CN203704891U - X荧光测厚仪的电动样品台 - Google Patents

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Abstract

本实用新型公开一种X荧光测厚仪的电动样品台，包括XY轴定位组件、Z轴定位组件、样品台板和底板，Z轴定位组件安装在底板上，XY轴定位组件顶部安装有样品台板，还包括控制器，Z轴定位组件包括Z轴立板、Z轴线性滑轨、滑板导向滑块、Z轴伺服丝杠、Z轴伺服电机、Z轴滑板组件、Z轴轴承座、Z轴开关连接导轨、两个Z轴光电开关、Z轴限位感应片，滑板导向滑块与Z轴线性滑轨滑动连接，Z轴滑板组件靠近Z轴开关连接导轨的一侧设有Z轴限位感应片，Z轴滑板组件顶部设有XY轴定位组件，XY轴定位组件顶部设有样品台板。可三轴联动调节被测物品与X射线管之间的距离，结构合理紧凑，稳定性强，采用光电感应定位，控制精度高，定位精准。

Description

X荧光测厚仪的电动样品台
技术领域
本发明属于光学仪器技术领域，涉及一种X荧光测厚仪的电动样品台
背景技术  
    X荧光测厚仪利用X射线穿透被测材料时，X射线的强度的变化与材料的厚度相关的特性，从而测定材料的厚度，是一种非接触式的动态计量仪器。它能够测定电子器件、五金电镀和金属合金如贵金属合金的质量和过程控制进行厚度检测和分析，例如印制电路板的质量和可靠性取决于板上金、镍、铜的镀层厚度；检测时将印制电路板放在X荧光测厚仪的样品台上，通过激光定位检测印制电路板不同位置的金属镀层厚度。传统的X荧光测厚仪采用手动式或者半自动式的样品台，采用丝杠手动或半自动控制，丝杠的配合精度会影响样品台的定位精度，并且控制精度差，容易造成检测误差。
发明内容
针对上述情况，本实用新型提供一种X荧光测厚仪的电动样品台，可三轴联动调节被测物品与X射线管之间的距离，结构合理紧凑，稳定性强，采用光电感应定位，控制精度高，定位精准。
为了实现上述目的，本实用新型的技术方案如下：
X荧光测厚仪的电动样品台，包括XY轴定位组件、Z轴定位组件、样品台板和底板，Z轴定位组件安装在底板上，XY轴定位组件顶部安装有样品台板，其特征在于，还包括控制器，所述Z轴定位组件包括Z轴立板、两块Z轴线性滑轨、两块滑板导向滑块、Z轴伺服丝杠、Z轴伺服电机、Z轴滑板组件、Z轴轴承座、Z轴开关连接导轨、两个Z轴光电开关、Z轴限位感应片，Z轴立板设于底板上，Z轴立板中部对称垂直设置有两块Z轴线性滑轨，Z轴立板一侧设有Z轴开关连接导轨，Z轴立板前方设有立有Z轴伺服丝杠，Z轴立板后方设有Z轴伺服电机，所述Z轴开关连接导轨的上部和下部分别设有一个Z轴光电开关，所述Z轴轴承座固定在底板上，所述Z轴伺服丝杠与Z轴轴承座之间通过轴承连接，Z轴伺服丝杠底端通过齿轮和同步带与伺服电机连接，Z轴伺服丝杠中部与Z轴滑板组件滑动连接，Z轴滑板组件后侧与两块Z轴线性滑轨相对应的位置分别设置有滑板导向滑块，滑板导向滑块与Z轴线性滑轨滑动连接，Z轴滑板组件靠近Z轴开关连接导轨的一侧设有Z轴限位感应片，Z轴滑板组件顶部设有XY轴定位组件，XY轴定位组件顶部设有样品台板。
所述XY轴定位组件包括X轴定位组件、Y轴定位组件和十字滑块，X轴定位组件和Y轴定位组件之间通过十字滑块滑动连接；所述X轴定位组件包括X轴底板、两块X轴侧板、两块X轴线性滑轨、两块X轴导向滑块、X轴伺服丝杠、X轴螺母、X轴伺服电机、X轴开关导轨、两个X轴光电开关、X轴限位感应片；所述Y轴定位组件包括Y轴螺母、Y轴导向块、两块Y轴线性滑轨、Y轴顶板、Y轴伺服丝杠、Y轴伺服电机、Y轴开关导轨、两个Y轴光电开关、Y轴限位感应片。
所述Z轴滑板组件包括两块Z轴滑块立肋板、Z轴滑块固定板、Z轴滑块顶板、Z轴滑块背板。
所述Z轴定位组件还包括两块Z轴立肋板，Z轴立肋板设于Z轴立板两侧。
所述Z轴滑块立肋板、Z轴立肋板、Z轴滑块顶板、X轴底板、Y轴顶板上均设有多个腰形孔。
所述X轴伺服电机、Y轴伺服电机、Z轴伺服电机、X轴限位感应片、Y轴限位感应片、Z轴限位感应片均与控制器连接。
本实用新型的优点是：可三轴联动调节被测物品与X射线管之间的距离，结构合理紧凑，稳定性强，采用光电感应定位，控制精度高，定位精准。
附图说明
图1为本实用新型一实施例的立体图。
图2为本实用新型一实施例的另一侧的立体图。
在图中：1-样品台板；2-底板；3-Z轴立板；4-Z轴线性滑轨；5-滑板导向滑块；6-Z轴伺服丝杠；7-Z轴伺服电机；8-Z轴滑板组件；9-Z轴轴承座；10-Z轴开关连接导轨；11-Z轴光电开关；12-Z轴限位感应片，13-X轴底板，14-X轴侧板；17-X轴伺服丝杠；18-X轴螺母，19-X轴伺服电机，20-X轴开关导轨，21-X轴光电开关，22-X轴限位感应片；23-Y轴螺母，24-Y轴导向块，25-Y轴线性滑轨，26-Y轴顶板；27-Y轴伺服丝杠，29-Y轴伺服电机，30-Y轴开关导轨，31-Y轴光电开关，33-十字滑块。
具体实施方式
为了使本实用新型实现的技术手段、创作特征、达成目的与功效易于明白了解，下面结合具体图示，进一步阐述本实用新型。
参见图1-图2，X荧光测厚仪的电动样品台，包括XY轴定位组件、Z轴定位组件、样品台板和底板，Z轴定位组件安装在底板上，XY轴定位组件顶部安装有样品台板，其特征在于，还包括控制器，所述Z轴定位组件包括Z轴立板、两块Z轴线性滑轨、两块滑板导向滑块、Z轴伺服丝杠、Z轴伺服电机、Z轴滑板组件、Z轴轴承座、Z轴开关连接导轨、两个Z轴光电开关、Z轴限位感应片，Z轴立板设于底板上，Z轴立板中部对称垂直设置有两块Z轴线性滑轨，Z轴立板一侧设有Z轴开关连接导轨，Z轴立板前方设有立有Z轴伺服丝杠，Z轴立板后方设有Z轴伺服电机，所述Z轴开关连接导轨的上部和下部分别设有一个Z轴光电开关，所述Z轴轴承座固定在底板上，所述Z轴伺服丝杠与Z轴轴承座之间通过轴承连接，Z轴伺服丝杠底端通过齿轮和同步带与伺服电机连接，Z轴伺服丝杠中部与Z轴滑板组件滑动连接，Z轴滑板组件后侧与两块Z轴线性滑轨相对应的位置分别设置有滑板导向滑块，滑板导向滑块与Z轴线性滑轨滑动连接，Z轴滑板组件靠近Z轴开关连接导轨的一侧设有Z轴限位感应片，Z轴滑板组件顶部设有XY轴定位组件，XY轴定位组件顶部设有样品台板。
所述XY轴定位组件包括X轴定位组件、Y轴定位组件和十字滑块，X轴定位组件和Y轴定位组件之间通过十字滑块滑动连接；所述X轴定位组件包括X轴底板、两块X轴侧板、两块X轴线性滑轨、两块X轴导向滑块、X轴伺服丝杠、X轴螺母、X轴伺服电机、X轴开关导轨、两个X轴光电开关、X轴限位感应片；所述Y轴定位组件包括Y轴螺母、Y轴导向块、两块Y轴线性滑轨、Y轴顶板、Y轴伺服丝杠、Y轴伺服电机、Y轴开关导轨、两个Y轴光电开关、Y轴限位感应片。
X轴限位感应片和Y轴限位感应片分别设置在十字滑块的纵向端面和横向端面上。
其中两个X轴光电开关之间的距离不超过X轴伺服丝杠的工作长度，两个Y轴光电开关之间的距离不超过Y轴伺服丝杠的工作长度，两个Z轴光电开关之间的距离不超过Z轴伺服丝杠的工作长度。
所述Z轴滑板组件包括两块Z轴滑块立肋板、Z轴滑块固定板、Z轴滑块顶板、Z轴滑块背板。
所述Z轴定位组件还包括两块Z轴立肋板，Z轴立肋板设于Z轴立板两侧。两块Z轴立肋板均衡了Z轴立板前后端的受力，使整个电动样品台的稳定性更好。
所述Z轴滑块立肋板、Z轴立肋板、Z轴滑块顶板、X轴底板、Y轴顶板上均设有多个腰形孔。多个腰形孔的设计减轻了Z轴滑块立肋板、Z轴立肋板、Z轴滑块顶板、X轴底板和Y轴顶板的重量，但结构上还能保证板材本身的刚度、强度等力学性能。
所述X轴伺服电机、Y轴伺服电机、Z轴伺服电机、X轴限位感应片、Y轴限位感应片、Z轴限位感应片均与控制器连接。
X轴限位感应片、Y轴限位感应片、Z轴限位感应片和X轴光电开关、Y轴光电开关、Z轴光电开关的配合保证限位准确性。
以上显示和描述了本实用新型的基本原理、主要特征和本实用新型的优点。本行业的技术人员应该了解，本实用新型不受上述实施例的限制，上述实施例和说明书中描述的只是本实用新型的原理，在不脱离本实用新型精神和范围的前提下本实用新型还会有各种变化和改进，这些变化和改进都落入要求保护的本实用新型的范围内。本实用新型要求的保护范围由所附的权利要求书及其等同物界定。

Claims (6)

1.X荧光测厚仪的电动样品台，包括XY轴定位组件、Z轴定位组件、样品台板和底板，Z轴定位组件安装在底板上，XY轴定位组件顶部安装有样品台板，其特征在于，还包括控制器，所述Z轴定位组件包括Z轴立板、两块Z轴线性滑轨、两块滑板导向滑块、Z轴伺服丝杠、Z轴伺服电机、Z轴滑板组件、Z轴轴承座、Z轴开关连接导轨、两个Z轴光电开关、Z轴限位感应片，Z轴立板设于底板上，Z轴立板中部对称垂直设置有两块Z轴线性滑轨，Z轴立板一侧设有Z轴开关连接导轨，Z轴立板前方设有立有Z轴伺服丝杠，Z轴立板后方设有Z轴伺服电机，所述Z轴开关连接导轨的上部和下部分别设有一个Z轴光电开关，所述Z轴轴承座固定在底板上，所述Z轴伺服丝杠与Z轴轴承座之间通过轴承连接，Z轴伺服丝杠底端通过齿轮和同步带与伺服电机连接，Z轴伺服丝杠中部与Z轴滑板组件滑动连接，Z轴滑板组件后侧与两块Z轴线性滑轨相对应的位置分别设置有滑板导向滑块，滑板导向滑块与Z轴线性滑轨滑动连接，Z轴滑板组件靠近Z轴开关连接导轨的一侧设有Z轴限位感应片，Z轴滑板组件顶部设有XY轴定位组件，XY轴定位组件顶部设有样品台板。
2.根据权利要求1所述的X荧光测厚仪的电动样品台，其特征在于，所述XY轴定位组件包括X轴定位组件、Y轴定位组件和十字滑块，X轴定位组件和Y轴定位组件之间通过十字滑块滑动连接；所述X轴定位组件包括X轴底板、两块X轴侧板、两块X轴线性滑轨、两块X轴导向滑块、X轴伺服丝杠、X轴螺母、X轴伺服电机、X轴开关导轨、两个X轴光电开关、X轴限位感应片；所述Y轴定位组件包括Y轴螺母、Y轴导向块、两块Y轴线性滑轨、Y轴顶板、Y轴伺服丝杠、Y轴伺服电机、Y轴开关导轨、两个Y轴光电开关、Y轴限位感应片。
3.根据权利要求1或2所述的X荧光测厚仪的电动样品台，其特征在于，所述Z轴滑板组件包括两块Z轴滑块立肋板、Z轴滑块固定板、Z轴滑块顶板、Z轴滑块背板。
4.根据权利要求1所述的X荧光测厚仪的电动样品台，其特征在于，所述Z轴定位组件还包括两块Z轴立肋板，Z轴立肋板设于Z轴立板两侧。
5.根据权利要求3所述的X荧光测厚仪的电动样品台，其特征在于，所述Z轴滑块立肋板、Z轴立肋板、Z轴滑块顶板、X轴底板、Y轴顶板上均设有多个腰形孔。
6.根据权利要求1所述的X荧光测厚仪的电动样品台，其特征在于，所述X轴伺服电机、Y轴伺服电机、Z轴伺服电机、X轴限位感应片、Y轴限位感应片、Z轴限位感应片均与控制器连接。
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