CN203602750U - 一种用于扩宽区熔单晶炉内线圈缝的工具 - Google Patents

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陈海滨
闫志瑞
李明飞
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Youyan Semiconductor Silicon Materials Co ltd
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GUOTAI SEMICONDUCTOR MATERIALS CO Ltd
Grinm Semiconductor Materials Co Ltd
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Abstract

本实用新型提供一种用于扩宽区熔单晶炉内线圈缝的工具，该工具包括第一直角块、第二直角块和一个长方块，整体呈T字形；其中，两个直角块分别由横边和纵边组成；第一直角块的纵边与第二直角块的纵边相互贴紧，长方块位于两个直角块的横边外侧并通过螺钉与两个直角块固定，长方块开有两条滑槽，四个螺钉分别位于两条滑槽内；两个直角块的横边通过螺杆连接，该螺杆穿过第一直角块的横边，其端部穿入第二直角块的横边，通过旋拧该螺杆可调节两直角块之间的距离。当线圈由于变形导致线圈缝变窄后，采用本实用新型能较方便的扩宽线圈缝。本实用新型结构简单、实用。

Description

一种用于扩宽区熔单晶炉内线圈缝的工具
技术领域
本实用新型涉及一种用于扩宽区熔单晶炉内线圈缝的工具。
背景技术
目前半导体工业用的硅单晶主要是用直拉法(CZ)生长的。而区熔法(FZ)生长的单晶由于含氧低和几乎没有金属污染的特点，使其适合用在大功率器件上。由于用大尺寸单晶制造芯片可以极大的节省生产成本，目前市场主流区熔单晶采用直径为大直径区熔单晶。生长的单晶直径的增大，所用线圈直径也相应增大。在区熔法生长单晶时，线圈的作用是传递能量以熔化多晶，在这一过程中，线圈的法兰端开缝由于形变容易变窄。当线圈缝变窄后，线圈在高频电压下更容易放电打火。这就需要一个合适的工具，能方便有效的扩宽线圈缝。
实用新型内容
本实用新型的目的在于提供一种用于扩宽区熔单晶炉内线圈缝的工具，当线圈由于变形导致线圈缝变窄后，能较方便的扩宽线圈缝。
为实现上述目的，本实用新型采用以下技术方案：
一种用于扩宽区熔单晶炉内线圈缝的工具，该工具包括第一直角块、第二直角块和一个长方块，整体呈T字形；其中，两个直角块分别由横边和纵边组成；第一直角块的纵边与第二直角块的纵边相互贴紧，长方块位于两个直角块的横边外侧并通过螺钉与两个直角块固定，长方块开有两条滑槽，四个螺钉分别位于两条滑槽内；两个直角块的横边通过螺杆连接，该螺杆穿过第一直角块的横边，其端部穿入第二直角块的横边，通过旋拧该螺杆可调节两直角块之间的距离。
所述第一直角块、第二直角块的横边及长方块通过螺钉连接线圈的法兰，第一直角块、第二直角块的纵边置于线圈缝内。
所述第一直角块和第二直角块的纵边宽度之和小于线圈缝。
所述螺杆的数量为2个，对称设置在两个直角块的横边内。
本实用新型的优点在于：
当线圈由于变形导致线圈缝变窄后，采用本实用新型能较方便的扩宽线圈缝。本实用新型结构简单、实用。
附图说明
图1为本实用新型的主视图。
图2为本实用新型的侧视图。
图3为第二直角块的结构示意图。
具体实施方式
以下结合附图对本实用新型做进一步说明。
本实用新型采用不锈钢材料制成，适用于区熔单晶炉内普遍使用的加热线圈。此类线圈一般包括线圈本体和外侧的两个线圈法兰，线圈缝即为线圈本体在两个线圈法兰之间形成的缝隙。
如图1、2所示，本实用新型包括第一直角块1、第二直角块2和一个长方块3，整体呈T字形；其中，第一直角块1的纵边4与第二直角块2的纵边5相互贴紧，长方块3位于两个直角块的横边6、7外侧，长方块3开有两个滑槽11，长方块3通过四个螺钉8与直角块1、2相对固定，该四个螺钉8位于滑槽11内；两个直角块的横边通过两个螺杆9连接，该螺杆9穿过第一直角块1的横边6，其端部穿入第二直角块2的横边7，两个螺杆对称设置。通过旋拧该螺杆9可调节两个直角块之间的距离。第一直角块、第二直角块的横边及长方块设有螺钉孔10，用于通过螺钉连接到线圈的法兰上。
本实用新型在使用时，第一直角块、第二直角块的横边及长方块通过螺钉连接线圈的法兰上，第一直角块、第二直角块的纵边置于线圈缝内。第一直角块和第二直角块的纵边贴紧后的宽度要小于变窄的线圈缝的宽度。
当采用本实用新型对由于变形而变窄的线圈缝进行扩充时，将该工具的相互贴近的两个直角块的纵边4、5插入两个法兰之间的线圈缝内，用2个螺钉8将第一直角块1和长方块3固定在一个法兰上，再用另外2个螺钉8将第二直角块2和长方块3固定在另一个法兰上。然后向旋紧的方向旋拧螺杆9(两个螺杆交替旋拧)，两个螺杆9推动第二直角块远离第一直角块，此时，位于其中两个直角块上的螺钉8相应的在滑槽中移动，第一直角块1的纵边4与第二直角块2的纵边5分离，两个直角块的纵边分别抵推线圈缝的两侧面，在两个直角块的纵边的抵推作用下，线圈缝被扩宽到所需要的尺寸。

Claims (4)

1.一种用于扩宽区熔单晶炉内线圈缝的工具，其特征在于，该工具包括第一直角块、第二直角块和一个长方块，整体呈T字形；其中，两个直角块分别由横边和纵边组成；第一直角块的纵边与第二直角块的纵边相互贴紧，长方块位于两个直角块的横边外侧并通过螺钉与两个直角块固定，长方块开有两条滑槽，四个螺钉分别位于两条滑槽内；两个直角块的横边通过螺杆连接，该螺杆穿过第一直角块的横边，其端部穿入第二直角块的横边，通过旋拧该螺杆可调节两直角块之间的距离。
2.根据权利要求1所述的用于扩宽区熔单晶炉内线圈缝的工具，其特征在于，所述第一直角块、第二直角块的横边及长方块通过螺钉连接线圈的法兰，第一直角块、第二直角块的纵边置于线圈缝内。
3.根据权利要求1所述的用于扩宽区熔单晶炉内线圈缝的工具，其特征在于，所述第一直角块和第二直角块的纵边宽度之和小于线圈缝。
4.根据权利要求1所述的用于扩宽区熔单晶炉内线圈缝的工具，其特征在于，所述螺杆的数量为2个，对称设置在两个直角块的横边内。
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* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN108425146A (zh) * 2018-04-13 2018-08-21 天津中环领先材料技术有限公司 一种降低区熔感应线圈形变的方法及抗形变线圈

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