CN203429245U - 一种卷绕蒸发式真空镀膜机 - Google Patents

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Abstract

本实用新型属于真空镀膜技术领域，尤其是涉及一种卷绕蒸发式真空镀膜机，包括真空室和设置于真空室内的卷绕蒸发系统、屏蔽系统和电机。发卷轴设置于真空室左上角，收卷轴设置于真空室右上角，一号蒸镀鼓和二号蒸镀鼓并排设置于发卷轴和收卷轴之间的位置，且处于发卷轴和收卷轴下方。一号铝蒸发器处于一号蒸镀鼓正下方，二号铝蒸发器处于二号蒸镀鼓正下方；所述屏蔽系统处于真空室右下角，其屏蔽钢带穿过二号铝蒸发器和二号蒸镀鼓之间，其铝回收器设置于屏蔽系统右下方。所述卷绕蒸发系统和屏蔽系统均与电机连接。本实用新型一次性完成镀膜和边缘加厚，存放时间较长，性能稳定不变，工序简单，提高了生产效率。

Description

一种卷绕蒸发式真空镀膜机
技术领域
本实用新型属于真空镀膜技术领域，尤其是涉及一种卷绕蒸发式真空镀膜机。
背景技术
目前国内采用锌铝复合蒸镀技术，但是镀后的锌铝复合膜在大气中容易氧化，对保存要求较高，需真空包装，并保持环境温、湿度恒定。锌铝复合膜较铝膜附着力差，且需要两台设备分别蒸镀铝膜和蒸镀锌膜，在更换两套设备时，造成费时、费力，并降低了生产效率的缺点。而铝与基膜结合力强，在空气中铝层表面生成一层致密的三氧化二铝膜，这层三氧化二铝膜能保护内层铝不被继续氧化，但普通蒸镀铝膜的设备只能蒸镀一层铝膜，其边缘和中间部分的铝膜厚度相同，其耐压性能较低，损耗高。
实用新型内容
本实用新型的目的是要解决现有技术的不足之处，而提供一种蒸镀铝膜和边缘加厚一次性完成的卷绕蒸发式真空镀膜机。
本实用新型的目的是通过下列技术方案解决的：
一种卷绕蒸发式真空镀膜机，包括真空室和设置于真空室内的卷绕蒸发系统、屏蔽系统和电机，其特征在于：所述卷绕蒸发系统包括发卷轴、一号蒸镀鼓、二号蒸镀鼓、收卷轴、一号铝蒸发器和二号铝蒸发器；所述的发卷轴设置于真空室左上角，收卷轴设置于真空室右上角，一号蒸镀鼓和二号蒸镀鼓并排设置于发卷轴和收卷轴之间的位置，且处于发卷轴和收卷轴下方；所述一号铝蒸发器处于一号蒸镀鼓正下方，二号铝蒸发器处于二号蒸镀鼓正下方；所述屏蔽系统处于真空室右下角，包括屏蔽钢带辊、屏蔽钢带和铝回收器，该屏蔽钢带与屏蔽钢带辊传动连接，屏蔽钢带穿过二号铝蒸发器和二号蒸镀鼓之间，所述铝回收器设置于屏蔽系统右下方；所述卷绕蒸发系统和屏蔽系统均与电机连接。
本实用新型所述发卷轴、一号蒸镀鼓、二号蒸镀鼓和收卷轴均为圆柱形，其高均相等。
本实用新型还包含有多个导膜辊，所述的发卷轴、一号蒸镀鼓、二号蒸镀鼓、收卷轴和导膜辊通过所需镀膜的膜材料连接。
本实用新型所述屏蔽钢带宽度小于膜材料宽度。
本实用新型所述屏蔽钢带与屏蔽钢带辊为可分离连接，屏蔽钢带可自由拆卸替换。
本实用新型所述屏蔽钢带辊的数量为4根
和现有技术相比本实用新型具有以下特点和有益效果：
1、本实用新型只镀铝膜，铝与基膜结合力强，在空气中铝层表面生成一层致密的三氧化二铝膜，这层三氧化二铝膜能保护内层铝不被继续氧化，因此铝金属化膜在空气中存放时间较长，性能稳定不变，避免传统因镀锌铝复合膜而造成的保存难，附着力差等缺点。
2、本设备将整片膜材料镀完后，利用屏蔽钢带使铝膜边缘加厚，使其具有耐压高、低损耗等优点， 同时又提高了薄膜的抗氧化能力。一次性完成镀膜和边缘加厚，工序简单，提高了生产效率。
附图说明
图1为本实用新型结构示意图。
具体实施方式
下面将结合附图对本实用新型做进一步详细说明。
如图1所示，一种卷绕蒸发式真空镀膜机，包括真空室1和设置于真空室1内的卷绕蒸发系统2、屏蔽系统3和电机。
所述卷绕蒸发系统2包括发卷轴4、一号蒸镀鼓5、二号蒸镀鼓6、收卷轴7、一号铝蒸发器8和二号铝蒸发器9；所述的发卷轴4设置于真空室1左上角，收卷轴7设置于真空室1右上角，一号蒸镀鼓5和二号蒸镀鼓6并排设置于发卷轴4和收卷轴7之间的位置，且处于发卷轴4和收卷轴7下方；所述一号铝蒸发器8处于一号蒸镀鼓5正下方，二号铝蒸发器9处于二号蒸镀鼓6正下方；所述屏蔽系统3处于真空室1右下角，包括屏蔽钢带辊10、屏蔽钢带11和铝回收器12，该屏蔽钢带11与屏蔽钢带辊10传动连接，屏蔽钢带11穿过二号铝蒸发器9和二号蒸镀鼓6之间，所述铝回收器12设置于屏蔽系统3右下方；所述卷绕蒸发系统2和屏蔽系统3均与电机连接。
本实用新型所述发卷轴4、一号蒸镀鼓5、二号蒸镀鼓6和收卷轴7均为圆柱形，其高均相等。
本实用新型还包含有多个导膜辊13，所述的发卷轴4、一号蒸镀鼓5、二号蒸镀鼓6、收卷轴7和导膜辊13通过所需镀膜的膜材料连接。
本实用新型所述屏蔽钢带11宽度小于膜材料宽度。
本实用新型所述屏蔽钢带11与屏蔽钢带辊10为可分离连接，屏蔽钢带11可自由拆卸替换。
膜材料从发卷轴4出发，采用两次蒸镀技术，经由导膜辊13到达一号蒸镀鼓5，由一号铝蒸发器8先蒸镀平均方阻，再经由导膜辊13到达二号蒸镀鼓6，由二号铝蒸发器9蒸镀加厚区方阻。在蒸镀平均方阻时原理同原先的设备一样，在第二次蒸镀加厚区时，采用钢带屏蔽技术，在蒸镀时，屏蔽钢带11阻挡铝到达膜材料表面，只有宽于屏蔽钢带11的那部分膜材料会被镀上加厚铝层。屏蔽钢带11将铝冷却，并在铝回收器12处将多余的铝回收，即在蒸镀加厚区时，非加厚区的铝分子都蒸发在钢带表面再进行回收即可。在蒸镀好加厚膜后，膜材料经由导膜辊13，在收卷轴7处收集。
拖动屏蔽钢带11的4根屏蔽钢带辊10采用冷却技术即辊面冷却到-20℃~-15℃以便保护钢带因长时间运转而导致发热变形现象，另外其中的2根屏蔽钢带辊10可以进行自动或手动张紧，以防跑偏。本实用新型还可更换不同的宽度的屏蔽钢带11，即可蒸镀宽度不一的各种规格薄膜。在蒸镀铝加厚薄膜时，仓体真空应抽致5.0×10￣3Pa以下。 
铝与基膜结合力强，在空气中铝层表面生成一层致密的三氧化二铝膜，这层三氧化二铝膜能保护内层铝不被继续氧化，因此铝金属化膜在空气中存放时间较长，性能稳定不变。本实用新型避免传统因镀锌铝复合膜而造成的保存难，附着力差等缺点。
锌铝膜采用边缘加厚技术，本设备也将采用相同技术生产铝膜边缘加厚，既有锌铝膜耐压高、低损耗等优点， 同时又提高了薄膜的抗氧化能力，一次性完成镀膜和边缘加厚，工序简单，提高了生产效率。本实用新型在蒸镀完毕或分切后，金属化膜能够存放1至2年不会氧化。配以合适的方块电阻，将能极大地提高电容器的使用效率和各项性能指标。

Claims (6)

1.一种卷绕蒸发式真空镀膜机，包括真空室和设置于真空室内的卷绕蒸发系统、屏蔽系统和电机，其特征在于：所述卷绕蒸发系统包括发卷轴、一号蒸镀鼓、二号蒸镀鼓、收卷轴、一号铝蒸发器和二号铝蒸发器；所述的发卷轴设置于真空室左上角，收卷轴设置于真空室右上角，一号蒸镀鼓和二号蒸镀鼓并排设置于发卷轴和收卷轴之间的位置，且处于发卷轴和收卷轴下方；所述一号铝蒸发器处于一号蒸镀鼓正下方，二号铝蒸发器处于二号蒸镀鼓正下方；所述屏蔽系统处于真空室右下角，包括屏蔽钢带辊、屏蔽钢带和铝回收器，该屏蔽钢带与屏蔽钢带辊传动连接，屏蔽钢带穿过二号铝蒸发器和二号蒸镀鼓之间，所述铝回收器设置于屏蔽系统右下方；所述卷绕蒸发系统和屏蔽系统均与电机连接。
2.根据权利要求1所述的卷绕蒸发式真空镀膜机，其特征在于：所述发卷轴、一号蒸镀鼓、二号蒸镀鼓和收卷轴均为圆柱形，其高均相等。
3.根据权利要求1所述的卷绕蒸发式真空镀膜机，其特征在于：还包含有多个导膜辊，所述的发卷轴、一号蒸镀鼓、二号蒸镀鼓、收卷轴和导膜辊通过所需镀膜的膜材料连接。
4.根据权利要求1所述的卷绕蒸发式真空镀膜机，其特征在于：所述屏蔽钢带宽度小于膜材料宽度。
5.根据权利要求1所述的卷绕蒸发式真空镀膜机，其特征在于：所述屏蔽钢带与屏蔽钢带辊为可分离连接，屏蔽钢带可自由拆卸替换。
6.根据权利要求1所述的卷绕蒸发式真空镀膜机，其特征在于：所述屏蔽钢带辊的数量为4根。
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Cited By (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
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CN103361623A (zh) * 2013-07-30 2013-10-23 林正亮 一种卷绕蒸发式真空镀膜机
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CN112135920A (zh) * 2018-08-03 2020-12-25 应用材料公司 用于沉积蒸发的源材料的蒸发源、屏蔽蒸发的源材料的方法和用于蒸发源的屏蔽装置

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