CN203140395U - 一种玻璃晶圆清洗治具 - Google Patents

一种玻璃晶圆清洗治具 Download PDF

Info

Publication number
CN203140395U
CN203140395U CN 201320076856 CN201320076856U CN203140395U CN 203140395 U CN203140395 U CN 203140395U CN 201320076856 CN201320076856 CN 201320076856 CN 201320076856 U CN201320076856 U CN 201320076856U CN 203140395 U CN203140395 U CN 203140395U
Authority
CN
China
Prior art keywords
glass wafer
wafer cleaning
blend stop
utility
model
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Expired - Fee Related
Application number
CN 201320076856
Other languages
English (en)
Inventor
平尾诚
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Taikuni Cisco Electronics (suzhou) Co Ltd
Original Assignee
Taikuni Cisco Electronics (suzhou) Co Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Taikuni Cisco Electronics (suzhou) Co Ltd filed Critical Taikuni Cisco Electronics (suzhou) Co Ltd
Priority to CN 201320076856 priority Critical patent/CN203140395U/zh
Application granted granted Critical
Publication of CN203140395U publication Critical patent/CN203140395U/zh
Anticipated expiration legal-status Critical
Expired - Fee Related legal-status Critical Current

Links

Images

Landscapes

  • Cleaning In General (AREA)
  • Cleaning By Liquid Or Steam (AREA)
  • Cleaning Or Drying Semiconductors (AREA)

Abstract

本实用新型公开了一种玻璃晶圆清洗治具,其包括:两侧挡板和连接两侧挡板的至少三根挡条;所述各挡条上对应设有多个卡槽,每个挡条上的一个卡槽均能与其他挡条上的一个卡槽落在同一平面内;所述两侧挡板上对称设有一对通孔,通过本实用新型提出的玻璃晶圆清洗用的治具,可以达到提高清洗效果,保证产品质量的目的。

Description

一种玻璃晶圆清洗治具
技术领域
本实用新型涉及一种治具,尤其涉及一种玻璃晶圆清洗治具。
背景技术
光学玻璃晶圆主要应用在精密的电子、数码产品、仪器仪表及光学元件等领域,对晶圆的表面要求有极高的平面度、平行度、粗糙度以及打孔的精准度。
玻璃晶圆的生产制程精密,其中,清洗工艺也是生产制程中关键的一环。当前的清洗工艺主要采用超声波清洗机进行操作,在清洗工艺中既要保证玻璃晶圆表面的有机物、颗粒、杂质、自然氧化层等物质的有效去除,又要有效地保护玻璃晶圆表面特性。
因此,产品在清洗过程中如何放置也是影响清洗效果的重要因素,将产品放置在专用的清洗治具上可大大提高清洗效果。
实用新型内容
为解决上述技术问题,本实用新型提出了一种玻璃晶圆清洗用的治具,以达到提高清洗效果,保证产品质量的目的。
为达到上述目的,本实用新型的技术方案如下:
一种玻璃晶圆清洗治具,其包括:两侧挡板和连接两侧挡板的至少三根挡条;所述各挡条上对应设有多个卡槽,每个挡条上的一个卡槽均能与其他挡条上的一个卡槽落在同一平面内;所述两侧挡板上对称设有一对通孔。
优选的,所述挡条与两侧所述挡板通过螺栓锁紧固定。
优选的,所述挡板上还设有用于调整挡条位置的附加锁紧螺孔。
优选的,所述挡条包括四根。
通过上述技术方案,本实用新型所公开的玻璃晶圆清洗治具,是将玻璃晶圆一片片插置在对应设置的卡槽内,可同时清洗多片,该治具结构简单,体积小巧结实,两侧的挡板上还设有通孔,便于清洗液流通顺畅,使玻璃晶圆得到充分清洗,不仅提高了清洗效果,还保证了产品质量。
附图说明
图1为本实用新型实施例所公开的一种玻璃晶圆清洗治具的结构示意图。
具体实施方式
本实用新型提供了一种玻璃晶圆清洗治具,如图1所示,该清洗治具,包括:两侧挡板1和四根挡条2,挡条两端分别与两侧挡板通过螺栓连接锁紧,形成一边框体。各挡条上都对应设有多个卡槽3,每个挡条上的一个卡槽均能与其他挡条上的一个卡槽落在同一平面内,这样玻璃晶圆可插放在位于同一平面上的四个卡槽内,支撑该晶圆平稳放置。两侧的挡板1上还对称设有一对通孔4,便于清洗液体在治具内流动通畅,使治具上的玻璃晶圆能充分得到清洗。
两侧挡板上还设有用于调整挡条位置的附加锁紧螺孔5,根据要清洗的玻璃晶圆的尺寸可调整挡条的位置,以符合玻璃晶圆的放置。
上述实施例中,挡条为四根,在其它实施例中,挡条也可以为三根或五根等,本实用新型不作限定。
本实用新型所公开的玻璃晶圆清洗治具,是将玻璃晶圆一片片插置在对应设置的卡槽内,可同时清洗多片,该治具结构简单,体积小巧结实,两侧的挡板上还设有通孔,便于清洗液流通顺畅,使玻璃晶圆得到充分清洗,不仅提高了清洗效果,还保证了产品质量。
以上所述仅为本实用新型的较佳实施例,并不用以限制本实用新型,凡在本实用新型的精神之内所做的修改及同等变换,均应落在本实用新型的保护范围之内。

Claims (4)

1.一种玻璃晶圆清洗治具,其特征在于,包括:两侧挡板和连接两侧挡板的至少三根挡条;所述各挡条上对应设有多个卡槽,每个挡条上的一个卡槽均能与其他挡条上的一个卡槽落在同一平面内;所述两侧挡板上对称设有一对通孔。
2.根据权利要求1所述的一种玻璃晶圆清洗治具,其特征在于,所述挡条与两侧所述挡板通过螺栓锁紧固定。
3.根据权利要求1所述的一种玻璃晶圆清洗治具,其特征在于,所述挡板上还设有用于调整挡条位置的附加锁紧螺孔。
4.根据权利要求1-4任一项所述的一种玻璃晶圆清洗治具,其特征在于,所述挡条包括四根。
CN 201320076856 2013-02-19 2013-02-19 一种玻璃晶圆清洗治具 Expired - Fee Related CN203140395U (zh)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
CN 201320076856 CN203140395U (zh) 2013-02-19 2013-02-19 一种玻璃晶圆清洗治具

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
CN 201320076856 CN203140395U (zh) 2013-02-19 2013-02-19 一种玻璃晶圆清洗治具

Publications (1)

Publication Number Publication Date
CN203140395U true CN203140395U (zh) 2013-08-21

Family

ID=48967951

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
CN 201320076856 Expired - Fee Related CN203140395U (zh) 2013-02-19 2013-02-19 一种玻璃晶圆清洗治具

Country Status (1)

Country Link
CN (1) CN203140395U (zh)

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN105665402A (zh) * 2016-03-29 2016-06-15 东莞市奇声电子实业有限公司 一种玻璃夹具

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN105665402A (zh) * 2016-03-29 2016-06-15 东莞市奇声电子实业有限公司 一种玻璃夹具

Similar Documents

Publication Publication Date Title
CN203470440U (zh) 一种玻璃镜片定位清洗夹具
CN204771316U (zh) 工字钢构件焊接定位模具
CN203140395U (zh) 一种玻璃晶圆清洗治具
CN203526174U (zh) 多功能清洗治具
CN204820684U (zh) 一种多工位分割旋转激光打标机
CN111374447A (zh) 一种具有防尘散热功能的电脑桌
CN204354015U (zh) 一种适于多条状工件的高精度夹持装置
CN203292161U (zh) 蓝宝石片清洗架
CN203418631U (zh) 一种电子陶瓷生坯切割机
CN203156240U (zh) 一种激光切割机
CN207873682U (zh) 一种固定十字工作台
CN201820765U (zh) 一种经过优化绝缘处理的薄膜太阳能电池
CN202676087U (zh) 一种生产太阳能硅片用硅锭倒角检测装置
CN204094428U (zh) 一种夹具位置可调的多工件定位压装机
CN103434689A (zh) 包装箱输送线的调整定位装置
CN204144406U (zh) 五合一滤波器
CN202826118U (zh) 固定晶棒的子母框
CN202855570U (zh) 一种齿形拨码防呆限位座
CN203973231U (zh) 一种用于加工箱体结构的铣床夹具
CN209344054U (zh) 一种半导体生产用切割装置
CN202846882U (zh) 一种薄膜拉伸机
CN203665581U (zh) 移液管的切割机
CN201895366U (zh) 陶瓷线路板切割装置
CN202770864U (zh) 一种可旋转式电线束电检板工装架
CN215903618U (zh) 一种多功能铜箔裁样桌

Legal Events

Date Code Title Description
C14 Grant of patent or utility model
GR01 Patent grant
CF01 Termination of patent right due to non-payment of annual fee
CF01 Termination of patent right due to non-payment of annual fee

Granted publication date: 20130821

Termination date: 20160219