CN203141227U - 一种超精密气浮调整转台 - Google Patents
一种超精密气浮调整转台 Download PDFInfo
- Publication number
- CN203141227U CN203141227U CN 201220617137 CN201220617137U CN203141227U CN 203141227 U CN203141227 U CN 203141227U CN 201220617137 CN201220617137 CN 201220617137 CN 201220617137 U CN201220617137 U CN 201220617137U CN 203141227 U CN203141227 U CN 203141227U
- Authority
- CN
- China
- Prior art keywords
- precision
- rotary table
- plane
- accuracy
- ultra
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Fee Related
Links
Images
Landscapes
- Magnetic Bearings And Hydrostatic Bearings (AREA)
Abstract
本实用新型公开了属于机床设备零部件检测设备范围的一种超精密气浮调整转台。在基座内配有高精度气浮轴承，高精度角度转台与高精度气浮轴承固定，平移微调装置固定在高精度角度转台上。本实用新型专为检测高精密回转体及平面而设计，可检测平面的平面度、回转体各个截面的圆跳动及端面与回转轴的垂直度。高精度气浮轴承选用高洁气体为支撑即无摩擦、无污染同时也具有很高的回转精度，为准确检测工件精度提供了保证，确保实际检测位置与理想检测位置误差最小，减小了检测误差。
Description
技术领域
本实用新型属于机床设备零部件检测设备范围，特别涉及一种超精密气浮调整转台。
背景技术
超精密气浮调整转台专为检测高精密回转体及平面而设计。可检测平面的平面度、回转体各个截面的圆跳动及端面与回转轴的垂直度；传统的精密调整转台的平移微调装置的导轨大多数是与机床座采用滑动连接构成接触式滑动导轨，在滑动过程中，导轨与机床座之间会产生摩擦损耗、导轨起动力矩大，一般除从零件表面加工光洁度保证外，为了减少摩擦而添加润滑油或机油，产生环境污染，对工人健康非常不利。提高零部件的检测精度和准确性。
实用新型内容
本实用新型的目的是针对现有技术中传统的机床设备的导轨与机床座采用接触式滑动连接方式，在滑动过程中，导轨与机床座之间会产生摩擦损耗、导轨起动力矩大，并且添加润滑油或机油，产生环境污染的不足，而提出一种超精密气浮调整转台，其特征在于，在基座4内配有高精度气浮轴承3，高精度角度转台2固定在高精度气浮轴承3的圆锥形槽内，平移微调装置1固定在高精度角度转台2上平面上。
所述基座选用稳定性较好的铸铁材料。
所述平移微调装置在X向调整，平移微调装置在高精度角度转台2上平面内，高精度角度微调装置在B向调整；高精度气浮轴承沿C向转动。
本实用新型的有益效果是基座与高精度角度转台采用高精度气浮轴承固定，专为检测高精密回转体及平面而设计，可检测平面的平面度、回转体各个截面的圆跳动及端面与回转轴的垂直度。高精度气浮轴承选用高洁气体为支撑即无摩擦、无污染同时也具有很高的回转精度，为准确检测工件精度提供了保证，确保实际检测位置与理想检测位置误差最小，减小了检测误差。
附图说明
图1为精密调整转台结构示意图。
具体实施方式
本实用新型提出一种超精密气浮调整转台。下面结合附图予以说明。
在图1所示的超精密气浮调整转台结构示意图中，在基座4内配有高精度气浮轴承3，高精度角度转台2固定在高精度气浮轴承3的圆锥形槽内，平移微调装置1固定在高精度角度转台2上平面上。
基座选用稳定性较好铸铁材料，高精度气浮轴承选用高洁气体为支撑即无摩擦、无污染，同时也具有很高的回转精度，平移微调装置1在高精度角度转台2上平面内，高精度角度微调装置在B向调整；高精度气浮轴承沿C向转动，为准确检测工件精度提供了保证。
本实用新型工作原理为将回转体工件置于平移微调装置1上，通过平移微调装置1与高精度角度转台2的调整，将工件回转轴与高精度气浮轴承3轴线重合，检测工件各个截面的元跳动或端面与轴线的垂直度等参数。或在平移微调装置1平面上选取三点为基准点，通过平移微调装置1与高精度角度转台2的调整，将这三点组成的平面与高精度气浮轴承3轴线垂直，检测工件被检测面的平面度等参数。
Claims (3)
1.一种超精密气浮调整转台，其特征在于，在基座（4）内配有高精度气浮轴承（3），高精度角度转台（2）固定在高精度气浮轴承（3）的圆锥形槽内，平移微调装置（1）固定在高精度角度转台（2）上平面上。
2.根据权利要求1所述一种超精密气浮调整转台，其特征在于，所述基座选用稳定性较好的铸铁材料。
3.根据权利要求1所述一种超精密气浮调整转台，其特征在于，所述平移微调装置在X向调整，平移微调装置在高精度角度转台（2）上平面内。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN 201220617137 CN203141227U (zh) | 2012-11-20 | 2012-11-20 | 一种超精密气浮调整转台 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN 201220617137 CN203141227U (zh) | 2012-11-20 | 2012-11-20 | 一种超精密气浮调整转台 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| CN203141227U true CN203141227U (zh) | 2013-08-21 |
Family
ID=48968782
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| CN 201220617137 Expired - Fee Related CN203141227U (zh) | 2012-11-20 | 2012-11-20 | 一种超精密气浮调整转台 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| CN (1) | CN203141227U (zh) |
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN110548937A (zh) * | 2019-09-20 | 2019-12-10 | 东莞市沃德精密机械有限公司 | 谐波减速器齿轮光学加工机床 |
| CN111805495A (zh) * | 2020-06-22 | 2020-10-23 | 青岛前哨精密仪器有限公司 | 一种高精度角度微调机构 |
| CN114001632A (zh) * | 2021-11-02 | 2022-02-01 | 中国科学院光电技术研究所 | 一种大型超精密环形平面的平面度检测装置和检测方法 |
| CN114383512A (zh) * | 2021-12-03 | 2022-04-22 | 西安应用光学研究所 | 一种用于光学镜头的光机尺寸测量装置及校准方法 |
| CN114589665A (zh) * | 2022-01-24 | 2022-06-07 | 北京海普瑞森超精密技术有限公司 | 自动敲击式调整转台 |
-
2012
- 2012-11-20 CN CN 201220617137 patent/CN203141227U/zh not_active Expired - Fee Related
Cited By (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN110548937A (zh) * | 2019-09-20 | 2019-12-10 | 东莞市沃德精密机械有限公司 | 谐波减速器齿轮光学加工机床 |
| CN111805495A (zh) * | 2020-06-22 | 2020-10-23 | 青岛前哨精密仪器有限公司 | 一种高精度角度微调机构 |
| CN114001632A (zh) * | 2021-11-02 | 2022-02-01 | 中国科学院光电技术研究所 | 一种大型超精密环形平面的平面度检测装置和检测方法 |
| CN114001632B (zh) * | 2021-11-02 | 2023-09-19 | 中国科学院光电技术研究所 | 一种大型超精密环形平面的平面度检测装置和检测方法 |
| CN114383512A (zh) * | 2021-12-03 | 2022-04-22 | 西安应用光学研究所 | 一种用于光学镜头的光机尺寸测量装置及校准方法 |
| CN114589665A (zh) * | 2022-01-24 | 2022-06-07 | 北京海普瑞森超精密技术有限公司 | 自动敲击式调整转台 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| CN106123749B (zh) | 一种简易多功能圆度检测装置 | |
| CN203364737U (zh) | 一种大/中型轴承套圈内/外表面圆度测量装置 | |
| CN207132827U (zh) | 一种轴承滚动体检测装置 | |
| CN203141227U (zh) | 一种超精密气浮调整转台 | |
| CN205228355U (zh) | 一种移动式轴用形位公差测量台 | |
| CN204269049U (zh) | 用于测量圆锥滚子轴承内圈大挡边的轴向误差的装置 | |
| CN202684643U (zh) | 一种机械加工精准定位装置 | |
| CN202452968U (zh) | 三维表面形貌的测量台架 | |
| CN203385367U (zh) | 结合齿轴向检具 | |
| CN208644903U (zh) | 一种复合内圆磨床工件加工时孔径在线检测装置 | |
| CN211120924U (zh) | 曲轴端面跳动与垂直度检具 | |
| CN202057264U (zh) | 一种风电轴承沟位置测量仪 | |
| CN205043271U (zh) | 半轴齿轮端面跳动的测量检具 | |
| CN205027334U (zh) | 新型轴套检测装置 | |
| CN205262386U (zh) | 一种形位公差检具 | |
| CN203928941U (zh) | 一种主轴锥孔跳动检测工装 | |
| CN203615852U (zh) | 一种精密丝杆中径跳动检测装置 | |
| CN201819677U (zh) | 可调整角度的检测台 | |
| CN202092588U (zh) | 一种同轴度测量表座 | |
| CN204963750U (zh) | 一种轴承游隙测量装置 | |
| CN105021114A (zh) | 导轨平行度简易检具 | |
| CN204788194U (zh) | 多功能深度尺 | |
| CN203672296U (zh) | 直角检测装置 | |
| CN203744884U (zh) | 零件高度尺寸测量机构 | |
| CN203024972U (zh) | 精密轴承精度测量台架 |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| C14 | Grant of patent or utility model | ||
| GR01 | Patent grant | ||
| CF01 | Termination of patent right due to non-payment of annual fee |
Granted publication date: 20130821 Termination date: 20191120 |
|
| CF01 | Termination of patent right due to non-payment of annual fee |