CN203732054U - 具有模块式构件构造的表面微结构测量仪器 - Google Patents

Abstract

本实用新型涉及一种表面微结构测量仪器(10)，在该表面微结构测量仪器中所有功能重要的构件都作为可更换的模块(1、2、5、6、12)设置在一个壳体(7)之内。

Description

具有模块式构件构造的表面微结构测量仪器

技术领域

本发明涉及一种粗糙度或表面微结构轮廓测量仪器，用来借助表面探测体来测量测量物体的测量物体表面的粗糙度或表面微结构轮廓。

背景技术

非接触式或者准非接触式(quasi-berührungslos)探测可能对于适合于此的、特别是软的或敏感的测量物体(如工件)来说是有利的。在这种情况下，不是机械式探测体，而是光学式、电容式、磁式、化学式、生物式或者电磁式传感器用作"探测体"，该探测体也可附加于机械式探测体来应用。下面的描述涉及触摸式或者说接触式进行测量的探测体，但并不是尤其关于非接触式或准非接触式"探测体"或者说探测传感器来限制本发明。

粗糙度和轮廓测量探测器是得到证实的并且广泛传播的测量仪器，用于评定工件的几何表面质量，用于采集微结构和表面粗糙度。这些测量仪器具有由钻石构成的探测尖，或者在轮廓测量探测器的情况下具有金属或玻璃球，利用该探测尖或者金属或玻璃球以下述方式在可预先调整的移动路段上探测工件表面，即，探测器借助机动化的进给装置在表面上拉动。后者可以构造成单独的仪器或者集成在探测器中。

工作原理总是类似的:探针固定在杆上，该杆被适当地支承，例如借助转动轴承或者在板簧元件上，并且能偏转一定的角度。通过工件表面经由探测尖诱导的偏转由测量系统大多感应式地、电容式地或光学式地测量、数字化并在评价电子装置上输出。

利用这样的探测器测量所谓的探测截面(亦即线轮廓)。在此以下述方式顺序地测量工件的轮廓幅度，即，探针被机动地沿着一条线在工件表面上引导并且以时间上或地点上有规律的间隔采集轮廓幅度。

发明内容

本发明的目的在于，提供一种开头所述类型的测量仪器，该测量仪器能非常简单地并且经济地装配，并且同样能简单地通过不复杂地更换仪器部件来保养或维修。

所述目的简单得令人惊奇地通过一种粗糙度或表面微结构轮廓测量仪器来解决，其用来测量测量物体的测量物体表面的粗糙度或表面微结构轮廓，该测量仪器包括:壳体;测量探测器，该测量探测器包括探测杆，该探测杆基本上设置在所述壳体中或者完全设置在所述壳体中或者从所述壳体伸出，其中在探测杆上固定有至少一个表面探测体，用于接触式或非接触式或准接触式地采集测量物体表面的粗糙度或表面微结构轮廓;进给装置，该进给装置配设有优选机动化的驱动装置或者以致动器形成构成的驱动装置，该进给装置用于使表面探测体沿着移动路径在探测路径长度上在进给方向上运动;具有参考平面的参考引导载体，测量系统载体相对于参考平面在进给方向上可移动地引导地贴靠在参考平面上;至少一个固定在测量系统载体上的测量系统，用于采集表面探测体相对于测量物体表面的位置;驱动、数据采集和/或评价电子装置，其中所述测量仪器模块式地由分别能容易更换的、也可称为结构组件的单个模块构成，这些单个模块包括至少一个包含所述测量系统的测量模块、包含所述参考引导载体和测量系统载体的参考引导模块、包含所述驱动装置的驱动模块和包含所述驱动、数据采集和/或评价电子装置的电子装置模块，这些模块设置在所述壳体中。

换言之，在本发明中涉及的所有重要测量仪器结构组件都模块式地组接在一起并且能单独地拆卸。各单个模块能分别容易地拆卸或拆开。重要的、以下用草图示出的结构组件优选层状地设置。按这种方式提供一种保养友好的仪器版本。受该构思决定，该仪器版本可以具有其它的新式特征。

本发明特别是涉及一种表面轮廓测量仪器，在该测量仪器中所有重要的构件(例如进给装置、控制电子装置和测量系统以及探测针抬起装置)都集合在壳体中。这种仪器的突出之处在于小的体积以及高的灵活性，并且因此也特别适合于用在生产中。但是，按照本发明的有利的构思在这里正好有用。

换言之，本发明涉及一种粗糙度和/或轮廓测量装置，该测量装置具有构成为自由探测器或滑板探测器的测量探测器、至少一个表面探测元件，其形式优选为具有探测尖的探针和/或球形或滑板形的探测体，用于接触式测量测量物体(特别是工件)的微小表面轮廓。测量仪器模块式地由一系列能容易更换的单个模块构成。

优选地，各单个模块可以层状地设置。

按照一种优选的实施例可以规定，确定仪器的各部分模块能借助明确的机械/几何接口特征容易地插接在一起和/或拧紧在一起。各单个模块能容易地装配或能重新装配。

这些单个的功能模块可以分别由单个构件构成。用于这种单个构件的例子是:小的具有电子部分功能的功能电路板，例如终端开关、引导板条、具有磁体的滑座、马达、连杆或电缆树。

按照一种优选的实施方案可以规定，各所述单个模块中的多个单个模块在测量仪器的使用位置中观察基本上上下重叠地设置。

优选地可以规定，除了第一单个模块之外，其余所有的单个模块在测量仪器的使用位置中观察都基本上上下重叠地设置。

优选地，所述第一单个模块可以是所述电子模块。

按照一种特别优选的实施例可以规定，在测量仪器的使用位置中观察，所述测量模块基本上设置在参考引导模块下方，该参考引导模块基本上设置在驱动模块下方，该驱动模块基本上设置在电子模块下方。

按照一种特别优选的实施方案可以规定，各所述单个模块能从壳体的唯一一侧(优选下侧)装配和拆卸。

优选地，所述壳体的下侧是壳体的这种侧面，即该侧面为了对测量物体表面的粗糙度或表面微结构轮廓进行测量或者在对测量物体表面的粗糙度或表面微结构轮廓进行测量期间从属于测量物体表面和/或与该测量物体表面相对而置。

按照一种设计方案可以规定，所述参考引导模块的参考引导载体具有优选两个、间隔开地并且彼此平行地设置的轮廓参考引导部，用于引导相对于轮廓参考引导部并且沿着参考引导载体的轮廓参考引导部可动的(特别是可移动的)所述测量系统载体，其中优选地各轮廓参考引导部分别由玻璃杆、特别是由杆状的玻璃长方体或者由杆状的玻璃圆柱体构成，并且所述测量系统载体借助滑板支承在轮廓参考引导部上。

所述优选两个轮廓参考引导部可以由杆状的玻璃杆、特别是由杆状的玻璃长方体或者由杆状的玻璃圆柱体构成。所述测量系统载体可以借助滑板支承在轮廓参考引导部或玻璃长方体上。保持力可以由集成在测量系统载体中的磁体产生，这些磁体优选总是或始终与至少一个铁磁性的、优选长方体形的轨道相对，该轨道设置得平行于参考引导部或轮廓参考引导部。

优选地，测量系统载体可以构成为车或滑座。

测量仪器可以装备有磨损测量系统，借助该磨损测量系统优选实时地能测定测量系统载体的滑板的磨损程度或者对该磨损程度进行测定。换言之，所述仪器可以具有磨损测量系统，利用该磨损测量系统优选实时地测定进给装置的滑动支脚的磨损程度。

按照一种有利的进一步改进方案可以规定，所述测量系统载体借助磁性保持力保持在参考引导载体上，这些磁性保持力由集成在测量系统载体中或上的磁体(优选永久磁体产生)和/或由集成在参考引导载体中或上的磁体(优选稀土-铁磁体)产生，这些磁体优选总是或者说持久地与至少一个铁磁性的、优选长方体形的轨道相对，该轨道设置得平行于轮廓参考引导部。优选地可以设有两个铁磁性的轨道。每个铁磁性的轨道可以从属于各轮廓参考引导部中的一个轮廓参考引导部和/或可以设置在各轮廓参考引导部中的一个轮廓参考引导部的附近。

所述参考引导模块可以包括优选用作参考引导载体的框架，所述轮廓参考引导部和/或所述至少一个铁磁性的轨道至少部分地或基本上或者完全地容纳在该框架中，并且该框架承载所述轮廓参考引导部和/或所述至少一个铁磁性的轨道。

按照一种设计方案可以规定，所述测量系统载体相对于轮廓参考引导部可动地(特别是可移动地)至少部分地或基本上或者完全地容纳在所述框架中，和/或所述框架完全地包围着相对于轮廓参考引导部可动的(特别是可移动的)测量系统载体的至少一部分或一大部分或者整个测量系统载体。

按照一种特别有利的实施方案，所述框架可以形成壳体的框架-壳体部分。

按照一种进一步改进方案可以规定，所述测量仪器和/或所述测量模块或测量系统能够手动地或机动地平行于探测杆的探测杆轴线或平行于探测系统的杆轴线转动。

按照一种设计方案可以规定，所述驱动模块包括皮带、齿形带或者带材(特别是金属带材)，该皮带、齿形带或者带材承载固定在其上的耦联销，该耦联销带有间隙地伸进测量系统载体中或固定在其上的构件中的钻孔中(优选竖直钻孔)中。由此可以避免振动(特别是竖直振动)从进给装置传递到测量系统载体上。

优选地，耦联销可以具有或承载伸进测量系统载体或构件的钻孔中的球头。

换言之可以规定，进给装置由皮带、齿形带或者金属带材构成，并且借助优选带有球头的销耦联至承载测量系统的车，其中销头伸进车内的钻孔中。

按照一种有利的实施方案，驱动模块可以包括带有加装的接头的齿形带，该齿形带仅仅沿进给方向力锁合地耦联到测量系统载体(例如移动滑座)上。由此避免由驱动引起的振动传递到轮廓采集装置上。

按照一种相当特别优选的实施例，销或销头、接头或球头可以这样地优选设置在测量系统载体的重心中，使得避免关于测量系统载体或进给滑座的移动或行驶运动的Abbé-误差。

通过前述的措施可以避免，转动或倾覆力矩从耦联元件、特别是从销或从销头或从接头或从球头传递到测量系统载体上。

适宜地可以规定，所述表面探测体或者承载该表面探测体的探测杆能借助提升装置从测量物体表面抬起。

按照一种特别优选的实施例，所述提升装置可以包括偏心盘，该偏心盘固定在马达(优选是测量模块)的轴上。换言之，针抬起可以通过偏心盘实现，该偏心盘固定在马达的轴上。

按照本发明的一种优选的设计方案可以规定，各所述单个模块包括更换框架模块，该更换框架模块由可更换的更换框架形成或者形成有可更换的更换框架，测量模块至少部分地或基本上或完全地容纳在该更换框架中和/或该更换框架完全地包围着测量模块的至少一部分或一大部分或者整个测量模块，并且该更换框架在测量仪器的使用位置中面向测量物体表面和/或与测量物体表面相对地设置。换言之，面向测量物体或工件的基本框架可以构成为按目的匹配的更换框架。

按照一种特别有利的实施例可以规定，所述更换框架模块或更换框架模块的更换框架形成壳体的更换框架-壳体部分。

适宜地，所述更换框架可以以底板或以底部金属板封闭。该底板可以具有用于表面探测体的穿孔，当借助表面探测体对测量物体表面的粗糙度或表面微结构轮廓进行测量时，表面探测体便特别是至少嵌接该穿孔。

按照一种优选的设计方案可以规定，所述壳体包括框架形的或钟罩形的或罐形的或者箱形的遮盖壳体部分，电子模块至少部分地或基本上或者完全地容纳在该遮盖壳体部分中，和/或驱动模块至少部分地或基本上或完全地容纳在该遮盖壳体部分中。

按照一种特别优选的实施例可以规定，所述壳体至少由遮盖壳体部分和框架壳体部分构成，优选还由更换框架-壳体部分构成。

在一种优选的设计方案中，所述壳体可以设计成罐形的或钟罩形的或者设计成箱形的容器。

有利地，所述测量仪器可以包括路径测量系统，其用来沿着移动路径来测量表面探测体的探测路径，或者可以存在用于探测路径的路径测量系统。

优选地，所述测量模块的测量系统可以是电容式测量系统，在该电容式测量系统中表面探测体相对于测量物体表面的位置随着电容变化而变化。所述电容变化可以由于由钛酸钡(BaTiO₃)制成的至少一个固定在探测杆上的小板伸进在至少两个固定装配的金属板之间的中间空间中而发生。换言之，可以规定，测量系统是电容式的，并且电容变化由于至少一个固定在探测杆上的BaTiO₃小板伸进在至少两个固定装配的、特别是由金属制成的板之间的中间空间中而发生。

应理解，也可称为间距测量系统的测量系统不仅可以是电容式测量系统，而且可以是感应式、光学或压电式测量系统。电容式版本可以例如这样设计，使得至少一个带有高渗透性的、特别是由钛酸钡制成的材料小板移动到带有合适的大小和间距的至少两个固定的电容器板之间。该小板优选可以固定在探测杆上。它可以通过要测量的表面轮廓偏转。测量效果可以通过使用多个板堆来增大，从而各板的单个面可以保持得相应较小。同样，人们可以将形成电容器的各板或板堆中的一个板或板堆固定在探测杆上，并且可以通过探测杆的运动使这个板或板堆朝向固定的板或朝向固定的板堆接近。

得到的电容变化可以通过高穿透率的电介质来增大。

探测杆并且继而探测针都可以借助弹簧压靠到工件表面上。测量模块可以包含压力传感器。为此，例如可以在探针和探测杆之间安装弹性的中间件(例如一小段板簧)。该板簧的弯曲可以被测量，和/或必要时借助执行器调节到预设的弯曲幅值上。

按照一种进一步改进方案，可以设有清洁装置，该清洁装置至少在要借助表面探测体探测的探测路径长度上或者说在测量路段上通过鼓风或抽吸除去测量物体表面的污物。换言之，可以存在对探测路径长度或测量路段吹出和/或抽吸污物的元件。

按照一种优选的设计方案可以规定，所述表面探测体具有探测尖端半径小于10微米的探测尖端和/或探测尖端半径小于100纳米的探测尖端。

当然，本领域技术人员可以在可实施的范围内任意组合前述特征和措施以及由权利要求书和从附图得出的特征和措施。

附图说明

本发明的其他优点、特征、细节和观点由权利要求书以及由下面的描述部分得出，在该描述部分中根据唯一的附图描述了本发明的一种优选实施例。

图1以示意性的分解图示出按照本发明的装置的一种优选实施例。在此涉及一种粗糙度或表面微结构轮廓测量仪器10，其用于测量测量物体的测量物体表面8的粗糙度或表面微结构轮廓。

具体实施方式

按照本发明，测量仪器10的所有重要的功能单元或者说构件或结构组件都优选层状地、模块式地、特别是上下重叠地设置或者说组合在壳体7中。这特别是可以是以下的主功能单元:测量系统、轮廓参考引导载体3、优选形式为进给车的测量系统载体4，驱动模块2、更换框架6以及电子装置1。在此可以涉及电子部件或者整个电子装置。

测量仪器10包含壳体7、电子模块1，该电子模块包括由一块电路板或由多块电路板构成的电子装置，用于控制仪器10和采集数据。优选地，电子装置包括朝计算机的接口和/或无线电模块和/或用于供电的蓄电池，其中没有示出这些构件。

在图1中从上向下观察下一个平面或者说在前述措辞中的下一个功能模块是带有驱动装置的驱动模块2，该驱动装置例如由马达、齿形带、转向滚轮和携动销构成。

下一个功能模块是参考引导模块3。它包括一个"框架"，该框架包含引导板条4a连同平行设置的铁磁性板条4c。参考引导模块3还包括向下连接的、也用测量系统载体4标称的进给滑座。该进给滑座由带有滑板4b以及带有未示出的磁体的滑座载体构成，该磁体作为保持元件用于将进给滑座4借助其滑板4b保持在框架3的滑轨或引导板条4a上。

固定在测量系统载体4或滑座上的测量模块5包括带有也称为表面探测体的探测针9的探测杆11、并且包括测量探测杆11的偏转的光学式、电容式、压电式或感应式、未详细示出的测量系统、并且包括同样未示出的机动式探测针抬起装置以及另外的未示出的功能元件(例如终端开关和预放大电子装置)。

按照本发明的装置10通过更换框架模块6的更换模块以及可拆卸地固定在其上的底板来封闭。该底板具有优选伸长的、用于探针9的穿孔。

在图1中示出的粗糙度或轮廓测量探测器或者说测量仪器10具有用于采集测量物体表面8的表面轮廓的探测针9。探测针9优选安装在探测杆11的端部上并且指向测量物体表面或工件表面8。探测杆11经由转动轴承或板簧轴承支承在测量系统载体4中。为了采集或者说测量测量物体表面或工件表面8的微结构轮廓或粗糙度，使探测针9借助驱动模块2的未详细示出的马达在测量物体表面或工件表面8上运动，特别是拉动。该进给运动作用到测量系统载体4上并且例如经由丝杆、拉索、带材或类似物进行。测量系统载体4优选是自成一体的模块，该模块包含所述测量系统，该测量系统本身由单个构件组成。在探测表面8时，探测针9的探测尖端跟随测量物体或工件的表面8的表面轮廓。通过测量物体表面或工件表面8在探测尖端上诱导的偏转由适当的测量系统大多感应式、电容式、压电式或光学式地进行测量、数字化并且输出到评价电子装置1上。

此外对于很多应用情况，可以在壳体7上或在框架6上存在也可称为探测凸起的、优选管形的或横截面呈U形的、未示出的支撑体，用于保护探测杆11和/或表面探测体9以防被损坏。

在测量仪器10用在生产环境中时有意义的是，在探测之前对测量物体表面或工件表面8进行清洁。为此，例如可以在测量仪器10上安装污物抽吸装置，特别是油抽吸装置和/或颗粒抽吸装置。

按照一种有利的设计方案可以规定，参考引导部如下地构造。承载测量系统的滑座4具有至少三个支承点或者说滑动点4b，它们例如由聚四氟乙烯(PTFE)、橡胶或者由类似材料制成，这些支承点或者说滑动点在一个由两个抛光的玻璃轨道4a形成的玻璃轨道副上滑动。单个玻璃轨道4a可以例如是圆形的或者说圆柱形的或者长方体形的。一个或多个另外的由铁磁性材料(特别是由纯铁)制成的轨道4c平行于玻璃轨道4a延伸。滑座4借助滑板4b在玻璃轨道副4a上被引导，该滑座具有多个未示出的磁体，这些磁体与铁磁性轨道4c相对地安装并且这些磁体将滑座4通过磁性吸引保持在玻璃轨道4a上。

按照一种特别优选的实施例可以规定，封闭壳体7的框架是如所有描述的功能模块一样能容易地更换，该框架构成为应用特定的可更换的更换框架6，并且该框架因此可以设计成匹配于相应的测量任务。探测杆11和必要时测量系统5同样可以容易地用一个适合于相应应用的构件或者用多个适合于相应应用的构件来更换。

按照一种相当特别优选的实施方案可以规定，更换框架6具有特征(例如侧面的凹槽或沟槽6a)，以便能将校准件不用工具地并且以正确的间距固定在测量探测器上，例如借助提到的侧面凹槽或沟槽6a简单地推装到更换框架6上。

此外，更换框架6的正面和背面可以具有引导结构，例如弧形的、特别是圆形的凹槽或沟槽，该凹槽或沟槽能使测量仪器围绕轴线(特别是其纵轴线)手动地或机动地枢转，并优选围绕在中心点具有探针9的探针尖端的圆段手动地或机动地枢转。

本发明也可如下地概述:本发明涉及一种表面微结构测量仪器10，在该表面微结构测量仪器中所有功能重要的构件都作为可更换的模块1、2、5、6、12设置在壳体7之内。

附图标记列表

1电子模块/电子装置

2驱动模块/驱动装置

3框架/(轮廓)参考引导载体/载体

4测量系统载体/(进给)滑座/(进给)车/载体

4a(轮廓)参考引导部/(玻璃)轨道/(滑动)轨道/引导板条/(玻璃)轨道副

4b支承点/滑动点/滑板

4c(铁磁性)轨道/板条

5测量模块/MU量系统

6(更换)框架模块/(更换)框架

6a沟槽/凹槽

7壳体

8测量物体表面/工件表面

9表面探测体/探测针

10测量仪器/表面微结构轮廓测量仪器/装置

11探测杆

12参考引导模块

Claims (30)

1.一种粗糙度或表面微结构轮廓测量仪器，其用于测量测量物体的测量物体表面(8)的粗糙度或表面微结构轮廓，包括： 

壳体(7)； 

测量探测器，该测量探测器包括探测杆(11)，该探测杆完全设置在所述壳体(7)中或者从所述壳体伸出，其中在探测杆(11)上固定有至少一个表面探测体(9)，用于接触式或非接触式或准接触式地采集测量物体表面(8)的粗糙度或表面微结构轮廓； 

驱动装置，其用于使表面探测体(9)沿着移动路径在探测路径长度上在进给方向上运动； 

具有参考平面的参考引导载体(3)，测量系统载体(4)相对于参考平面在进给方向上可移动地引导地贴靠在所述参考平面上； 

至少一个固定在测量系统载体(4)上的测量系统，其用于采集表面探测体(9)相对于测量物体表面(8)的位置； 

驱动、数据采集和/或评价电子装置， 

其特征在于， 

所述测量仪器(10)模块式地由能容易更换的单个模块(1、2、5、6、12)构成，这些单个模块包括至少一个包含所述测量系统的测量模块(5)、包含所述参考引导载体(3)和测量系统载体(4)的参考引导模块(12)、包含所述驱动装置的驱动模块(2)和包含所述驱动、数据采集和/或评价电子装置的电子装置模块(1)，这些模块设置在所述壳体(7)中。 

2.根据权利要求1所述的测量仪器，其特征在于：各所述单个模块(1、2、5、6、12)层状地设置。 

3.根据权利要求1或2所述的测量仪器，其特征在于，各所述单个模块(1、2、5、6、12)中的多个单个模块(2、5、6、12)在测量仪器(10)的使用位置中观察上下重叠地设置。 

4.根据权利要求1或2所述的测量仪器，其特征在于，除了第一单个模块之外，其余所有的单个模块(2、5、6、12)都在测量仪器的使用位置 中观察上下重叠地设置。 

5.根据权利要求4所述的测量仪器，其特征在于，所述第一单个模块是所述电子模块(1)。 

6.根据权利要求1或2所述的测量仪器，其特征在于，在测量仪器的使用位置中观察，所述测量模块(5)设置在参考引导模块(12)下方，该参考引导模块设置在驱动模块(2)下方，该驱动模块设置在电子模块(1)下方。 

7.根据权利要求1或2所述的测量仪器，其特征在于，各所述单个模块(1、2、5、6、12)能从壳体(7)的唯一一侧进行装配和拆卸。 

8.根据权利要求7所述的测量仪器，其特征在于，各所述单个模块(1、2、5、6、12)能从壳体(7)的下侧进行装配和拆卸。 

9.根据权利要求8所述的测量仪器，其特征在于，所述壳体(7)的下侧是壳体(7)的这种侧面，即该侧面为了对测量物体表面(8)的粗糙度或表面微结构轮廓进行测量或者在对测量物体表面(8)的粗糙度或表面微结构轮廓进行测量期间从属于测量物体表面(8)和/或与测量物体表面(8)相对而置。 

10.根据权利要求1所述的测量仪器，其特征在于，所述参考引导模块(12)的参考引导载体(3)具有两个间隔开地并且彼此平行地设置的轮廓参考引导部(4a)，用于引导相对于轮廓参考引导部(4a)并且沿着轮廓参考引导部(4a)可动的所述测量系统载体(4)，其中各轮廓参考引导部(4a)分别由杆状的玻璃长方体构成，并且所述测量系统载体(4)借助滑板(4b)支承在轮廓参考引导部(4a)上。 

11.根据权利要求10所述的测量仪器，其特征在于，该测量仪器具有磨损测量系统，借助该磨损测量系统能测定测量系统载体(4)的滑板(4b)的磨损程度或者对该磨损程度进行测定。 

12.根据权利要求10所述的测量仪器，其特征在于，所述测量系统载体(4)借助磁性保持力保持在参考引导载体(3)上，这些磁性保持力由集成在测量系统载体(4)中或上的磁体产生，这些磁体与至少一个铁磁性的长方体形的轨道(4c)相对，该轨道安装得平行于轮廓参考引导部(4a)。 

13.根据权利要求10至12之一所述的测量仪器，其特征在于，所述参考引导模块(12)包括框架，所述轮廓参考引导部(4a)和/或所述至少一个铁磁性的轨道(4c)容纳在该框架中，并且该框架承载所述轮廓参考引导部(4a)和/或所述至少一个铁磁性的轨道(4c)。 

14.根据权利要求13所述的测量仪器，其特征在于，所述测量系统载体(4)相对于轮廓参考引导部(4a)可动地容纳在所述框架中，和/或所述框架完全地包围着相对于轮廓参考引导部(4a)可动的测量系统载体(4)的至少一部分。 

15.根据权利要求14所述的测量仪器，其特征在于，所述框架形成壳体的框架壳体部分。 

16.根据权利要求1或2所述的测量仪器，其特征在于，所述测量仪器和/或所述测量模块(5)能够手动地或机动地平行于探测杆(11)的探测杆轴线转动。 

17.根据权利要求1或2所述的测量仪器，其特征在于，所述驱动模块(2)包括皮带、齿形带或者带材，该皮带、齿形带或者带材承载固定在其上的耦联销，该耦联销带有间隙地伸进测量系统载体(4)的钻孔中。 

18.根据权利要求17所述的测量仪器，其特征在于，所述耦联销具有或承载伸进测量系统载体(4)的钻孔中的球头。 

19.根据权利要求18所述的测量仪器，其特征在于，所述球头这样设置，使得避免关于测量系统载体(4)的移动的Abbé误差。 

20.根据权利要求1或2所述的测量仪器，其特征在于，所述表面探测体(9)或者承载该表面探测体的探测杆(11)能借助提升装置从测量物体表面(8)抬起，该提升装置包括偏心盘，该偏心盘固定在测量模块的马达轴上。 

21.根据权利要求1所述的测量仪器，其特征在于，各所述单个模块(1、2、5、6、12)包括更换框架模块(6)，该更换框架模块由可更换的更换框架形成或者形成有可更换的更换框架，测量模块(5)至少部分地容纳在该更换框架中和/或该更换框架完全地包围着测量模块(5)的至少一部分，并且该更换框架在测量仪器(10)的使用位置中面向测量物体表面 (8)和/或与测量物体表面(8)相对地设置。 

22.根据权利要求21所述的测量仪器，其特征在于，所述更换框架模块(6)或更换框架模块(6)的更换框架形成壳体的更换框架-壳体部分。 

23.根据权利要求21或22所述的测量仪器，其特征在于，所述更换框架以底板或以底部金属板封闭，该底板具有用于表面探测体(9)的穿孔，当以此对测量物体表面(8)的粗糙度或表面微结构轮廓进行测量时，表面探测体(9)便至少嵌接该穿孔。 

24.根据权利要求1或2所述的测量仪器，其特征在于，所述壳体(7)包括框架形的或钟罩形的或罐形的或者箱形的遮盖壳体部分，电子模块(1)至少部分地或完全地并且驱动模块(2)至少部分地或完全地容纳在该遮盖壳体部分中。 

25.根据权利要求1或2所述的测量仪器，其特征在于，所述壳体(7)设计成罐形的或钟罩形的或者设计成箱形的容器。 

26.根据权利要求1或2所述的测量仪器，其特征在于，所述测量仪器包括路径测量系统，用于沿着移动路径测量表面探测体(9)的探测路径。 

27.根据上述权利要求1或2所述的测量仪器，其特征在于，所述测量模块(5)的测量系统是电容式测量系统，在该电容式测量系统中表面探测体(9)相对于测量物体表面(8)的位置随着电容变化而变化。 

28.根据权利要求27所述的测量仪器，其特征在于，所述电容变化由于由钛酸钡制成的至少一个固定在探测杆(11)上的小板伸进在至少两个固定装配的金属板之间的中间空间中而发生。 

29.根据权利要求1或2所述的测量仪器，其特征在于，设有清洁装置，该清洁装置至少在要借助表面探测体探测的探测路径长度上通过鼓风或抽吸除去测量物体表面的污物。 

30.根据权利要求1或2所述的测量仪器，其特征在于，所述表面探测体(9)具有探测尖端半径小于10微米的探测尖端和/或探测尖端半径小于100纳米的探测尖端。