CN203247302U - 一种用于真空镀膜设备阴极靶材更换的翻转机构 - Google Patents

Abstract

本实用新型公开了一种用于真空镀膜设备阴极靶材更换的翻转机构，真空镀膜设备包括真空室腔体，位于真空室腔体上的门，以及阴极，门和阴极通过转动轴连接，且阴极绕转动轴相对于门做旋转运动，翻转机构包括安装在门上的传动轴以及驱动传动轴转动的驱动电机，阴极上设有第一基座，第一基座上安装有固定杆，且传动轴通过皮带和固定杆连接传动。该种用于真空镀膜设备阴极靶材更换的翻转机构通过传动轴上两端所安装的带盘来控制皮带的收放，即控制阴极的翻转动作，结构简单合理，安装操作方便，在一定的空间范围内可以准确的实现翻转及复原动作，与现有的阴极翻转机构相比，解决了其操作不便，耗时比较久的问题，提高了生产效率。

Description

一种用于真空镀膜设备阴极靶材更换的翻转机构

技术领域

本实用新型涉及真空镀膜设备领域，尤其是涉及一种用于真空镀膜设备阴极靶材更换的翻转机构。

背景技术

现有技术中，阴极靶材更换机构主要是以铰链式机构为主，此种方式的不足之处是：由于是铰链式机构，所以打开阴极与真空室腔体时候，阴极与腔体处于平行状态，此种状态对于靶材更换很不方便，特别是阴极高度很高时候，操作人员还需要借助于梯子进行靶材的更换，给更换工作带来很大的不便，降低工作效率。

实用新型内容

本实用新型所要解决的技术问题是针对现有技术中存在的问题提供一种用于真空镀膜设备阴极靶材更换的翻转机构，其目的是能够实现在较小的空间范围内，可以准确的实现阴极的翻转以及复原动作。

本实用新型的技术方案是该种用于真空镀膜设备阴极靶材更换的翻转机构，所述的真空镀膜设备包括真空室腔体，位于真空室腔体上的门，以及阴极，所述的门和阴极通过转动轴连接，且所述的阴极绕转动轴相对于门做旋转运动，其特征在于：所述的翻转机构包括安装在门上的传动轴以及驱动传动轴转动的驱动电机，所述的阴极上设有第一基座，第一基座上安装有固定杆，且所述的传动轴通过皮带和固定杆连接传动。

所述的传动轴的两端分别设有带盘，且固定杆的两端设有与带盘位置相对应的固定带盘，所述的皮带共有两根，分别安装在每一端的带盘和固定带盘上。

所述的传动轴的两端分别通过第二基座、第三基座安装在门上，且传动轴的其中一端通过轴承座安装在第二基座上。

所述的驱动电机安装在第三基座上。

具有上述结构的该种用于真空镀膜设备阴极靶材更换的翻转机构通过传动轴上两端所安装的带盘来控制皮带的收放，即控制阴极的翻转动作，结构简单合理，安装操作方便，在一定的空间范围内可以准确的实现翻转及复原动作，与现有的阴极翻转机构相比，解决了其操作不便，耗时比较久的问题，提高了生产效率。

附图说明

下面结合附图对本实用新型作进一步说明：

图1为本实用新型的结构示意图。

图2为本实用新型的工作状态下的结构示意图。

在图1-2中，1：真空室腔体；2：门；3：阴极；4：驱动电机；5：皮带；6：带盘；7：固定带盘；8：传动轴；9：轴承座；10：固定杆；11：第一基座；12：转动轴；13：第二基座；14：第三基座。

具体实施方式

图1和图2为本实用新型的结构示意图和工作状态下的结构示意图。由图1和图2所示结构结合可知，该种用于真空镀膜设备阴极靶材更换的翻转机构，所述的真空镀膜设备包括真空室腔体1，位于真空室腔体1上的门2，以及阴极3，门2和阴极3通过转动轴12连接，且阴极3绕转动轴12相对于门2做旋转运动，翻转机构包括安装在门2上的传动轴8以及驱动传动轴8转动的驱动电机4，阴极3上设有第一基座11，第一基座11上安装有固定杆10，且传动轴8通过皮带5和固定杆10连接传动。

传动轴8的两端分别设有带盘6，且固定杆10的两端设有与带盘6位置相对应的固定带盘7，皮带5共有两根，分别安装在每一端的带盘6和固定带盘7上；传动轴8的两端分别通过第二基座13、第三基座14安装在门2上，且传动轴8的其中一端通过轴承座9安装在第二基座13上，驱动电机4安装在第三基座14上。

当需要换靶的时候， 操作者首先卸下阴极3与门2之间的刚性连接件，然后给予驱动电机4一个信号，驱动电机4得到信号之后将带动传动轴8进行反向运动，即将皮带5通过带盘6释放，此时，阴极3以转动轴12为轴心开始平稳的下降，当降至设定的位置时候，驱动电机4得到信号停止工作。该机构完成了将阴极放下的动作。

当换靶完毕，需要将阴极3与门2相连接的时候，操作者给予驱动电机4一个信号，驱动电机4得到信号之后将带动传动轴8进行正向运动，即将皮带5通过带盘6将其收起，当阴极3与门2关闭时，驱动电机4得到信号停止工作，操作者将阴极3与门2通过原有的刚性连接件重新连接。该机构完成了将阴极关闭的动作。

综上，该带式翻靶机构完成了一整套动作。

该种用于真空镀膜设备阴极靶材更换的翻转机构通过传动轴上两端所安装的带盘来控制皮带的收放，即控制阴极的翻转动作，结构简单合理，安装操作方便，在一定的空间范围内可以准确的实现翻转及复原动作，与现有的阴极翻转机构相比，解决了其操作不便，耗时比较久的问题，提高了生产效率。

Claims (4)

1.一种用于真空镀膜设备阴极靶材更换的翻转机构，所述的真空镀膜设备包括真空室腔体（1），位于真空室腔体（1）上的门（2），以及阴极（3），所述的门（2）和阴极（3）通过转动轴（12）连接，且所述的阴极（3）绕转动轴（12）相对于门（2）做旋转运动，其特征在于：所述的翻转机构包括安装在门（2）上的传动轴（8）以及驱动传动轴（8）转动的驱动电机（4），所述的阴极（3）上设有第一基座（11），第一基座（11）上安装有固定杆（10），且所述的传动轴（8）通过皮带（5）和固定杆（10）连接传动。

2.根据权利要求1所述的一种用于真空镀膜设备阴极靶材更换的翻转机构，其特征在于：所述的传动轴（8）的两端分别设有带盘（6），且固定杆（10）的两端设有与带盘（6）位置相对应的固定带盘（7），所述的皮带（5）共有两根，分别安装在每一端的带盘（6）和固定带盘（7）上。

3.根据权利要求1或2所述的一种用于真空镀膜设备阴极靶材更换的翻转机构，其特征在于：所述的传动轴（8）的两端分别通过第二基座（13）、第三基座（14）安装在门（2）上，且传动轴（8）的其中一端通过轴承座（9）安装在第二基座（13）上。

4.根据权利要求3所述的一种用于真空镀膜设备阴极靶材更换的翻转机构，其特征在于：所述的驱动电机（4）安装在第三基座（14）上。

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