CN203443361U - 一种真空炉旋转进气装置 - Google Patents
一种真空炉旋转进气装置 Download PDFInfo
- Publication number
- CN203443361U CN203443361U CN201320467549.2U CN201320467549U CN203443361U CN 203443361 U CN203443361 U CN 203443361U CN 201320467549 U CN201320467549 U CN 201320467549U CN 203443361 U CN203443361 U CN 203443361U
- Authority
- CN
- China
- Prior art keywords
- rotating shaft
- graphite
- gas
- communicated
- drying oven
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Fee Related
Links
Images
Landscapes
- Drying Of Solid Materials (AREA)
Abstract
一种真空炉旋转进气装置，包括旋转轴和石墨旋转轴，所述石墨旋转轴的一端与所述旋转轴连接，另一端设置在真空炉的加热室内，并且所述加热室内设有与石墨旋转轴连接的旋转放样台，所述旋转轴和石墨旋转轴的中部设有相互连通的气体通道，所述旋转轴上设有与所述气体通道连通的进气口，所述石墨旋转轴的侧面在加热室内的部分上开设有多个与气体通道连通的出气体通道，所述旋转轴通过动力装置驱动旋转。本实用新型提高了工件与气体接触的机会，弥补了静态摆放工件和单点定向布气形成的死区这一缺点，使真空炉内气体更均匀。
Description
技术领域
本实用新型涉及一种真空炉旋转进气装置。
背景技术
在现有技术真空电炉技术领域（如真空热处理炉、化学气相沉积炉等）工件摆放在料台上，工艺气体进气多采用单点进气或多点分布进气方式，工件摆放和进气均为静态方式，这样处理具有结构简单，制作方便的特点，但是缺点是气体和工件接触不均匀，易出现气体流动死角，在讲究气体流场分布的材料处理工艺（如气相沉积工艺）中易造成产品处理不均匀。
实用新型内容
本实用新型的目的在于克服现有技术的不足而提供一种结构简单、在保证高温和真空的前提下实现料台旋转和气体均匀分布，使工件与气体充分接触，避免了出现接触死角，处理效果更加均匀的真空炉旋转进气装置。
为了实现上述目的，本实用新型所采用的技术方案是：
一种真空炉旋转进气装置，包括旋转轴和石墨旋转轴，所述石墨旋转轴的一端与所述旋转轴连接，另一端设置在真空炉的加热室内，并且所述加热室内设有与石墨旋转轴连接的旋转放样台，所述旋转轴和石墨旋转轴的中部设有相互连通的气体通道，所述旋转轴上设有与所述气体通道连通的进气口，所述石墨旋转轴的侧面在加热室内的部分上开设有多个与气体通道连通的出气孔，所述旋转轴通过动力装置驱动旋转。
所述旋转轴的外圆在进气口的位置设有与进气口连通的气槽，所述旋转轴通过轴承安装在轴套内，所述旋转轴在气槽的上下两侧通过旋转机械密封装置密封并且所述旋转机械密封装置外安装有水冷套进行水冷降温。
所述旋转轴上安装有驱动链轮，所述驱动链轮通过传动装置于电机的输出端连接。
由于采用上述方案，本装置在旋转轴的中心设置了气体通道，一端连接外部气源，另一端与真空炉的加热室连通，旋转轴在炉体内采用石墨旋转轴，石墨旋转轴在炉体内部分的侧面上开有数个出气孔，气体通过该通道后在末端以散射的形式进入真空炉的加热室内，由于气体也呈现出360度全范围的喷射，从而实现了全角度进气的均匀布气效果。
综上所述，本专利在保证真空条件的前提下通过对料台和进气的旋转处理，使真空炉内气体更均匀，提高了工件与气体接触的机会，弥补了静态摆放工件和单点定向布气形成的死区这一缺点。
附图说明
图1是本实用新型安装在真空炉上的结构示意图；
图2是图1A处的放大图。
附图1至2中，1——旋转放料台，2——加热室，3——炉体，4——石墨旋转轴，5——旋转机构，6——排气口，51——旋转轴，52——驱动链轮，53——旋转机械密封装置，54——水冷套，55——进气口。
具体实施方式
下面结合附图，进一步详细说明本专利的具体实施方式。
参照图1至2，真空炉包括炉体3、加热室2、真空炉旋转进气装置5和排气口6，真空炉旋转进气装置5包括旋转轴51和石墨旋转轴4，所述石墨旋转轴4的一端与所述旋转轴51连接，另一端设置在真空炉炉体3的加热室6内，并且所述加热室6内设有与石墨旋转轴4连接的旋转放样台1，所述旋转轴51和石墨旋转轴4的中部设有相互连通的气体通道，所述旋转轴51上设有与所述气体通道连通的进气口55，所述石墨旋转轴4的侧面在加热室2内的部分上开设有多个与气体通道连通的出气孔7，所述旋转轴51的外圆在进气口的位置设有与进气口55连通的气槽，所述旋转轴51通过轴承安装在轴套内，所述旋转轴51在气槽的上下两侧通过旋转机械密封装置53密封，并且旋转机械密封装置53外通过水冷套54进行水冷保护，使得从进气口55中进入的气体只能进入到气体通道中。
旋转放样台1选用耐高温性能的石墨材料，旋转轴51为金属主动轴芯，真空炉旋转进气装置5的水冷套54采用法兰连接形式与真空容器的安装座连接，旋转轴51与石墨旋转轴4的连接采用螺纹连接方式或者销钉连接方式。金属主动芯轴安装在一个的旋转机械密封装置53内，该旋转机械密封装置53采取水冷保护，保护真空室内高温易损坏密封件以及金属结构件，同时旋转机械密封装置53对主动轴实现径向密封，这样就实现了旋转运动下整套装置的动态密封。
在旋转轴51的中心设置了气体通道，一端连接外部气源，另一端通过石墨旋转轴4与炉体3内直通，石墨旋转轴4的末端侧面开有数个出气孔7，气体通过该通道后在末端以散射的形式进入真空腔内。在主动轴旋转的同时气体也呈现出360度全范围的喷射，从而实现了全角度进气的均匀布气效果。
Claims (3)
1.一种真空炉旋转进气装置，其特征在于，包括旋转轴和石墨旋转轴，所述石墨旋转轴的一端与所述旋转轴连接，另一端设置在真空炉的加热室内，并且所述加热室内设有与石墨旋转轴连接的旋转放样台，所述旋转轴和石墨旋转轴的中部设有相互连通的气体通道，所述旋转轴上设有与所述气体通道连通的进气口，所述石墨旋转轴的侧面在加热室内的部分上开设有多个与气体通道连通的出气体通道，所述旋转轴通过动力装置驱动旋转。
2.根据权利要求1所述的真空炉旋转进气装置，其特征在于，所述旋转轴的外圆在进气口的位置设有与进气口连通的气槽，所述旋转轴通过轴承安装在轴套内，所述旋转轴在气槽的上下两侧通过旋转机械密封装置密封并且所述旋转机械密封装置外安装有水冷套进行水冷降温。
3.根据权利要求1或2所述的真空炉旋转进气装置，其特征在于，所述旋转轴上安装有驱动链轮，所述驱动链轮通过传动装置于电机的输出端连接。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN201320467549.2U CN203443361U (zh) | 2013-08-01 | 2013-08-01 | 一种真空炉旋转进气装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN201320467549.2U CN203443361U (zh) | 2013-08-01 | 2013-08-01 | 一种真空炉旋转进气装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| CN203443361U true CN203443361U (zh) | 2014-02-19 |
Family
ID=50094401
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| CN201320467549.2U Expired - Fee Related CN203443361U (zh) | 2013-08-01 | 2013-08-01 | 一种真空炉旋转进气装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| CN (1) | CN203443361U (zh) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN105318713A (zh) * | 2014-08-01 | 2016-02-10 | 天津市维之丰科技有限公司 | 一种旋转式瓷器烧制真空炉 |
-
2013
- 2013-08-01 CN CN201320467549.2U patent/CN203443361U/zh not_active Expired - Fee Related
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN105318713A (zh) * | 2014-08-01 | 2016-02-10 | 天津市维之丰科技有限公司 | 一种旋转式瓷器烧制真空炉 |
| CN105318713B (zh) * | 2014-08-01 | 2017-11-07 | 天津市维之丰科技有限公司 | 一种旋转式瓷器烧制真空炉 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| CN102615752B (zh) | 一种滚塑成型机 | |
| WO2017161657A1 (zh) | 一种槽式烘干结构 | |
| CN103283871A (zh) | 一种温控型多功能茶叶烘干机 | |
| CN104438201A (zh) | 一种硅料清洗工艺及其设备 | |
| CN203443361U (zh) | 一种真空炉旋转进气装置 | |
| CN206219635U (zh) | 一种用于生产汽车齿轮的旋转正火加热装置 | |
| CN202808893U (zh) | 一种真空气淬炉快速风冷系统 | |
| CN203424234U (zh) | 一种温控型多功能茶叶烘干机 | |
| CN201731729U (zh) | 甩干式恒温烘箱 | |
| CN210215467U (zh) | 高效真空退火炉 | |
| CN204513948U (zh) | 一种烘干箱 | |
| CN104236288A (zh) | 一种新型离心式甩干机及其制作方法 | |
| CN209802059U (zh) | 一种可缩小温差、提高成品率的焙烧环式炉 | |
| CN104839325B (zh) | 鲜莲自动干燥机 | |
| CN204022921U (zh) | 一种铜铝复合排退火用退火炉 | |
| CN211233922U (zh) | 一种旋转式热风循环硬化炉 | |
| CN209926808U (zh) | 螺旋管悬浮加热的连续烘焙、干燥、炒制设备 | |
| CN205989458U (zh) | 一种树脂金刚石切割线专用固化炉 | |
| CN202823831U (zh) | 隧道式活塞预热干燥固化炉 | |
| CN205993565U (zh) | 一种酶解燕麦粉清洁节能双效外循环蒸发浓缩装置 | |
| CN219083784U (zh) | 一种辊棒式铝合金部件热处理生产线预热室 | |
| CN204393188U (zh) | 导热油旋转煎饼鏊子 | |
| CN216977520U (zh) | 一种大型管件生产热成型燃气加热炉 | |
| CN204630371U (zh) | 一种小型箱式旋转高温加热炉 | |
| CN204177174U (zh) | 一种新型离心式甩干机 |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| C14 | Grant of patent or utility model | ||
| GR01 | Patent grant | ||
| CF01 | Termination of patent right due to non-payment of annual fee |
Granted publication date: 20140219 Termination date: 20140801 |
|
| EXPY | Termination of patent right or utility model |