸方向相反，所述外缘部和所述顶壁共同围成有凹槽，所述凹槽容纳从所述化学液存储瓶泄露出的化学液；与所述瓶端口部接合在一起的瓶本体部，其中所述瓶端口部和所述瓶本体部共同形成一个容纳腔，所述顶壁上设置有供传输管线穿过的与所述容纳腔相通的瓶口。

进一步的，所述外缘部上形成有与所述凹槽相通的排泄孔。

进一步的，所述瓶口包括自所述顶壁的外表面向外延伸而成的凸起部，所述瓶端口部具有自所述凸起部的表面向内延伸的接合孔以及自所述接合孔继续向内延伸并贯穿所述顶壁的管线孔，其中所述接合孔的尺寸大于所述管线孔的尺寸，所述化学液存储瓶还包括其内设置有通孔的接合部件，该接合部件可拆卸的固定于所述接合孔内，在接合部件固定于所述接合孔内时，所述通孔与所述管线孔形成管线通道，传输管线能够通过所述管线通道延伸入所述容纳腔内，借助于所述接合部件和所述接合孔的配合使得所述容纳腔成为一个封闭的空腔。

进一步的，所述凸起部包括有位于所述顶壁的中部的凸台以及环绕所述凸台的凸肋，所述凸台上形成有一个接合孔，在所述凸肋上形成有至少一个接合孔。

进一步的，所述瓶本体部包括瓶腔体部和瓶体底部，所述瓶腔体部为中空的柱体，所述瓶腔体部的柱体一端与所述瓶端口部通过焊接接合在一起，所述瓶腔体部的柱体另一端与所述瓶体底部通过焊接结合在一起。

进一步的，所述瓶体底部包括底壁、自所述底壁的边缘延伸而成的底部侧壁和自所述底壁的边缘延伸而成的支撑部，所述支撑部的延伸方向与所述底部侧壁的延伸方向相反，所述底部侧壁与所述瓶腔体部通过焊接接合在一起。

进一步的，所述瓶体底部和所述瓶端口部是使用同一个模具注塑加工而成的。

进一步的，所述瓶腔体部是由至少两个柱形瓶腔体元件焊接而成。

进一步的，所述瓶本体部和所述瓶端口部是使用同一个模具注塑加工而成的。

与现有技术相比，本实用新型中提出的化学液存储瓶，能同时满足易于制造，较低成本，收集泄漏液体等需求。

【附图说明】

下面结合附图和实例对本实用新型进一步说明。

图1为本实用新型中的化学瓶存储瓶的制造方法在一个实施例中的流程示意图；

图2A和图2B分别为本实用新型中的化学液存储瓶的瓶端口部胚件在一个实施例中的剖视示意图以及俯视示意图；

图3A和图3B分别为本实用新型中的化学液存储瓶的瓶端口部在一个实施例中的剖视示意图以及俯视示意图；

图4分别为本实用新型中的化学液存储瓶的瓶腔体部在一个实施例中的结构示意图；

图5分别为本实用新型中的化学液存储瓶的瓶体底部在一个实施例中的结构示意图；

图6分别为本实用新型中的化学液存储瓶在一个实施例中的整体结构示意图；

图7分别为本实用新型中的化学液存储瓶在另一个实施例中的整体结构示意图；

图8分别为本实用新型中的化学液存储瓶在再一个实施例中的整体结构示意图；

图9分别为本实用新型中的化学液存储瓶在另外一个实施例中的整体结构示意图。

具体实施方式

下面结合附图与实例对本实用新型做进一步说明。

此次所说明的附图是用来提供对本实用新型的进一步理解，构成本实用新型的一部分，本实用新型的示意实例及其说明用于解释本实用新型，并不构成对本实用新型的不当限定。

图1为本实用新型中的化学液存储瓶的制造方法在一个实施例中的流程示意图。如图1所示，所述制造方法100包括如下步骤。

步骤110，结合图2A和图2B所示，提供瓶端口部胚件290，所述瓶端口部胚件290包括有顶壁210、自所述顶壁210的边缘延伸而成的端口侧壁220、自所述顶壁210的外表面向外延伸而成的凸起部230、自所述顶壁210的边缘延伸而成的外缘部240，所述外缘部240的延伸方向与所述端口侧壁220的延伸方向相反，所述外缘部240和所述顶壁210共同围成有凹槽270，所述凹槽270可以容纳从所述化学液存储瓶泄露出的化学液。

所述瓶端口部胚件290是由注塑加工工艺形成。

在一个实施例中，如图2A和图2B所示，所述凸起部230包括有位于所述顶壁210的中部的凸台231以及环绕所述凸台231的凸肋232。

步骤120，结合图3A和图3B，在所述瓶端口部胚件290上加工形成自所述凸起部230的表面向内延伸的接合孔251以及自所述接合孔251继续向内延伸并贯穿所述顶壁210的管线孔252，以最终形成瓶端口部200，其中所述接合孔251的尺寸大于所述管线孔252的尺寸。

如图3A所示，在一个实施例中，所述外缘部240上形成有与所述凹槽270相通的排泄孔260，通过管道连接所述排泄孔可以将泄漏于所述凹槽270内的化学液排放到指定收集地点。

如图3A所示，所述凸台231上形成有一个接合孔251和与其对应的管线孔252，在所述凸肋232上形成有至少一个接合孔251和与其对应的管线孔252，比如4个或更多个。

由于采用的是机加工工艺，可以很容易的根据应用要求，来加工出所需要尺寸的和数量的接合孔251和所述管线孔252，从而满足多通道传输需求。

步骤130，提供瓶腔体部300以及瓶体底部400。

如图4所示，所述瓶腔体部300为中空的柱体。

如图5所示，所述瓶体底部400包括底壁410、自所述底壁410的边缘延伸而成的底部侧壁420和自所述底壁410的边缘延伸而成的支撑部430，所述支撑部430的延伸方向与所述底部侧壁420的延伸方向相反。

所述支撑部430可以起到支撑所述化学液存储瓶的作用。所述底壁410呈弧形，这样可以尽可能的排空所述化学液存储瓶内的化学液。

在一个改变的实施例中，所述瓶腔体部300可以与所述瓶体底部400是一体成型的，此时他们可以被共同称为瓶本体部。

步骤140，结合图6所示，将所述瓶腔体部300的一端301与所述瓶端口部200通过焊接接合在一起，将所述瓶腔体部300的另一端302与所述瓶体底部400通过焊接结合在一起。这样，所述瓶腔体部300、瓶体底部400、瓶端口部200共同形成一个容纳腔500，该容纳腔500仅通过所述管线孔252与外界相通。

在一个改变的实施例中，假如所述瓶腔体部300可以与所述瓶体底部400是一体成型的，那么会将所述瓶本体部通过焊接于所述瓶端口部200焊接在一起，所述瓶端口部和所述瓶本体部会共同形成所述容纳腔。

步骤150，提供其内设置有通孔的接合部件(未图示)，该接合部件可拆卸的固定于所述接合孔251内，在接合部件固定于所述接合孔251内时，所述通孔与所述管线孔251形成管线通道，传输管线(未图示)能够通过所述管线通道延伸入所述容纳腔500内。

在一个优选的实施例中，所述接合孔251为内螺纹孔，所述接合部件为外螺纹部件，所述接合部件通过螺纹紧紧的固定于所述接合孔251内。此外，在接合部件的下方还设置有密封配件，如垫圈(未图示)，以保证密封性。

这样就可以得到最终的化学液存储瓶，传输管线可以向所述化学液存储瓶注入化学液，也可以从所述化学液存储瓶抽出化学液。所述化学液存储瓶可以耐受较高的内部压力，比如在50psi气体压力状态时，在接合部件与接合孔251之间也不会发生气体泄漏或液体泄漏。

为了进一步保证安全，所述化学液存储瓶还设置有如图3A所示的收集泄漏液体的凹槽270，可以在凹槽270的位置设置各种探测液体的传感器，以发出警报，防止化学液大范围泄漏。

在本实用新型中的化学液存储瓶的制造方法中，所述瓶端口部200经过两次加工，首先是通过注塑加工工艺形成所述瓶端口部胚件290，之后在经过机加工工艺形成最终的瓶端口部200，而所述瓶体底部400、所述瓶腔体部300都是经过一次加工而成，即通过注塑加工工艺一次成型。

综上所述，在一个实施例中，采用注塑工艺设计并制造出三种模具，即瓶端口部模具、瓶腔体部模具以及瓶体底端部模具，在瓶端口部胚件经机加工后，应用焊接方式将瓶端口部200、瓶体底部400与瓶腔体部300衔接起来，即形成了所述化学液存储瓶(图6)。

在一个可选择的实施例中，所述瓶端口部胚件290和/最终的瓶端口部200中也可以不设置所述凸起部230、管线孔252和接合孔251，取而代之的是，可以在所述顶壁210上设置有供传输管线穿过的其它瓶口结构，比如现有的外螺纹瓶口结构，通过瓶盖与所述瓶口配合实现密封，传输管线穿过所述瓶盖和所述瓶口延伸入所述容纳腔500内。在此实施例中，瓶端口部200可以与瓶本体部一起由一个模具注塑成型。在此实施例中，本实用新型的重点或特点之一在于：瓶端口部200的外缘部结构设计，由于它自己形成了容纳从所述化学液存储瓶的瓶口泄露出的化学液凹槽270，假如在凹槽270内设置传感器就可以很容易的自动监控所述化学液存储瓶是否发生泄漏。

易于想到的是，注塑成型的瓶端口部胚件290也可以直接被用作瓶体底部400，同样的，只要将瓶端口部胚件290(此时作为瓶体底部400使用)、瓶端口部200和瓶腔体部300焊接在一起即可，瓶端口部胚件290的外缘部240可以用来支撑所述化学液存储瓶，具体可以参看图7所示的化学液存储瓶，这样就不需要再单独的设计瓶体底部400的模具，即瓶体底部400与所述瓶端口部200使用同一个模具注塑加工而成，这样只需要两套模具就可以完成化学液存储瓶的制造。

此外，由于存储瓶的容量需求各不相同，在现有技术中，则需要不断的改变模具或生产线以生产出不同容量的存储瓶。而在本实用新型中，只需要根据实际容量需求，来设置不同的瓶腔体部300的数量，即可以将两个或多个瓶腔体部焊接在一起成型一个更长的瓶腔体部，此时如图4所示的单独的一个瓶腔体部可以被称为一个瓶腔体元件。如图8所示，其采用了两个瓶腔体元件。每个瓶腔体元件都是基于同一个模具注塑加工而成的，这样不需要增加模具的数量，就可以制造出不同容量的化学液存储瓶。

另外，作为一种改变，也可以将瓶体底部400和瓶腔体部300注塑成型在一起，此时他们可以被称为是瓶本体部，这样只需要将瓶本体部的一端与所述瓶端口部200的一端相焊接即可。进一步的，也可以将注塑成型的瓶端口部胚件290直接用作瓶本体部，作为瓶本体部的瓶端口部胚件290和瓶端口部200焊接在一起形成化学液存储瓶，具体可以参看图9所示的化学液存储瓶。这样，只需要开发1个模具就可以实现化学液存储瓶的制造，降低了成本，操作方便。

根据本实用新型的另一个方面，结合图2A-图9所示，本实用新型还提供一种化学液存储瓶，其包括：瓶端口部200和与所述瓶端口部接合在一起的瓶本体部，所述瓶端口部和所述瓶本体部共同形成一个容纳腔500。

所述瓶端口部200包括顶壁210、自所述顶壁的边缘延伸而成的端口侧壁220、自所述顶壁的外表面向外延伸而成的凸起部230，所述瓶端口部具有自所述凸起部230的表面向内延伸的接合孔251以及自所述接合孔继续向内延伸并贯穿所述顶壁的管线孔252，其中所述接合孔的尺寸大于所述管线孔的尺寸，所述容纳腔500仅通过所述管线孔252与外界相通。

所述化学液存储瓶还包括其内设置有通孔的接合部件，该接合部件可拆卸的固定于所述接合孔251内，在接合部件固定于所述接合孔内时，所述通孔与所述管线孔形成管线通道，传输管线能够通过所述管线通道延伸入所述容纳腔内，借助于所述接合部件和所述接合孔251的配合使得所述容纳腔500成为一个封闭的空腔。在一个优选的实施例中，所述接合孔251为内螺纹孔，所述接合部件为外螺纹部件，所述接合部件通过螺纹紧紧的固定于所述接合孔251内。此外，在接合部件的下方还设置有密封配件，如垫圈(未图示)，以保证密封性。

在一个实施例中，所述瓶端口部200还包括有自所述顶壁的边缘延伸而成的外缘部240，所述外缘部的延伸方向与所述端口侧壁的延伸方向相反，所述外缘部和所述顶壁共同围成有凹槽270，所述凹槽容纳从所述化学液存储瓶泄露出的化学液。所述外缘部270上形成有与所述凹槽相通的排泄孔260，通过管道连接所述排泄孔260可以将泄漏于所述凹槽270内的化学液排放到指定收集地点。

在一个实施例中，所述凸起部230包括有位于所述顶壁的中部的凸台231以及环绕所述凸台的凸肋232。所述凸台上形成有一个接合孔和其对应的管线孔，在所述凸肋上形成有至少一个接合孔和其对应的管线孔。

在一个实施例中，所述瓶本体部包括瓶腔体部300和瓶体底部400。所述瓶腔体部为中空的柱体，所述瓶腔体部300的柱体一端与所述瓶端口部200通过焊接接合在一起，所述瓶腔体部300的柱体另一端与所述瓶体底部400通过焊接结合在一起。

在一个实施例中，所述瓶体底部400包括底壁410、自所述底壁的边缘延伸而成的底部侧壁420和自所述底壁的边缘延伸而成的支撑部430，所述支撑部的延伸方向与所述底部侧壁的延伸方向相反，所述底部侧壁420与所述瓶腔体部300通过焊接接合在一起。所述底壁为弧形。

在另一个实施例中，所述瓶体底部400的结构与所述瓶端口部200的结构的区别仅在于所述瓶体底部400上并未设置所述瓶端口部200中的接合孔251和管线孔252，所述瓶体底部400和所述瓶端口部200是使用同一个模具注塑加工而成的。

在一个改变的实施例中，所述瓶本体部的结构与所述瓶端口部200的结构基本相同，他们的区别仅在于所述瓶本体部上并未设置所述瓶端口部200中的接合孔和管线孔，所述瓶本体部和所述瓶端口部是使用同一个模具注塑加工而成的，这样整个化学液存储瓶都只需要设计一个模具，成本很低。

在一个可选择的实施例中，所述瓶端口部胚件290和/最终的瓶端口部200中也可以不设置所述凸起部230、管线孔252和接合孔251，取而代之的是，可以在所述顶壁210上设置有供传输管线穿过的其它瓶口结构，比如现有的外螺纹瓶口结构，通过瓶盖与所述瓶口配合实现密封，传输管线穿过所述瓶盖和所述瓶口延伸入所述容纳腔500内。在此实施例中，瓶端口部200可以与瓶本体部一起由一个模具注塑成型。在此实施例中，本实用新型的重点或特点之一在于：瓶端口部200的外缘部结构设计，由于它自己形成了容纳从所述化学液存储瓶的瓶口泄露出的化学液凹槽270，假如在凹槽270内设置传感器就可以很容易的自动监控所述化学液存储瓶是否发生泄漏。

上述说明已经充分揭露了本实用新型的具体实施方式。需要指出的是，熟悉该领域的技术人员对本实用新型的具体实施方式所做的任何改动均不脱离本实用新型的权利要求书的范围。相应地，本实用新型的权利要求的范围也并不仅仅局限于前述具体实施方式。

Claims (9)

1.一种化学液存储瓶，其特征在于：其包括：

瓶端口部，其包括顶壁、自所述顶壁的边缘延伸而成的端口侧壁、自所述顶壁的边缘延伸而成的外缘部，所述外缘部的延伸方向与所述端口侧壁的延伸方向相反，所述外缘部和所述顶壁共同围成有凹槽，所述凹槽容纳从所述化学液存储瓶泄露出的化学液；

与所述瓶端口部接合在一起的瓶本体部，其中所述瓶端口部和所述瓶本体部共同形成一个容纳腔，

所述顶壁上设置有供传输管线穿过的与所述容纳腔相通的瓶口。

2.如权利要求1所述的化学液存储瓶，其特征在于：所述外缘部上形成有与所述凹槽相通的排泄孔。

3.如权利要求1所述的化学液存储瓶，其特征在于：所述瓶口包括自所述顶壁的外表面向外延伸而成的凸起部，所述瓶端口部具有自所述凸起部的表面向内延伸的接合孔以及自所述接合孔继续向内延伸并贯穿所述顶壁的管线孔，其中所述接合孔的尺寸大于所述管线孔的尺寸，

所述化学液存储瓶还包括其内设置有通孔的接合部件，该接合部件可拆卸的固定于所述接合孔内，在接合部件固定于所述接合孔内时，所述通孔与所述管线孔形成管线通道，传输管线能够通过所述管线通道延伸入所述容纳腔内，

借助于所述接合部件和所述接合孔的配合使得所述容纳腔成为一个封闭的空腔。

4.如权利要求3所述的化学液存储瓶，其特征在于：所述凸起部包括有位于所述顶壁的中部的凸台以及环绕所述凸台的凸肋，

所述凸台上形成有一个接合孔，在所述凸肋上形成有至少一个接合孔。

5.如权利要求1-4任一所述的化学液存储瓶，其特征在于：

所述瓶本体部包括瓶腔体部和瓶体底部，

所述瓶腔体部为中空的柱体，所述瓶腔体部的柱体一端与所述瓶端口部通过焊接接合在一起，所述瓶腔体部的柱体另一端与所述瓶体底部通过焊接结合在一起。

6.如权利要求5所述的化学液存储瓶，其特征在于：

所述瓶体底部包括底壁、自所述底壁的边缘延伸而成的底部侧壁和自所述底壁的边缘延伸而成的支撑部，所述支撑部的延伸方向与所述底部侧壁的延伸方向相反，

所述底部侧壁与所述瓶腔体部通过焊接接合在一起。

7.如权利要求5所述的化学液存储瓶，其特征在于：所述瓶体底部和所述瓶端口部是使用同一个模具注塑加工而成的。

8.如权利要求5所述的化学液存储瓶，其特征在于：所述瓶腔体部是由至少两个柱形瓶腔体元件焊接而成。

9.如权利要求1-4任一所述的化学液存储瓶，其特征在于：所述瓶本体部和所述瓶端口部是使用同一个模具注塑加工而成的。