CN203102016U - 液体静压运动平台 - Google Patents

Abstract

本实用新型提供了一种液体静压运动平台，包括：主体，其包括滑台、导轨和底座；所述导轨安装在所述底座上，其槽中嵌入所述滑台；驱动装置，其包括动子、定子和三路分油块；所述定子安装在所述底座上；所述动子其一端嵌入所述定子的槽中，其另一端固定在所述滑台的下表面；所述三路分油块安装在所述滑台的上表面；位置检测装置，其包括光栅尺和读数头；所述光栅尺安装在所述滑台的侧表面，其刻度面与所述读数头贴合；所述读数头固定在所述导轨上。该液体静压运动平台由于采用直线电机驱动，避免了滚珠丝杆传动的回程误差问题；配备用于运动误差补偿的位置检测装置，所以提高了平台的运动精度。

Description

液体静压运动平台

技术领域

本实用新型涉及精密运动平台领域，具体而言，涉及一种液体静压运动平台。 

背景技术

液体静压运动平台以压力将液体导入油腔，在滑台与导轨间形成油膜，凭借油膜使滑台和导轨接触面间处于液体摩擦状态。与机械导轨平台相比，其在驱动功率、使用寿命、承载力、抗振性、灵活性等方面都具备优势。 

相关的液体静压运动平台采用开环、半闭环循环控制方式，通过旋转电机带动滚珠丝杆驱动滑台在导轨上动作。然而这种构造存在缺陷，电机振动和丝杠传动误差都会对平台的运动精度造成影响。 

实用新型内容

本实用新型旨在提供一种液体静压运动平台，以解决上述的问题。 

在本实用新型的实施例中，提供了一种液体静压运动平台，包括：主体，其包括滑台、导轨和底座；所述导轨安装在所述底座上，其槽中嵌入所述滑台；驱动装置，其包括动子、定子和三路分油块；所述定子安装在所述底座上；所述动子其一端嵌入所述定子的槽中， 其另一端固定在所述滑台的下表面；所述三路分油块安装在所述滑台的上表面；位置检测装置，其包括光栅尺和读数头；所述光栅尺安装在所述滑台的侧表面，其刻度面与所述读数头贴合；所述读数头固定在所述导轨上。 

本实用新型因为采用直线电机以磁力场方式驱动，消除了滚珠丝杆带来的回程误差问题；同时采用高精度光栅尺进行误差补偿，所以提高了平台的运动精度。 

附图说明

此处所说明的附图用来提供对本实用新型的进一步理解，构成本申请的一部分，本实用新型的示意性实施例及其说明用于解释本实用新型，并不构成对本实用新型的不当限定。在附图中： 

图1示出了根据本实用新型实施例的液体静压运动平台的内部结构示意图。 

具体实施方式

下面将参考附图并结合实施例，来详细说明本实用新型。 

图1示出了根据本实用新型实施例的液体静压运动平台，包括：主体，其包括滑台1、导轨2和底座3；所述导轨2安装在所述底座3上，其槽中嵌入所述滑台1；驱动装置，其包括动子4、定子5和三路分油块6；所述定子5安装在所述底座3上；所述动子4其一端嵌入所述定子5的槽中，其另一端固定在所述滑台1的下表面；所述三路分油块6安装在所述滑台1的上表面；位置检测装置，其包括光栅尺7和读数头8；所述光栅尺7安装在所述滑台1的侧表面，其刻度面与所述读数头8贴合；所述读数头8固定在所述导轨2上。 

本实用新型因为采用直线电机以磁力场方式驱动，所以避免了滚珠丝杆传动的回程误差问题；同时采用高精度光栅尺进行误差补偿，所以提高了平台的运动精度。 

优选地，主体还包括导轨支撑件9；两条导轨2通过两条导轨支撑件9对称地安装在底座3上；滑台1通过两个滑动端分别嵌入两条导轨2中。 

优选地，驱动装置还包括动子安装座10，动子4通过动子安装座10安装在滑台1的下表面。 

优选地，驱动装置还包括定子安装座11，定子5通过定子安装座11安装在底座3上。 

优选地，驱动装置还包括拖链12，其侧面与定子5贴合，底面固定在底座3上。 

优选地，位置检测装置还包括读数头安装座13，读数头8通过读数头安装座13安装在导轨2上。 

优选地，光栅尺7为分辨率1nm的陶瓷光栅尺。 

该液体静压运动平台以直线电机替代伺服电机进行驱动，通过磁力场使动子和定子相互作用，从而驱动工作台运动；配置分辨率1nm的陶瓷光栅尺作为位置检测装置。 

该液体静压运动平台的驱动无需滚珠丝杆传动，所以消除了滚珠丝杆引起的回程误差问题；通过配置高精度的位置检测装置进行误差补偿，所以提高了平台的运动精度。 

从以上描述可以看出，本液体静压运动平台具有以下有益效果： 

1、配置高精度的位置检测装置，实现平台运动过程的误差补偿，提高重复定位的精度； 

2、采用直线电机的驱动方式，进行全闭环的循环控制，降低系统能耗，延长设备使用寿命； 

3、组成平台的零件都是独立、可拆卸的，能根据实际情况需要进行灵活的变更设计，降低制造成本。 

以上所述仅为本实用新型的优选实施例而已，并不用于限制本实用新型，对于本领域的技术人员来说，本实用新型可以有各种更改和变化。凡在本实用新型的精神和原则之内，所作的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本实用新型的保护范围之内。 

Claims (7)

1.一种液体静压运动平台，其特征在于，包括： 

主体，其包括滑台（1）、导轨（2）和底座（3）；所述导轨（2）安装在所述底座（3）上，其槽中嵌入所述滑台（1）； 

驱动装置，其包括动子（4）、定子（5）和三路分油块（6）；所述定子（5）安装在所述底座（3）上；所述动子（4）其一端嵌入所述定子（5）的槽中，其另一端固定在所述滑台（1）的下表面；所述三路分油块（6）安装在所述滑台（1）的上表面； 

位置检测装置，其包括光栅尺（7）和读数头（8）；所述光栅尺（7）安装在所述滑台（1）的侧表面，其刻度面与所述读数头（8）贴合；所述读数头（8）固定在所述导轨（2）上。 

2.根据权利要求1所述的液体静压运动平台，其特征在于，所述主体还包括导轨支撑件（9）；两条所述导轨（2）通过两条所述导轨支撑件（9）对称地安装在所述底座（3）上；所述滑台（1）通过两个滑动端分别嵌入两条所述导轨（2）中。 

3.根据权利要求2所述的液体静压运动平台，其特征在于，所述驱动装置还包括动子安装座（10），所述动子（4）通过所述动子安装座（10）安装在所述滑台（1）的下表面。 

4.根据权利要求3所述的液体静压运动平台，其特征在于，所述驱动装置还包括定子安装座（11），所述定子（5）通过所述定子安装座（11）安装在所述底座（3）上。 

5.根据权利要求4所述的液体静压运动平台，其特征在于，所述驱动装置还包括拖链（12），其侧面与所述定子（5）贴合，底面固定在所述底座（3）上。 

6.根据权利要求5所述的液体静压运动平台，其特征在于，所述位置检测装置还包括读数头安装座（13），所述读数头（8）通过所述读数头安装座（13）安装在所述导轨（2）上。 

7.根据权利要求6所述的液体静压运动平台，其特征在于，所述光栅尺（7）为分辨率1nm的陶瓷光栅尺。 

Images