CN203083536U - 一种异物检测装置 - Google Patents
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Abstract
本实用新型公开了一种异物检测装置，装置包括异物扫描区和异物确认区，在异物扫描区和异物确认区之间设有异物高度检测区；所述异物扫描区，用于通过扫描检测基板上的异物的坐标和面积；所述异物高度检测区，用于检测所述异物扫描区检测出来的异物的高度是否超过预设规格；所述异物确认区，用于对所述检测出来的异物的面积和高度进行确认，并存储相应异物的面积和高度的信息。通过本实用新型，实现对异物的面积和高度测量，避免对盒工艺中的数据线断开(DO)和数据线栅线短路(DGS)现象高发。
Description
技术领域
本实用新型涉及异物检测技术领域，尤其涉及一种异物检测装置。
背景技术
现有技术中，薄膜晶体管液晶显示器(TFT-LCD)用异物检测装置，如图1所示，主要包括：异物扫描区101和异物确认区102。此外，图1中的107表示基板；103表示扫描区2D镜头，用于扫描检测异物面积；104表示滚轮，用于为基板107的传动提供动力；105表示固定夹子，用于固定基板107；106表示确认区2D镜头，用于确认基板107上的缺陷面积(即异物面积)的大小。
然而，现有技术中的异物检测装置通常采用对基板表面异物进行拍照、像素比对，计算出异物的面积，并未对异物进行高度测量，这样通常会忽视一些面积小、高度高的异物；而正是这样的异物竖直嵌入基板表面，经过多道加热固化后，在修补阶段又未得到处理，从而会造成后续对盒工艺中的数据线断开(DO，Data Open)和数据线栅线短路(DGS，Date Gate Short)现象高发。
实用新型内容
有鉴于此，本实用新型的主要目的在于提供一种异物检测装置，以实现对异物的面积和高度测量，避免对盒工艺中的DO和DGS现象高发。
为达到上述目的，本实用新型的技术方案是这样实现的：
一种异物检测装置，包括异物扫描区和异物确认区，在所述异物扫描区和所述异物确认区之间设有异物高度检测区，
所述异物扫描区，用于通过扫描检测基板上的异物的坐标和面积；
所述异物高度检测区，用于检测所述异物扫描区检测出来的异物的高度是否超过预设规格；
所述异物确认区，用于对所述检测出来的异物的面积和高度进行确认，并存储相应异物的面积和高度的信息。
进一步地，所述异物高度检测区内设有检测仪基台，在所述检测仪基台的一侧设有固定检出系统，所述固定检出系统包括激光发射器和激光接收器，在所述检测仪基台的另一侧设有反射平面镜。
进一步地，所述固定检出系统和反射平面镜根据所述预设规格的不同，同时进行升降并固定，以确定异物高度是否超过预设规格。
进一步地，所述异物确认区中设有3D镜头，所述3D镜头用于对所述检测出来的异物的高度进行确认。
进一步地，所述异物确认区中还设有2D镜头，所述2D镜头用于对所述检测出来的异物的面积进行确认。
进一步地，所述异物确认区中还设有控制系统，用于控制所述2D镜头和3D镜头进行切换测量。
本实用新型所提供的一种异物检测装置，通过水平面和垂直面的两次检测，对异物进行面积检测和高度判定，从而提高了异物检出率，减少了在对盒工艺中的DO和DGS现象，提高了生产效率和良品率。
附图说明
图1是现有技术中TFT-LCD用异物检测装置的结构示意图；
图2是本实用新型实施例的一种异物检测装置的结构示意图一；
图3是本实用新型实施例的一种异物检测装置的结构示意图二；
图4是本实用新型实施例的固定检出系统进行异物高度检测的示意图一；
图5是本实用新型实施例的固定检出系统进行异物高度检测的示意图二；
图6是本实用新型实施例的基于白光干涉原理的异物高度确认操作示意图；
图7是本实用新型实施例的单色光干涉原理示意图；
图8是本实用新型实施例的白光干涉原理示意图。
附图标记说明：
101 异物扫描区；102 异物确认区；103 扫描区2D镜头；104 滚轮；105 固定夹子；106 确认区2D镜头；107 基板；108 异物高度检测区；109 异物高度检测的3D镜头；110 平面反射镜；111 激光发射器；112 激光接收器；113 面积大、高度低的异物；114 面积小、高度高的异物；115 3D参考平面；116 3D待测平面；117 CCD镜头；118 白光光源；119 被测异物。
具体实施方式
下面结合附图和具体实施例对本实用新型的技术方案进一步详细阐述。
为实现对异物的面积和高度测量，本实用新型提供一种异物检测装置，如图2所示，该装置主要包括：异物扫描区101、异物确认区102和异物高度检测区108。其中，异物高度检测区108设于异物扫描区101和异物确认区102之间。
异物扫描区101，用于通过扫描检测基板107上的异物的坐标和面积；异物扫描区101中设有扫描区2D镜头103，扫描区2D镜头103用于扫描异物扫描区101内的基板107，以测量基板107上的异物的坐标和面积；异物扫描区101中还设有滚轮104，所述滚轮104为异物扫描区内的基板107的传动提供动力；所述异物扫描区101中还设有固定夹子105，所述固定夹子105用于固定异物扫描区101内的基板107，防止基板107在传动过程中侧滑。
异物高度检测区108，用于检测异物扫描区101检测出来的异物的高度是否超过预设规格。异物高度检测区108内也设有固定夹子105，用于防止基板107在传动过程中侧滑。
异物确认区102，用于对所述检测出来的异物的面积和高度进行确认，并存储相应异物的面积和高度的信息。
具体的，在所述异物确认区102内设有确认区2D镜头106，所述确认区2D镜头106用于通过扫描再次确认基板107上已检测出的异物的面积大小。
优选的，在所述异物确认区102内还设有异物高度检测的3D镜头109，所述异物高度检测的3D镜头109用于通过扫描再次确认基板107上已检测出的异物的高度。确认后的异物的面积和高度的信息，可以通过专用的存储设备进行存储。
较佳的，异物确认区102中还可设置控制系统，用于控制确认区2D镜头106和异物高度检测的3D镜头109进行切换测量，例如：在控制确认区2D镜头106进行异物面积的确认后，切换到异物高度检测的3D镜头109进行异物高度的确认。
较佳的，如图3所示，所述异物高度检测区108内设有检测仪基台，在所述检测仪基台的一侧设有固定检出系统，所述固定检出系统包括激光发射器111和激光接收器112，在所述检测仪基台的另一侧设有平面反射镜110。
固定检出系统检测异物高度的原理如图4和图5所示，固定检出系统和平面反射镜110可以根据所述预设规格的不同，同时进行各种程度的升降并固定，以确定异物高度是否超过预设规格。
图4中的113表示面积大、高度低的异物，固定检出系统和平面反射镜110位于一定高度时，激光发射器111发出的光没有被该异物113阻挡，而通过平面反射镜110反射到激光接收器112，此时检测不到该异物113的存在；当固定检出系统和平面反射镜110同时进行一定程度的下降后，激光发射器111发出的光会被该异物113阻挡，光不会被激光接收器112接收到，此时检测到该异物113超出预设规格。
图5中的114表示面积小、高度高的异物，固定检出系统和平面反射镜110位于一定高度时，激光发射器111发出的光被该异物114阻挡，光不会被激光接收器112接收到，此时检测到该异物114超出预设规格。
需要说明的是，如果检测异物的高度超过预设规格，则在后续修补阶段对相应异物进行处理；如果检测异物的高度没有超过预设规格，则在后续修补阶段按照异物的面积大小进行修补。
本实用新型实施例中，采用异物确认区102内设置的异物高度检测的3D镜头109、并通过白光干涉原理对已检测出来的异物的高度进行确认。其中，基于白光干涉原理的异物高度确认操作如图6所示，图中115表示3D参考平面，116表示3D待测平面，117表示CCD镜头，118表示白光光源，119表示3D待测平面上的被测异物；从白光光源118照射进入的光，分成两条经过不同平面的不同路线的光束，一条光束经反射镜反射，另一条光束经待测物反射；被测异物119表面的反射光与3D参考平面115的反射光产生干涉。如图7和图8所示，通过单色光干涉(图7)与白光干涉(图8)相比，白光由多种波长的单色光叠加，相干性较低，产生干涉范围只有几微米，且只有相位0°时有最大干涉强度，因此可以依此准确的测量出异物表面高度。
综上所述，本实用新型实施例通过水平面和垂直面的两次检测，对异物进行面积检测和高度判定，从而提高了异物检出率，减少了在对盒工艺中的DO和DGS现象，提高了生产效率和良品率。
还需要说明的是，本实用新型不仅适用于基板表面上的异物面积和高度检测，也适用于一般应用场景下的异物面积和高度检测。
以上所述，仅为本实用新型的较佳实施例而已，并非用于限定本实用新型的保护范围。
Claims (6)
1.一种异物检测装置，包括异物扫描区和异物确认区，其特征在于，在所述异物扫描区和所述异物确认区之间设有异物高度检测区，
所述异物扫描区，用于通过扫描检测基板上的异物的坐标和面积；
所述异物高度检测区，用于检测所述异物扫描区检测出来的异物的高度是否超过预设规格；
所述异物确认区，用于对所述检测出来的异物的面积和高度进行确认，并存储相应异物的面积和高度的信息。
2.根据权利要求1所述的异物检测装置，其特征在于，所述异物高度检测区内设有检测仪基台，在所述检测仪基台的一侧设有固定检出系统，所述固定检出系统包括激光发射器和激光接收器，在所述检测仪基台的另一侧设有反射平面镜。
3.根据权利要求2所述的异物检测装置，其特征在于，所述固定检出系统和反射平面镜根据所述预设规格的不同，同时进行升降并固定，以确定异物高度是否超过预设规格。
4.根据权利要求1、2或3所述的异物检测装置，其特征在于，所述异物确认区中设有3D镜头，所述3D镜头用于对所述检测出来的异物的高度进行确认。
5.根据权利要求4所述的异物检测装置，其特征在于，所述异物确认区中还设有2D镜头，所述2D镜头用于对所述检测出来的异物的面积进行确认。
6.根据权利要求5所述的异物检测装置，其特征在于，所述异物确认区中还设有控制系统，用于控制所述2D镜头和3D镜头进行切换测量。
Priority Applications (1)
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| CN 201220740727 CN203083536U (zh) | 2012-12-28 | 2012-12-28 | 一种异物检测装置 |
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| CN 201220740727 CN203083536U (zh) | 2012-12-28 | 2012-12-28 | 一种异物检测装置 |
Publications (1)
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| CN203083536U true CN203083536U (zh) | 2013-07-24 |
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ID=48829363
Family Applications (1)
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| CN 201220740727 Expired - Lifetime CN203083536U (zh) | 2012-12-28 | 2012-12-28 | 一种异物检测装置 |
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| CN105652480A (zh) * | 2015-09-18 | 2016-06-08 | 京东方科技集团股份有限公司 | 基板检测装置、基板检测方法及基板检测模块 |
| CN107643549A (zh) * | 2017-10-13 | 2018-01-30 | 国电大渡河流域水电开发有限公司龚嘴水力发电总厂 | 非接触式发电机组气隙异物在线检测报警结构及报警方法 |
| CN110132139A (zh) * | 2019-05-15 | 2019-08-16 | 武汉华星光电半导体显示技术有限公司 | 一种异物检测装置 |
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2012
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