CN203448343U - 一种工件架硅粉清除装置 - Google Patents

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杨春秀
刘小雨
刘佳
魏小涛
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Hanergy Mobile Energy Holdings Group Co Ltd
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Abstract

本实用新型涉及一种工件架硅粉清除装置，通过在排形离子风嘴上设置若干吹气嘴，并使吹气嘴分别位于每两个工件架极板之间；排形离子风嘴内的高压电源发生器将输送到排形离子风嘴内的压缩空气电离产生正负电荷；带有正负电荷的压缩空气通过吹气嘴吹向工件架极板表面，将其表面附着的硅粉所带的电荷中和，降低了硅粉的附着力；动力装置驱动排形离子风嘴在垂直方向上下往复运动，将工件架极板表面的硅粉吹落；通过设置在吹气嘴表面的刷毛，在排形离子风嘴上下运动过程中实现对工件架极板表面刷扫清除，提高了工件架的清洁度，节省了人力以及提高了清洁效率，减少PECVD镀膜针孔透空的形成，达到提高非晶硅薄膜转化效率的目的。

Description

一种工件架硅粉清除装置
技术领域
本发明涉及太阳能电池技术领域，具体涉及一种太阳能电池中装载薄膜基片的工件架硅粉清除装置。   
背景技术
为了降低环境污染、CO2温室气体的排放，太阳能产业已成为每个国家的战略要求。目前，光伏市场的产品分为晶硅太阳能电池和薄膜太阳能电池，与晶硅太阳能电池相比，薄膜太阳能电池具有价钱低、污染低、灵活性高、弱光效应好、适合大面积地区使用等优点。PECVD沉积的Si/SiGe/Si三叠层结构是薄膜电池的发电层，负责产生光生载流子，直接决定了Si基薄膜电池的开路电压、短路电流和转换效率。而沉积过程中的沉积环境对非晶硅薄膜电池的成膜质量起到非常重要的作用。在现有的生产工艺条件下，用于装载非晶硅薄膜基片的工件架有若干个电极，每个电极有两个极板间距， Si基薄膜沉积完成后，里面残存的的硅粉非常难清洁，污染沉积环境，使再次沉积的非晶硅薄膜时产生白色的针孔透空，不仅影响薄膜电池的开路电压、短路电流，而且使PVD沉积的背电极与前电极TCO形成短路，降低了薄膜电池的转化效率。所以装载基片的工件架的硅粉的多少直接影响了电池的转化效率。在现有的生产条件下，工件架的清洁只是用CDA吹扫，边缘用酒精擦拭，清洁效果非常差。而且CDA吹扫的硅粉悬浮在空气中，不但造成工件架的二次污染，而且极易吸入呼吸道，对人体造成危害。
发明内容
本发明为了克服以上技术的不足，提供了一种清洁效果优良且环境清洁的工件架硅粉清除清除装置。
本发明克服其技术问题所采用的技术方案是：
本工件架硅粉清除装置，包括N个工件架极板、两个上下布置的带轮Ⅰ、包绕于两个带轮Ⅰ上的传动皮带、连接于其中一带轮Ⅰ一端的电机、安装于皮带上的活动支架Ⅰ、连接于活动支架Ⅰ的连接支架Ⅰ、安装于连接支架Ⅰ头端的并连接于压缩空气管路的排形离子风嘴以及安装于排形离子风嘴头端的N-1个吹气嘴，所述每个吹气嘴分别位于每两个工件架极板之间，所述两个带轮Ⅰ轴线之间的距离大于工件架极板的高度。
为了提高传动精度以及提高硅粉清洁效果，上述电机为伺服电机Ⅰ，所述皮带为齿形带Ⅰ，所述排形离子风嘴内安装有PTC加热芯片。
还包括设置于工件架极板后方的吸气头以及通过风管连接于吸气头的集尘器。
为了实现吹气嘴相对于工件架极板水平运动，还包括水平布置的用于驱动带轮Ⅰ横向运动的丝杠，所述丝杠的一端安装有伺服电机Ⅲ。
为了提高清洁效果，上述吹气嘴外表面四周设置有刷毛。
为了提高集尘器吸尘效果，还包括两个水平布置的带轮Ⅱ、包绕于两个带轮Ⅱ上的齿形带Ⅱ、连接于其中一带轮带轮Ⅱ一端的伺服电机Ⅱ、安装于齿形带Ⅱ上的活动支架Ⅱ、连接于活动支架Ⅱ的连接支架Ⅱ，所述集尘器安装于连接支架Ⅱ的头端。
本发明的有益效果是：利用含有正负离子的压缩空气高速流过工件架极板后将硅粉所带电荷中和，因此降低了硅粉的附着力，因此利用空气吹以及刷毛刷除提高了工件架的清洁度，节省了人力以及提高了清洁效率，减少PECVD镀膜针孔透空的形成，达到提高非晶硅薄膜转化效率的目的。
附图说明
图1为本发明的结构示意图；
图中，1.伺服电机Ⅰ 2.带轮Ⅰ 3.排形离子风嘴 4.吸气头 5.集尘器 6.活动支架Ⅱ 7.带轮Ⅱ 8.伺服电机Ⅱ 9.齿形带Ⅱ 10.连接支架Ⅱ 11.工件架极板 12.刷毛 13.连接支架Ⅰ 14.活动支架Ⅰ 15.齿形带Ⅰ 16.丝杠 17.伺服电机Ⅲ 18.吹气嘴。
具体实施方式
下面结合附图1对本发明做进一步说明。
本工件架硅粉清除装置，包括N个工件架极板11、两个上下布置的带轮Ⅰ 2、包绕于两个带轮Ⅰ 2上的传动皮带、连接于其中一带轮Ⅰ 2一端的电机、安装于皮带上的活动支架Ⅰ 14、连接于活动支架Ⅰ 14的连接支架Ⅰ 13、安装于连接支架Ⅰ 13头端的并连接于压缩空气管路的排形离子风嘴3以及安装于排形离子风嘴3头端的N-1个吹气嘴18，每个吹气嘴18分别位于每两个工件架极板11之间，两个带轮Ⅰ 2轴线之间的距离大于工件架极板11的高度。电机驱动带轮Ⅰ 2转动从而使皮带围绕带轮Ⅰ 2转动，皮带通过活动支架Ⅰ 14驱动连接支架Ⅰ 13带动排形离子风嘴3上下运动，从而可以使通过吹气嘴18吹出的带有正负离子的压缩空气可以均匀吹送到各个工件架极板11上，实现清除目的。电机可以为伺服电机Ⅰ 1，皮带可以为齿形带Ⅰ 15，伺服电机Ⅰ 1以及齿形带Ⅰ 15可以提高传动的精度，保证离子风嘴3上下运动的定位精确度，提高效率。排形离子风嘴3内可以安装有PTC加热芯片，加热排形离子风嘴3中流过的压缩空气以提高清除效果。由于含有正负离子的压缩空气高速流过工件架极板11后将硅粉所带电荷中和，因此降低了硅粉的附着力，因此利用空气吹以及刷毛12刷除提高了工件架的清洁度，节省了人力以及提高了清洁效率，减少PECVD镀膜针孔透空的形成，达到提高非晶硅薄膜转化效率的目的。
还可以在工件架极板11后方设置吸气头4，吸气头4通过风管连接于集尘器5。集尘器5通过吸气头4将吹落的硅粉收集，即提高了车间的环境质量，避免了工件架极板11的二次污染，又可以将硅粉回收以便二次利用，节省了制造成本。通过增加两个水平布置的带轮Ⅱ 7、包绕于两个带轮Ⅱ 7上的齿形带Ⅱ 9、连接于其中一带轮带轮Ⅱ 7一端的伺服电机Ⅱ 8、安装于齿形带Ⅱ 9上的活动支架Ⅱ 6、连接于活动支架Ⅱ 6的连接支架Ⅱ 10，集尘器5安装于连接支架Ⅱ 10的头端。因此伺服电机Ⅱ 8转动从而使皮带围绕带轮Ⅱ 7转动，齿形带Ⅱ 9通过活动支架Ⅱ 6带动连接支架Ⅱ 10横向移动从而使吸气头4移动到距离工件架极板11合适的工作距离，然后再工作，以达到最好的吸气效果。
还包括水平布置的用于驱动带轮Ⅰ 2横向运动的丝杠16，丝杠16的一端安装有伺服电机Ⅲ 17。伺服电机Ⅲ 17转动从而驱动丝杠16转动，从而使吹气嘴18相对于工件架极板11横向进给，当吹气嘴18上下运动后，在横向进给一定距离，然后再上下运动，从而通过多次作用，实现了工件架极板11表面无残留死角的清除硅粉。
通过在吹气嘴18外表面四周设置刷毛12，使吹气嘴18在相对工件架极板11表面运动时可以利用刷毛12将表面辅助残留的硅粉彻底清除干净，提高了清洁效果。

Claims (6)

1.一种工件架硅粉清除装置，其特征在于：包括N个工件架极板（11）、两个上下布置的带轮Ⅰ（2）、包绕于两个带轮Ⅰ（2）上的传动皮带、连接于其中一带轮Ⅰ（2）一端的电机、安装于皮带上的活动支架Ⅰ（14）、连接于活动支架Ⅰ（14）的连接支架Ⅰ（13）、安装于连接支架Ⅰ（13）头端的并连接于压缩空气管路的排形离子风嘴（3）以及安装于排形离子风嘴（3）头端的N-1个吹气嘴（18），所述每个吹气嘴（18）分别位于每两个工件架极板（11）之间，所述两个带轮Ⅰ（2）轴线之间的距离大于工件架极板（11）的高度。
2.根据权利要求1所述的工件架硅粉清除装置，其特征在于：所述电机为伺服电机Ⅰ（1），所述皮带为齿形带Ⅰ（15），所述排形离子风嘴（3）内安装有PTC加热芯片。
3.根据权利要求1所述的工件架硅粉清除装置，其特征在于：还包括设置于工件架极板（11）后方的吸气头（4）以及通过风管连接于吸气头（4）的集尘器（5）。
4.根据权利要求1所述的工件架硅粉清除装置，其特征在于：还包括水平布置的用于驱动带轮Ⅰ（2）横向运动的丝杠（16），所述丝杠（16）的一端安装有伺服电机Ⅲ（17）。
5.根据权利要求1至4中任意一项所述的工件架硅粉清除装置，其特征在于：所述吹气嘴（18）外表面四周设置有刷毛（12）。
6.根据权利要求5所述的工件架硅粉清除装置，其特征在于：还包括两个水平布置的带轮Ⅱ（7）、包绕于两个带轮Ⅱ（7）上的齿形带Ⅱ（9）、连接于其中一带轮带轮Ⅱ（7）一端的伺服电机Ⅱ（8）、安装于齿形带Ⅱ（9）上的活动支架Ⅱ（6）、连接于活动支架Ⅱ（6）的连接支架Ⅱ（10），所述集尘器（5）安装于连接支架Ⅱ（10）的头端。
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CN112756287A (zh) * 2020-12-23 2021-05-07 湖北理工学院 一种计算机生产用高效除尘除静电装置

Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN103406314A (zh) * 2013-08-27 2013-11-27 山东禹城汉能光伏有限公司 一种工件架硅粉清除方法及清除装置
CN112756287A (zh) * 2020-12-23 2021-05-07 湖北理工学院 一种计算机生产用高效除尘除静电装置
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