CN203737685U - 一种玻璃基板清洗篮架 - Google Patents
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Abstract
本实用新型公开了一种玻璃基板清洗篮架,它包括篮架本体,所述篮架本体底部连杆上设有纵向支承;所述篮架本体一侧的纵向连杆上设有横向支承,篮架本体另一侧的纵向连杆上设有旋转支承。本实用新型是一种结构简单,操作方便,工作效率高并能保证产品质量的大尺寸玻璃基片清洗篮架。
Description
技术领域
本实用新型涉及一种玻璃基板清洗篮架。
背景技术
半导体行业中,原有的玻璃基板清洗篮架在设计方面只能满足较小尺寸的基材清洗,不能满足市场的需求,因此急需一种可用于超大尺寸基材的清洗器具。
实用新型内容
本实用新型旨在克服现有技术的不足,提供一种玻璃基板清洗篮架。
为了达到上述目的,本实用新型提供的技术方案为:
所述玻璃基板清洗篮架包括篮架本体,所述篮架本体底部连杆上设有纵向支承;所述篮架本体一侧的纵向连杆上设有横向支承,篮架本体另一侧的纵向连杆上设有旋转支承。
优选地,所述旋转支承包括支承条和一端固定在篮架本体纵向连杆上的支承片,所述支承片另一端设有A转轴;所述支承条一端设置在A转轴上。所述纵向支承和横向支承都包括固定在篮架本体连杆上的B转轴,所述B转轴上设有支承轮。所述支承条和支承轮的支承面为凹面。
下面结合设计原理及有益效果对本实用新型作进一步阐述。
本实用新型设计了一个整体篮架,在篮架底部连杆上设置支承,用于支承玻璃基片;在篮架两侧连杆上设置支承,其中一侧的支承是可以旋转的,当放置玻璃基片时,旋转该支承,加大两侧支承间的距离,方便了装载玻璃基片,当玻璃基片放稳后再旋转该支承以卡住玻璃基片。这样的设计不仅最大限度地利用了篮架空间,而且保证了该篮架可以适用于不同尺寸,尤其是大尺寸的玻璃基片。
总之,本实用新型是一种结构简单,操作方便,工作效率高并能保证产品质量的大尺寸玻璃基片清洗篮架。
附图说明
图1为本实用新型结构示意图。
图中:1、篮架本体;2、纵向支承;3、横向支承;4、旋转支承;5、支承片;6、A转轴;7、支承条;8、B转轴;9、支承轮。
具体实施方式
实施例1
参见图1,所述玻璃基板清洗篮架包括篮架本体1,所述篮架本体1底部连杆上设有纵向支承2;所述篮架本体1一侧的纵向连杆上设有横向支承3,篮架本体1另一侧的纵向连杆上设有旋转支承4。
所述旋转支承4包括支承条7和一端固定在篮架本体1纵向连杆上的支承片5,所述支承片5另一端设有A转轴6;所述支承条7一端设置在A转轴6上。所述纵向支承2和横向支承3都包括固定在篮架本体1连杆上的B转轴8,所述B转轴8上设有支承轮9。所述支承条7和支承轮9的支承面为凹面。
Claims (4)
1.一种玻璃基板清洗篮架,它包括篮架本体(1),其特征在于,所述篮架本体(1)底部连杆上设有纵向支承(2);所述篮架本体(1)一侧的纵向连杆上设有横向支承(3),篮架本体(1)另一侧的纵向连杆上设有旋转支承(4)。
2.如权利要求1所述的篮架,其特征在于,所述旋转支承(4)包括支承条(7)和一端固定在篮架本体(1)纵向连杆上的支承片(5),所述支承片(5)另一端设有A转轴(6);所述支承条(7)一端设置在A转轴(6)上。
3.如权利要求2所述的篮架,其特征在于,所述纵向支承(2)和横向支承(3)都包括固定在篮架本体(1)连杆上的B转轴(8),所述B转轴(8)上设有支承轮(9)。
4.如权利要求3所述的篮架,其特征在于,所述支承条(7)和支承轮(9)的支承面为凹面。
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