CN203530505U - 太阳能电池扩散尾气处理装置 - Google Patents
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Abstract
本实用新型提供了一种太阳能电池扩散尾气处理装置。该太阳能电池扩散尾气处理装置包括扩散炉管和尾气输出管道，其中，扩散炉管包括炉门，扩散炉管的远离炉门的一端设置有工艺气体入口，靠近炉门的一端设置有尾气出口；尾气输出管道与尾气出口相连通，用于输送扩散尾气。根据本实用新型的太阳能电池扩散尾气处理装置，尾气输出管道与设置在靠近炉门的一端的尾气出口相连通，避免了以往的尾气出口设置在与炉门相对的一端时，需要将的尾气输出管道从扩散炉管的与炉门相对一端伸入到炉门端而造成的尾气输出管道的浪费，大大降低了企业的生产成本。
Description
技术领域
本实用新型涉及尾气处理设备领域，更具体地，涉及一种太阳能电池扩散尾气处理装置。
背景技术
晶硅太阳能电池已经被大规模应用到各个领域，其良好的稳定性和成熟的工艺流程是其大规模应用的基础，然而随着技术和市场的发展，降低生产成本成为最重要的事情。其中扩散工序是生产中最重要的一步，现有的扩散工序的成本较高，不能满足生产企业的要求。
造成太阳能电池片生产成本高的因素有很多，其中，现有的太阳能电池扩散尾气处理装置成本过高就是原因之一。参见图1所示，在现有的太阳能电池扩散尾气处理装置中，工艺气体输送管道20a的入口和尾气的出口均设置在扩散石英炉管10a的炉门13a的相对端，如果要排尾气，就需要将尾气输出管道30a伸入到扩散石英炉管10a的炉门处，从而将尾气排出扩散石英炉管10a外。此时，需要的尾气输出管道30a很长，增加了企业的生产成本，与此同时，尾气输出管道的这种设置方式也不利于尾气的排泄。
实用新型内容
本实用新型旨在提供一种太阳能电池扩散尾气处理装置，以解决现有技术的太阳能电池扩散尾气处理装置成本较高的问题。
为解决上述技术问题，本实用新型的提供了一种太阳能电池扩散尾气处理装置，该太阳能电池扩散尾气处理装置包括：扩散炉管，包括炉门，扩散炉管的远离炉门的一端设置有工艺气体入口，靠近炉门的一端设置有尾气出口；尾气输出管道，与尾气出口相连通，用于输送扩散尾气。
进一步地，尾气输出管道为L型石英管。
进一步地，太阳能电池扩散尾气处理装置还包括尾气处理机构，尾气输出管道与尾气处理机构连通。
进一步地，尾气处理机构包括密闭的残液罐，尾气输出管道伸入残液罐的底部。
进一步地，尾气处理机构还包括尾气排泄管道，尾气排泄管道用于将残液罐中的尾气排出残液罐。
进一步地，尾气排泄管道的第一端与残液罐相连通且位于残液罐上端，第二端为伸出残液罐的排泄自由端。
进一步地，尾气出口到炉门的距离在30cm至50cm的范围内。
进一步地，太阳能电池扩散尾气处理装置还包括：工艺气体输送管道，与工艺气体入口相连通，用于向扩散炉管通入工艺气体。
进一步地，尾气出口的直径在1cm至3cm的范围内。
应用本实用新型的技术方案，太阳能电池扩散尾气处理装置包括扩散炉管和尾气输出管道，其中扩散炉管包括炉门，扩散炉管的远离炉门的一端设置有工艺气体入口，靠近炉门的一端设置有尾气出口；尾气输出管道与尾气出口相连通，用于输送扩散尾气。根据本实用新型的太阳能电池扩散尾气处理装置，尾气输出管道与设置在靠近炉门的一端的尾气出口相连通，避免了以往的尾气出口设置在与炉门相对的一端时，需要将的尾气输出管道从扩散炉管的与炉门相对一端伸入到炉门端而造成的尾气输出管道的浪费，大大降低了企业的生产成本。
附图说明
构成本申请的一部分的附图用来提供对本实用新型的进一步理解，本实用新型的示意性实施例及其说明用于解释本实用新型，并不构成对本实用新型的不当限定。在附图中：
图1示意性示出了现有的太阳能电池扩散尾气处理装置的俯视图；
图2示意性示出了本实用新型的太阳能电池扩散尾气处理装置的俯视图；以及
图3示意性示出了本实用新型的太阳能电池扩散尾气处理装置的左视图。
附图标记说明：10、扩散炉管；11、工艺气体入口；12、尾气出口；13、炉门；20、工艺气体输送管道；30、尾气输出管道；40、尾气处理机构；41、残液罐；42、尾气排泄管道。
具体实施方式
以下结合附图对本实用新型的实施例进行详细说明，但是本实用新型可以由权利要求限定和覆盖的多种不同方式实施。
术语解释：
尾气输出管道管：一种排放尾气的石英管，这里的尾气指扩散工艺气体在硅片表面形成PN结后残余的所有气体。
残液罐：在尾气进入总排气管之前，需要经过一个石英罐冷却由炉管直接排出的尾气，这个石英罐称之为残液罐。
结合图2和图3所示，图2中的虚线表示尾气的流动方向。根据本实用新型的实施例，太阳能电池扩散尾气处理装置包括扩散炉管10，使用扩散炉管10时，首先打开扩散炉管10的炉门13，将待扩散的太阳能电池放置在扩散炉管10的内部。扩散炉管10的远离炉门13一端设置有工艺气体入口11，在工艺气体入口11处设置有与扩散炉管10相连通的工艺气体输送管道20，通过工艺气体输送管道20可以向扩散炉管10通入工艺气体。在靠近炉门13的一端设置有尾气出口12，在尾气出口12处设置有与扩散炉管10相连通的尾气输出管道30，通过尾气输出管道30可以将扩散炉管10内部的扩散尾气输送到扩散炉管10的外部。
在本实施例的结构中，太阳能电池片经过扩散之后产生的尾气集中在靠近炉门13的一端，而尾气出口12恰好设置在靠近炉门13的一端，此时，只要将尾气输出管道30与尾气出口12接通，就可以将太阳能电池扩散产生的尾气排泄到扩散炉管的外部，避免了以往的尾气出口12设置在与炉门13相对的一端时，需要将的尾气输出管道30从扩散炉管10的与炉门13相对端伸入到炉门13端而造成的尾气输出管道30的浪费，大大降低了企业的生产成本。
此外，在本实施例中，工艺气体从炉门13的相对端流至靠近炉门13的一端，在太阳能电池扩散的过程中，扩散尾气的流向实际是与工艺气体的流向相一致的，也就是说，将尾气出口12设置在靠近炉门13的一端，尾气的流动方向基本是不变的，可以使得尾气排出扩散炉管10的过程更加顺畅和快捷。
优选地，尾气出口12的直径在1cm至3cm的范围内，一方面能够保证尾气能够尽可能地进入尾气输出管道30，另一方面可以防止尾气出口12过大而导致扩散炉管10的结构被破坏。
本实施例的扩散炉管10可以直接利用现有技术中的扩散炉管改造而得到，具体来说，将原来的设置在远离炉门13的一端的尾气出口堵住，然后再在靠近炉门13的一端设置一个新的尾气出口12即可，此操作容易实现，进一步降低了企业的生产成本。
本实施例的太阳能电池扩散尾气处理装置还包括尾气处理机构40，该尾气输出管道30与尾气处理机构40连通，对从尾气输出管道30输送到尾气处理机构40的尾气进行处理。具体来说，尾气处理机构40包括密闭的残液罐41和尾气排泄管道42。一方面，尾气输出管道30伸入残液罐41的底部，当尾气到达残液罐41时，尾气的温度从高温迅速降低，一部分尾气会转化为气体或固体而留在残液罐41中；另一方面，尾气排泄管道42的第一端与残液罐41相连通且位于残液罐41上端，以便将不能及时转化为液体或固体的尾气从残液罐41中排除，防止残液罐41出现爆破现象。尾气排泄管道42第二端为伸出残液罐41排泄自由端，保证残液罐41中的尾气能够迅速排出。
优选地，本实施例的尾气输出管道30为L型石英管，不仅可以方便地将残液罐41与扩散炉管10相连通，还能保证高温尾气不会与尾气输出管道30发生反应，提高了本实施例的阳能电池扩散尾气处理装置的使用寿命，从而降低企业的生产成本。
根据本实施例，尾气出口12到炉门13的距离在30cm至50cm的范围内，能够保证扩散炉管10内部的尾气尽可能地进入尾气输出管道30进而到达尾气处理机构40。
从以上的描述中，可以看出，本实用新型上述的实施例实现了如下技术效果：尾气输出管道与设置在靠近炉门的一端的尾气出口相连通，避免了以往的尾气出口设置在与炉门相对的一端时，需要将的尾气输出管道从扩散炉管的与炉门相对端伸入到炉门端而造成的尾气输出管道的浪费，大大降低了企业的生产成本。此外，利用本实用新型的太阳能电池扩散尾气处理装置可以使得尾气排出扩散炉管的过程更加顺畅和快捷。
以上所述仅为本实用新型的优选实施例而已，并不用于限制本实用新型，对于本领域的技术人员来说，本实用新型可以有各种更改和变化。凡在本实用新型的精神和原则之内，所作的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本实用新型的保护范围之内。
Claims (9)
1.一种太阳能电池扩散尾气处理装置，其特征在于，包括：
扩散炉管（10），包括炉门（13），所述扩散炉管（10）的远离所述炉门（13）的一端设置有工艺气体入口（11），靠近所述炉门（13）的一端设置有尾气出口（12）；
尾气输出管道（30），与所述尾气出口（12）相连通，用于输送扩散尾气。
2.根据权利要求1所述的太阳能电池扩散尾气处理装置，其特征在于，所述尾气输出管道（30）为L型石英管。
3.根据权利要求1或2所述的太阳能电池扩散尾气处理装置，其特征在于，所述太阳能电池扩散尾气处理装置还包括尾气处理机构（40），所述尾气输出管道（30）与所述尾气处理机构（40）连通。
4.根据权利要求3所述的太阳能电池扩散尾气处理装置，其特征在于，所述尾气处理机构（40）包括密闭的残液罐（41），所述尾气输出管道（30）伸入所述残液罐（41）的底部。
5.根据权利要求4所述的太阳能电池扩散尾气处理装置，其特征在于，所述尾气处理机构（40）还包括尾气排泄管道（42），所述尾气排泄管道（42）用于将所述残液罐（41）中的尾气排出所述残液罐（41）。
6.根据权利要求5所述的太阳能电池扩散尾气处理装置，其特征在于，所述尾气排泄管道（42）的第一端与所述残液罐（41）相连通且位于所述残液罐（41）上端，第二端为伸出所述残液罐（41）的排泄自由端。
7.根据权利要求1或2所述的太阳能电池扩散尾气处理装置，其特征在于，所述尾气出口（12）到所述炉门（13）的距离在30cm至50cm的范围内。
8.根据权利要求1或2所述的太阳能电池扩散尾气处理装置，其特征在于，所述太阳能电池扩散尾气处理装置还包括：
工艺气体输送管道（20），与所述工艺气体入口（11）相连通，用于向所述扩散炉管（10）通入工艺气体。
9.根据权利要求1或2所述的太阳能电池扩散尾气处理装置，其特征在于，所述尾气出口（12）的直径在1cm至3cm的范围内。
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Cited By (1)
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|---|---|---|---|---|
| CN107824001A (zh) * | 2017-12-13 | 2018-03-23 | 无锡正隆星源电子科技有限公司 | 扩散炉用废气处理装置 |
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2013
- 2013-08-02 CN CN201320470628.9U patent/CN203530505U/zh not_active Expired - Fee Related
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