CN203411605U

CN203411605U - 一种真空腔室观察窗装置

Info

Publication number: CN203411605U
Application number: CN201320486806.7U
Authority: CN
Inventors: 葛治亮; 李险峰; 屠友明; 罗松松; 钱宝铎; 高文娟
Original assignee: China Building Material Photoelectric Equipment (taicang) Co Ltd; China Triumph International Engineering Co Ltd
Current assignee: China Building Material Photoelectric Equipment (taicang) Co Ltd; China Triumph International Engineering Co Ltd
Priority date: 2013-08-09
Filing date: 2013-08-09
Publication date: 2014-01-29
Anticipated expiration: 2023-08-09

Abstract

一种真空腔室观察窗装置，包括观察孔（12）、观察玻璃（13）以及固定盖（14）；其特征在于：固定盖（14）具有周向一圈盖边沿（15）；固定盖（14）罩设于观察玻璃（13）上，且以螺钉将固定盖（14）的一周盖边沿（15）与真空腔室的侧板（11）固定连接；并且，在观察玻璃（13）与观察孔（12）间设有一密封圈结构，该密封圈结构由一O型密封圈（16）和一卡持圈（17）组成；O型密封圈（16）垫衬于观察玻璃（13）与真空腔室的侧板（11）之间；卡持圈（17）为绕O型密封圈（16）的内周面设置的环形支撑体，卡持圈（17）朝观察孔（12）的一端嵌入观察孔（12）内。本实用新型装配时不需要焊接连接，避免了因焊缝造成的泄漏隐患，同时制造工艺得到简化。

Description

一种真空腔室观察窗装置

技术领域

本实用新型涉及真空镀膜设备，具体涉及真空镀膜设备上的真空腔室观察窗装置。

背景技术

由于真空镀膜设备是组合式的密闭壳体结构，为了能随时监测腔室内部的运行情况，就需要在设备上安装观察窗装置。对于观察窗装置，密封是关键。

目前，常见的现有观察窗装置多采用分体式结构，参见图1，由观察孔1、安装支座2、观察玻璃3、密封圈4以及固定盖5组成，所述观察孔1开设于真空腔室的侧板6上；安装支座2为一环形体，其内端嵌入观察孔1的外端中，并以焊接方式固定；所述安装支座2的外端中嵌入观察玻璃3，且该外端为台阶状，使观察玻璃3搁置于台阶上；并且，为了密封，在观察玻璃3和安装支座2的台阶间必须设密封圈4，故安装支座2的台阶上还要开设用于嵌置定位密封圈4的密封圈槽；固定盖5封盖于安装支座2的外端，该固定盖5与安装支座2间以螺钉连接。

上述现有技术，存以以下不足：

1 、由于安装支座2要以焊接方式固连在设备上，一方面焊接较麻烦，另一方面焊缝位置也存在泄露隐患；

2、为了定位密封圈4，安装支座2上还要开设密封圈槽，这就提高了零件的加工要求。

发明内容

本实用新型目的是提供一种真空腔室观察窗装置，以解决现有技术需要焊接较麻烦，焊缝位置又存在泄露隐患的问题。

为达到上述目的，本实用新型采用的技术方案是：一种真空腔室观察窗装置，包括一设于真空腔室的侧板上的观察孔、对应位于观察孔外端侧的观察玻璃以及固定盖；

所述观察玻璃覆盖于观察孔的外端上；

所述固定盖具有周向一圈的朝固定盖厚度方向延伸的盖边沿，使固定盖具有一盖内腔；所述固定盖从外向内罩设于观察玻璃上，使观察玻璃位于所述盖内腔中，固定盖的一周盖边沿与观察孔周向上的真空腔室的侧板板面相对，且以螺钉将固定盖的一周盖边沿与真空腔室的侧板固定连接；

并且，在观察玻璃与观察孔间设有一密封圈结构，该密封圈结构由一O型密封圈和一卡持圈组成；所述O型密封圈垫衬于观察玻璃与真空腔室的侧板之间，且O型密封圈绕观察孔的端口外周布置；所述卡持圈为绕O型密封圈的内周面设置的环形支撑体，卡持圈的外周面与O型密封圈接触，而卡持圈朝观察孔的一端嵌入观察孔内。

上述技术方案中的有关内容解释如下：

1、上述方案中，所述“观察孔外端”及“ 所述固定盖从外向内罩设于观察玻璃上”中的“外”“内”方向是按真空腔室的侧板的内外定义的，真空腔室的侧板朝真空腔室内部的那面为内，另一面即为外。

2、上述方案中，所述“真空腔室的侧板”是指围绕构成真空腔室的壁板，从方位上看可以是真空腔室的顶面壁板、也可以是前后左右侧的壁板。

3、上述方案中，还包括一加工密封面，该加工密封面是在真空腔室的侧板的外表面上加工出的绕观察孔周向的环形密封面；所述O型密封圈和固定盖的盖边沿端面与所述加工密封面相抵接触。

再进一步，所述加工密封面的外周形成一圈定位台阶，该定位台阶与固定盖的盖边沿对应配合，使固定盖的盖边沿嵌置于这一圈定位台阶中，即在装配时先以一圈定位台阶对固定盖的位置进行预定位，方便后续的拧螺钉连接。

4、上述方案中，所述卡持圈的外周面上对应O型密封圈设有定位凹槽，O型密封圈置于该定位凹槽内。

5、上述方案中，所述观察玻璃的外侧表面与固定盖间还设垫有密封垫。

6、上述方案中，所述卡持圈的外周面上设一面朝观察孔侧的台阶面，使卡持圈的截面呈台阶状，其朝观察孔的一端为小端，而反向的另一端则为大端；当卡持圈的小端嵌入观察孔内，台阶面与观察孔的外端口相抵配合，以限制卡持圈沿观察孔轴向的运动。

由于上述技术方案运用，本实用新型与现有技术相比具有下列优点：

1、本实用新型结构新颖简洁，观察窗装置与真空腔室的侧板不需要焊接连接，避免了因焊缝造成的泄漏隐患，同时制造工艺得到简化；

2、本实用新型采用O型密封圈和卡持圈组成的密封圈结构，相比现有技术以开槽来安置密封圈的方式，更简单，零件的生产要求降低。

附图说明

图1为现有技术结构示意图；

图2为本实用新型实施例结构示意图。

以上附图中：1、观察孔；2、安装支座；3、观察玻璃；4、密封圈；5、固定盖；6、真空腔室的侧板；11、真空腔室的侧板；12、观察孔；13、观察玻璃；14、固定盖；15、盖边沿；16、O型密封圈；17、卡持圈；18、加工密封面；19、定位台阶；20、密封垫；21、通孔结构；。

具体实施方式

下面结合附图及实施例对本实用新型作进一步描述：

实施例：参见图2所示:

一种真空腔室观察窗装置，参见图2所示，包括一设于真空腔室的侧板11上的观察孔12、对应位于观察孔12外端侧的观察玻璃13以及固定盖14。

参见图2所示，所述观察玻璃13覆盖于观察孔12的外端上；所述固定盖14具有周向一圈的朝固定盖14厚度方向延伸的盖边沿15，使固定盖14具有一盖内腔；所述固定盖14从外向内罩设于观察玻璃13上，使观察玻璃13位于所述盖内腔中，固定盖14的一周盖边沿15与观察孔12周向上的真空腔室的侧板11板面相对，且以螺钉将固定盖14的一周盖边沿15与真空腔室的侧板11固定连接。

当然，参见图2所示，固定盖14与现有技术一样，其盖面上对应观察孔12的中心位置是设有通孔结构21的，即固定盖14仅是压盖住了观察玻璃13的周向边沿，而观察玻璃13中心部分是外露的。

并且，本实施例在观察玻璃13与观察孔12间设有一密封圈结构，该密封圈结构由一O型密封圈16和一卡持圈17组成，所述卡持圈17为绕O型密封圈16的内周面设置的环形支撑体，卡持圈17的外周面与O型密封圈16接触。卡持圈17可采用金属或塑料等硬质体制作。

将密封圈结构装配入本实施例观察窗装置上后，如图2所示，所述O型密封圈16垫衬于观察玻璃13与真空腔室的侧板11之间，且O型密封圈16绕观察孔12的端口外周布置；卡持圈17朝观察孔12的一端正好嵌入观察孔12内，即将卡持圈在观察孔12径向上定位住。具体卡持圈17的朝观察孔12的一端的外径比观察孔12的孔径稍小，构成间隙配合。

具体，如图2所示，较佳是卡持圈17的外周面上设一面朝观察孔12侧的台阶面，使卡持圈17的截面呈台阶状，其朝观察孔12的一端为小端，而反向的另一端则为大端。当然，O型密封圈16在自由状态下的截面宽度须大于卡持圈17的大端的宽度。当卡持圈17的小端嵌入观察孔12内，台阶面与观察孔12的外端口相抵配合，以限制卡持圈17沿观察孔12轴向的运动。上述台阶状的设计在实际中可以省却不用，如将O型密封圈16与卡持圈17以胶粘的方式粘合成一体，也可限制卡持圈17沿观察孔12轴向的运动。

并且，具体如图2所示，卡持圈17的大端的外周面上还对应O型密封圈16设有弧形的定位凹槽，O型密封圈16置于该定位凹槽内。

参见图2所示，本实施例观察窗装置还包括一加工密封面18，该加工密封面18是在真空腔室的侧板11的外表面上加工出的绕观察孔12周向的环形密封面；所述O型密封圈16和固定盖14的盖边沿15端面与所述加工密封面18相抵接触，以提高密封效果。再进一步，在加工密封面18的外周形成一圈定位台阶19，该定位台阶19与固定盖14的盖边沿15对应配合，使固定盖14的盖边沿15嵌置于这一圈定位台阶19中，以实现装配时对固定盖14有预定位的作用。

另外，在所述观察玻璃13的外侧表面与固定盖14间还设垫有密封垫20。

本实施例实际安装时，建议先将O型密封圈16装在卡持圈17的定位凹槽内，然后将卡持圈17的小端装入真空腔室的侧板11的观察孔12；再由卡持圈17向外依次装入观察玻璃13、密封垫20和固定盖14，最后用螺钉将固定盖14固定连接在真空腔室的侧板11上。

本实施例结构新颖简洁，观察窗装置与真空腔室的侧板不需要焊接连接，避免了因焊缝造成的泄漏隐患，同时制造工艺得到简化；并且，由于采用O型密封圈和卡持圈组成的密封圈结构，相比现有技术以开槽来安置密封圈的方式，更简单，零件的生产要求降低。

上述实施例只为说明本实用新型的技术构思及特点，其目的在于让熟悉此项技术的人士能够了解本实用新型的内容并据以实施，并不能以此限制本实用新型的保护范围。凡根据本实用新型精神实质所作的等效变化或修饰，都应涵盖在本实用新型的保护范围之内。

Claims

1.一种真空腔室观察窗装置，包括一设于真空腔室的侧板（11）上的观察孔（12）、对应位于观察孔（12）外端侧的观察玻璃（13）以及固定盖（14）；其特征在于：

所述观察玻璃（13）覆盖于观察孔（12）的外端上；

所述固定盖（14）具有周向一圈的朝固定盖（14）厚度方向延伸的盖边沿（15），使固定盖（14）具有一盖内腔；所述固定盖（14）从外向内罩设于观察玻璃（13）上，使观察玻璃（13）位于所述盖内腔中，固定盖（14）的一周盖边沿（15）与观察孔（12）周向上的真空腔室的侧板（11）板面相对，且以螺钉将固定盖（14）的一周盖边沿（15）与真空腔室的侧板（11）固定连接；

并且，在观察玻璃（13）与观察孔（12）间设有一密封圈结构，该密封圈结构由一O型密封圈（16）和一卡持圈（17）组成；所述O型密封圈（16）垫衬于观察玻璃（13）与真空腔室的侧板（11）之间，且O型密封圈（16）绕观察孔（12）的端口外周布置；所述卡持圈（17）为绕O型密封圈（16）的内周面设置的环形支撑体，卡持圈（17）的外周面与O型密封圈（16）接触，而卡持圈（17）朝观察孔（12）的一端嵌入观察孔（12）内。

2.根据权利要求1所述真空腔室观察窗装置，其特征在于：还包括一加工密封面（18），该加工密封面（18）是在真空腔室的侧板（11）的外表面上加工出的绕观察孔（12）周向的环形密封面；所述O型密封圈（16）和固定盖（14）的盖边沿（15）端面与所述加工密封面（18）相抵接触。

3.根据权利要求2所述真空腔室观察窗装置，其特征在于：所述加工密封面（18）的外周形成一圈定位台阶（19），该定位台阶（19）与固定盖（14）的盖边沿（15）对应配合，使固定盖（14）的盖边沿（15）嵌置于这一圈定位台阶（19）中。

4.根据权利要求1所述真空腔室观察窗装置，其特征在于：所述卡持圈（17）的外周面上对应O型密封圈（16）设有定位凹槽，O型密封圈（16）置于该定位凹槽内。

5.根据权利要求1所述真空腔室观察窗装置，其特征在于：所述卡持圈（17）的外周面上设一面朝观察孔（12）侧的台阶面，使卡持圈（17）的截面呈台阶状，其朝观察孔（12）的一端为小端，而反向的另一端则为大端；当卡持圈（17）的小端嵌入观察孔（12）内，台阶面与观察孔（12）的外端口相抵配合，以限制卡持圈（17）沿观察孔（12）轴向的运动。

6.根据权利要求1所述真空腔室观察窗装置，其特征在于：所述观察玻璃（13）的外侧表面与固定盖（14）间还设垫有密封垫（20）。