CN203307475U - 一种新型硅芯炉籽晶盘换位机构 - Google Patents
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Abstract
本实用新型涉及一种新型硅芯炉籽晶盘换位机构，包括硅芯提拉头、籽晶盘及炉体，所述炉体内部设有硅芯提拉头并且该硅芯提拉头上端连接提拉钢绳软轴，位于炉体上表面水平安装一个换位滑台并且此换位滑台与换位马达相接，同时，换位滑台相邻位置的炉体上表面垂直安装一个转位马达；所述硅芯提拉头侧面设置钢丝导轨，位于硅芯提拉头下端连接晶盘座，该晶盘座下方挂接籽晶盘，位于炉体上方封口处设置有密封仓。本实用新型有益效果为：由转位马达、换位滑台、换位马达、籽晶盘、提拉钢绳软轴之间的相互协调PLC控制来实现硅芯的提拉动作，整体结构可使硅芯区熔法拉制更加稳定，在炉体内径不改变的情况下最大限度的提高单机产能。
Description
技术领域
本实用新型涉及硅芯拉制设备，尤其涉及一种新型硅芯炉籽晶盘换位机构。
背景技术
硅芯晶体生长一般采用垂直区熔法，即原料棒固定在下轴上，籽晶装在上轴，上下轴同轴心，用高频感应线圈在氩气气氛中加热，使原料棒的顶部和在其上部靠近的同轴固定的单晶籽晶间形成熔滴，随着硅芯晶体的不断生长，硅芯晶体向上作慢速提拉。目前，硅芯在国内使用量巨大，现有的硅芯、单晶硅及其它材料晶体区熔方式生产的工艺过程中，大多使用一种单目高频线圈，其工作原理是通过给高频线圈通入高频电流，使高频线圈产生电流对原料棒进行感应加热，加热后的原料棒上端头形成融化区，然后将仔晶通过拉制孔后插入原料棒上端的熔化区，然后慢慢提升仔晶，熔化后的原料就会跟随仔晶上升，形成一个新的柱形晶体，这个新的柱形晶体便是硅芯或其它材料晶体的制成品。但是，现有的硅芯炉籽晶盘缺少行之有效的换位机构，特别是在进行硅芯区熔法拉制时，整体运作结构不够稳定，在炉体单机产能效率较低；同时，在硅芯炉内缺乏一套能够相互协调控制的机构来实现硅芯的提拉动作。因此，针对以上方面，需要对现有技术进行合理的改进。
实用新型内容
针对以上缺陷，本实用新型提供一种有利于提高单机产能效率、可使硅芯区熔法拉制更加稳定、密封性较好、可降低人工劳动成本的新型硅芯炉籽晶盘换位机构，以解决现有技术的诸多不足。
为实现上述目的，本实用新型采用以下技术方案：
一种新型硅芯炉籽晶盘换位机构，包括硅芯提拉头、籽晶盘及炉体，所述炉体内部设有硅芯提拉头并且该硅芯提拉头上端连接提拉钢绳软轴，位于炉体上表面水平安装一个换位滑台并且此换位滑台与换位马达相接，同时，换位滑台相邻位置的炉体上表面垂直安装一个转位马达；所述硅芯提拉头侧面设置钢丝导轨，位于硅芯提拉头下端连接晶盘座，该晶盘座下方挂接籽晶盘，位于炉体上方封口处设置有密封仓。
相应地，所述提拉钢绳软轴穿过炉体上表面垂直向上延伸，所述籽晶盘数量设置为五组。
本实用新型所述的新型硅芯炉籽晶盘换位机构的有益效果为：该设备垂直使用，通过密封仓隔绝炉体内外气体，转位籽晶盘座由转位马达、换位滑台、换位马达、籽晶盘、提拉钢绳软轴之间的相互协调PLC控制来实现硅芯的提拉动作，整体结构可使硅芯区熔法拉制更加稳定，在炉体内径不改变的情况下最大限度的提高单机产能。
附图说明
下面根据附图对本实用新型作进一步详细说明。
图1是本实用新型实施例所述新型硅芯炉籽晶盘换位机构示意图；
图2是本实用新型实施例所述新型硅芯炉籽晶盘换位机构的侧面示意图。
图中：
1、提拉钢绳软轴；2、钢丝导轨；3、硅芯提拉头；4、籽晶盘；5、转位马达；6、换位滑台；7、换位马达；8、晶盘座；9、密封仓；10、炉体。
具体实施方式
如图1-2所示，本实用新型实施例所述的新型硅芯炉籽晶盘换位机构，包括硅芯提拉头3、籽晶盘4及炉体10，所述炉体10内部设有硅芯提拉头3并且该硅芯提拉头3上端连接提拉钢绳软轴1，此提拉钢绳软轴1穿过炉体10上表面垂直向上延伸，位于炉体10上表面水平安装一个换位滑台6并且此换位滑台6与换位马达7相接，同时，换位滑台6相邻位置的炉体10上表面垂直安装一个转位马达5并且此转位马达5设置于炉体10上方中心位置处；
所述硅芯提拉头3侧面设置钢丝导轨2，位于硅芯提拉头3下端连接晶盘座8，该晶盘座8下方等距离挂接五组籽晶盘4，位于炉体10上方封口处设置有密封仓9。当工作时，转位籽晶盘座8挂入五组籽晶盘4，转位籽晶座8前移将籽晶盘4挂入硅芯提拉头3，转位籽晶盘座8后移，硅芯提拉头3下行至熔区提拉硅芯，硅芯提拉完成后进入软轴上限，转位籽晶盘座8前移将成品硅芯挂入并后移转位完成一个工作周期，重复四次，完成五次拉制。
上述对实施例的描述是为了便于该技术领域的普通技术人员能够理解和应用本案技术，熟悉本领域技术的人员显然可轻易对这些实例做出各种修改，并把在此说明的一般原理应用到其它实施例中而不必经过创造性的劳动。因此，本案不限于以上实施例，本领域的技术人员根据本案的揭示，对于本案做出的改进和修改都应该在本案的保护范围内。
Claims (3)
1.一种新型硅芯炉籽晶盘换位机构，包括硅芯提拉头(3)、籽晶盘(4)及炉体(10)，其特征在于：
所述炉体(10)内部设有硅芯提拉头(3)并且该硅芯提拉头(3)上端连接提拉钢绳软轴(1)，位于炉体(10)上表面水平安装一个换位滑台(6)并且此换位滑台(6)与换位马达(7)相接，同时，换位滑台(6)相邻位置的炉体(10)上表面垂直安装一个转位马达(5)；
所述硅芯提拉头(3)侧面设置钢丝导轨(2)，位于硅芯提拉头(3)下端连接晶盘座(8)，该晶盘座(8)下方挂接籽晶盘(4)，位于炉体(10)上方封口处设置有密封仓(9)。
2.根据权利要求1所述的新型硅芯炉籽晶盘换位机构，其特征在于：所述提拉钢绳软轴(1)穿过炉体(10)上表面垂直向上延伸。
3.根据权利要求1所述的新型硅芯炉籽晶盘换位机构，其特征在于：所述籽晶盘(4)数量设置为五组。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN2013203469248U CN203307475U (zh) | 2013-06-18 | 2013-06-18 | 一种新型硅芯炉籽晶盘换位机构 |
Applications Claiming Priority (1)
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| CN2013203469248U CN203307475U (zh) | 2013-06-18 | 2013-06-18 | 一种新型硅芯炉籽晶盘换位机构 |
Publications (1)
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| CN203307475U true CN203307475U (zh) | 2013-11-27 |
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ID=49613694
Family Applications (1)
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| CN (1) | CN203307475U (zh) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN107268072A (zh) * | 2017-07-21 | 2017-10-20 | 洛阳金诺机械工程有限公司 | 一种用于硅芯炉的硅芯取放料装置 |
| CN114851205A (zh) * | 2022-06-01 | 2022-08-05 | 苏州闪驰数控系统集成有限公司 | 基于机器人在炉盘上自动安装硅芯及组件的系统工作站 |
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2013
- 2013-06-18 CN CN2013203469248U patent/CN203307475U/zh not_active Expired - Fee Related
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Legal Events
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| C14 | Grant of patent or utility model | ||
| GR01 | Patent grant | ||
| EE01 | Entry into force of recordation of patent licensing contract |
Assignee: Jiujiang Mount Lu Xinhua Electronics Co., Ltd. Assignor: Liu Jian Contract record no.: 2014360000140 Denomination of utility model: Novel inversion mechanism for seed crystal disc of silicon core furnace Granted publication date: 20131127 License type: Exclusive License Record date: 20140627 |
|
| LICC | Enforcement, change and cancellation of record of contracts on the licence for exploitation of a patent or utility model | ||
| CF01 | Termination of patent right due to non-payment of annual fee |
Granted publication date: 20131127 Termination date: 20170618 |
|
| CF01 | Termination of patent right due to non-payment of annual fee |