CN203019211U - 晶圆研磨液供应系统的自动控流换洗过滤器装置 - Google Patents
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Abstract
一种晶圆研磨液供应系统的自动控流换洗过滤器装置，设于晶圆研磨液供应槽通往晶圆研磨机之间，不同于传统研磨液供应系统全以人工控流换洗过滤器的装置，其至少由两只过滤器、数个控制阀及管控气压源气压流向受气压控启控制阀的电脑连接而成，所有过滤器并联管接的汇流入端管接晶圆研磨液供应槽流出端，所有过滤器并联管接的汇流出端管接晶圆研磨机流入端，每只过滤器顶部的排流端管接控制阀排放，每只过滤器流入端分数个叉路管接控制阀选换导入纯水或氮气，每一过滤器流出端叉分管接控制阀排放，每只过滤器临近汇流入端及临近汇流出端的接管部位设置控制阀。本实用新型由电脑控制大部分过程，增快速度，排除人员疏失、不稳定的情形，增加良率。
Description
技术领域
本实用新型是一种晶圆研磨液供应系统的自动控流换洗过滤器装置，为禁断供应晶圆研磨液产出当中，任一过滤器阻塞欲更换时，能自控定时开闭对应管路，避免人为出错及减少环境污染毒害人体的新颖自动化结构技术。
背景技术
因研磨晶圆用的晶圆研磨液供应系统需24小时持续供应，通常晶圆研磨液供应系统于混酸完毕后会传送至晶圆研磨液供应槽，再泵送到过滤器模组过滤后，将较大的晶圆研磨液颗粒过滤去除后供应至晶圆研磨机主管路，以避免过大的晶圆研磨液颗粒造成晶元表面刮伤的状况，但因过滤器模组位于晶圆研磨机主供应系统上，故更换过滤器模组的任一过滤器时，需派人员以防漏盘自主供应系统上断流、清洁、取出、更换新品、重新开启供应系统过滤。
其操作及结构大致如下，首先手动先关闭连通欲更换过滤器管路上的供应阀，将残留于过滤器置具内的晶圆研磨液通过管路排除，再由操作员穿A级防毒防护衣、防护手套防止受渗出外流的晶圆研磨液毒害，以人工方式先更换取出欲换下的过滤器，并于现场将旧的过滤器取下后，将防漏盘推至该过滤器所在的置座下方，以纯水冲洗过滤器所在的置座，用防漏盘乘装污水，再由操作人员直接将新的过滤器置入过滤器置座，换完后重新开启此过滤器管路的供应阀，新过滤器就开始对流入的晶圆研磨液过滤再流往晶圆研磨机，同样地过滤器模组里的其它过滤器也以同样的结构及处理方式实施更换，由于每只过滤器阻塞时间点不尽相同，会一支支更换不会有同时要更换全部过滤器情形，如此可保持研磨晶圆用的晶圆研磨液供应系统持续供应晶圆研磨液不中断，此种全仰赖人工清理换新晶圆研磨液过滤器的管路装置会产生以下缺失：
1.更换完后，操作员所穿戴的A级防毒防护衣、手套均需丢弃，很 不经济。
2.操作原配戴手套取出旧过滤器时，手套上会残留取出旧过滤器时沾黏的晶圆研磨液，而操作员继续取出新过滤器更换时，手套上残留的晶圆研磨液会污染新过滤器，降低新过滤器使用寿命。
3.以人工清洗过滤器及置座，无法将清洗以后置座内的积水完全排干，而造成污染新过滤器，并且会改变供应系统内晶圆研磨液的浓度，影响制程，造成不良率提高，且人工清洗时间长、质量不稳定，极需改良。
4.操作员以水冲洗过滤器所在的置座，用防漏盘乘装污以防漏盘乘污水，再将污水推出处理方式，易造成污水外漏污染环境，且防漏盘推送时易会污染环境、人员，因晶圆研磨液内含化学药剂、酸剂等有毒物质，容易伤及人员健康及安全。
有鉴于现有晶圆研磨液供应系统的更换过滤器管路构造，有上述种种缺失，因而，本发明人乃积极研究改进之道，经过一番艰辛的苦思及试验过程，终于有本实用新型产生。
实用新型内容
本实用新型所要解决的主要技术问题在于，克服现有技术存在的上述缺陷，而提供一种晶圆研磨液供应系统的自动控流换洗过滤器装置，其设于晶圆研磨液供应槽通往晶圆研磨机之间，由至少两只过滤器、数个控制阀及管控气压源气压流向受气压控启控制阀的电脑连接而成，所有过滤器并联管接的汇流入端管接晶圆研磨液供应槽流出端，且所有过滤器并联管接的汇流出端管接晶圆研磨机流入端，而每只过滤器顶部的排流端管接控制阀排放，又于每只过滤器流入端分数个叉路管接控制阀选换导入纯水或氮气，并于每一过滤器流出端叉分管接控制阀排放，另于每只过滤器临近汇流入端及临近汇流出端的接管部位设置控制阀，由此在不能断止供应晶圆研磨液产出当中，任一过滤器阻塞更换时，能自控控制阀定时开闭对应管路，由此通过电脑控制纯水自动冲洗除去过滤器、相关管路及置具的内晶圆研磨液，且自动排除清洗的纯水能再管接到预定的排放收集空间，使操作员穿戴C级防毒防护衣、手套即可、经济方便快速；其因自动清洗后兼有自动以氮气吹干，故无须操作配戴手 套取出过滤器，不会有取出旧过滤器及更换时，手套上残留晶圆研磨液污染新过滤器问题，提高新过滤器使用寿命；其能自动清洗过滤器及置座后，以氮气气压喷射方式除水气、水滴的干燥方式，使新过滤器不会遭残留水气、水滴等污染，不会改变供应系统内晶圆研磨液浓度，进而提高制程良率提高；因其自动排出欲拆换过滤器内的晶圆研磨液，且更再加以洗除晶圆研磨液受控汇排出，无须操作员以水冲洗过滤器所在的置座，而用防漏盘乘装污水以防漏盘乘污水，再将污水推出的处理方式，由此不易造成污水外漏污染环境，且不用担忧有防漏盘推送时易会污染环境、人员，容易伤及人员健康的安全问题；其由电脑控制大部分过程，得以增快速度，排除人员疏失、不稳定的情形，增加良率。
本实用新型解决其技术问题所采用的技术方案是：
一种晶圆研磨液供应系统的自动控流换洗过滤器装置，设于晶圆研磨液供应槽通往晶圆研磨机之间，不同于传统研磨液供应系统全以人工控流换洗过滤器的装置，其特征在于：其至少由两只过滤器、数个控制阀及管控气压源气压流向受气压控启控制阀的电脑连接而成，所有过滤器并联管接的汇流入端管接晶圆研磨液供应槽流出端，且所有过滤器并联管接的汇流出端管接晶圆研磨机流入端，而每只过滤器顶部的排流端管接控制阀排放，又于每只过滤器流入端分数个叉路管接控制阀选换导入纯水或氮气，并于每一过滤器流出端叉分管接控制阀排放，另于每只过滤器临近汇流入端及临近汇流出端的接管部位设置控制阀。
所述晶圆研磨液供应系统的自动控流换洗过滤器装置，其中，该电脑为可程控器(PLC)型式。
本实用新型的有益效果是，其设于晶圆研磨液供应槽通往晶圆研磨机之间，由至少两只过滤器、数个控制阀及管控气压源气压流向受气压控启控制阀的电脑连接而成，所有过滤器并联管接的汇流入端管接晶圆研磨液供应槽流出端，且所有过滤器并联管接的汇流出端管接晶圆研磨机流入端，而每只过滤器顶部的排流端管接控制阀排放，又于每只过滤器流入端分数个叉路管接控制阀选换导入纯水或氮气，并于每一过滤器流出端叉分管接控制阀排放，另于每只过滤器临近汇流入端及临近汇流出端的接管部位设置控制阀，由此在不能断止供应晶圆研磨液产出当 中，任一过滤器阻塞更换时，能自控控制阀定时开闭对应管路，由此通过电脑控制纯水自动冲洗除去过滤器、相关管路及置具的内晶圆研磨液，且自动排除清洗的纯水能再管接到预定的排放收集空间，使操作员穿戴C级防毒防护衣、手套即可、经济方便快速；其因自动清洗后兼有自动以氮气吹干，故无须操作配戴手套取出过滤器，不会有取出旧过滤器及更换时，手套上残留晶圆研磨液污染新过滤器问题，提高新过滤器使用寿命；其能自动清洗过滤器及置座后，以氮气气压喷射方式除水气、水滴的干燥方式，使新过滤器不会遭残留水气、水滴等污染，不会改变供应系统内晶圆研磨液浓度，进而提高制程良率提高；因其自动排出欲拆换过滤器内的晶圆研磨液，且更再加以洗除晶圆研磨液受控汇排出，无须操作员以水冲洗过滤器所在的置座，而用防漏盘乘装污水以防漏盘乘污水，再将污水推出的处理方式，由此不易造成污水外漏污染环境，且不用担忧有防漏盘推送时易会污染环境、人员，容易伤及人员健康的安全问题；其由电脑控制大部分过程，得以增快速度，排除人员疏失、不稳定的情形，增加良率。
附图说明
下面结合附图和实施例对本实用新型进一步说明。
图1为设置本实用新型晶圆研磨液供应系统的自动控流换洗过滤器装置的整体构成方块图。
图2为本实用新型晶圆研磨液供应系统的自动控流换洗过滤器装置的电脑传讯示意图。
图3为本实用新型晶圆研磨液供应系统的自动控流换洗过滤器装置的管线路图。
图4为本实用新型晶圆研磨液供应系统的自动控流换洗过滤器装置的运作示图一。
图5为本实用新型晶圆研磨液供应系统的自动控流换洗过滤器装置的运作示图二。
图6为本实用新型晶圆研磨液供应系统的自动控流换洗过滤器装置的运作示图三。
图7为本实用新型晶圆研磨液供应系统的自动控流换洗过滤器装置 的运作示图四。
图8为本实用新型晶圆研磨液供应系统的自动控流换洗过滤器装置的运作示图五。
图9为本实用新型晶圆研磨液供应系统的自动控流换洗过滤器装置的运作示图六。
图10为本实用新型晶圆研磨液供应系统的自动控流换洗过滤器装置的运作示图七。
图中标号说明：
1原料槽 6晶圆研磨机
2纯水 7氮气
3混酸槽 8收集处理槽
4A，4B晶圆研磨液供应槽
5自动控流换洗过滤器装置
5A，5B过滤器
5a过滤器置座
5Q电脑
5C，5D，5E，5F，5G，5H，5I控制阀
5J，5K，5L，5M，5N，5O控制阀
具体实施方式
图1为设置本实用新型晶圆研磨液供应系统的自动控流换洗过滤器装置的整体构成方块图，由该图所示可知，整套本实用新型晶圆研磨液供应系统先由储放晶圆研磨液原液的原料槽1流出定量晶圆研磨液原液与定量纯水2一同流到混酸槽3混成浓度合宜的晶圆研磨液，抽泵到晶圆研磨液供应槽4A，4B暂储，再流往晶圆研磨机6，而本实用新型此种自动控流换洗过滤器装置5设于晶圆研磨液供应槽4A，4B通往晶圆研磨机6之间，将晶圆研磨液供应槽4A，4B流往晶圆研磨机6的晶圆研磨液滤除其中大颗粒子，此装置5能在须更换此装置5内的过滤器(5A或5B)过程中，以此装置5内的电脑5Q设定自动排放收集欲拆换过滤器(5A或5B)内残余晶圆研磨液，及引入纯水2清洗相关管路及过滤器置座，并引入氮气7吹干管路及过滤器置座(过滤器置座图中未示请见后图)后 自动排水排气收集处理。
详细构成如图3为本实用新型晶圆研磨液供应系统的自动控流换洗过滤器装置的管线路图所示，并请同时参照图2的电脑传讯示意图(在该图2中所示线箭头指向旁的标号5C～5O，是代表该传讯线传至其余各图对应标示5C～5O的元件)，本实用新型此种装置5，由至少两只过滤器5A，5B、数个控制阀5C，5D，5E，5F，5G，5H，5I，5J，5K，5L，5M，5N，5O及管控气压源气压流向受气压控启控制阀5G，5H，5I，5J，5K，5L，5M，5N，5O的电脑5Q连接而成，所有过滤器5A，5B并联管接的汇流入端管接晶圆研磨液供应槽4A，4B流出端，且所有过滤器5A，5B并联管接的汇流出端管接晶圆研磨机6流入端，而每只过滤器5A，5B顶部的排流端管接控制阀5G，5H排放，又于每只过滤器5A，5B流入端分数个叉路管接控制阀5I，5J，5K，5L，5M选换导入纯水2或氮气7，并于每一过滤器5A，5B流出端叉分管接控制阀5N，5O排放，另于每只过滤器5A，5B临近汇流入端及临近汇流出端的接管部位设置控制阀5C，5D，5E，5F，另且对经过滤器5A，5B顶部排流端管接控制阀5G，5H的排放，及对每一过滤器5A，5B流出端叉分管接控制阀5N，5O的排放，接管汇集流到收集处理槽8收置，而电脑5Q亦可为可程控器(PLC)型式。
而由于任一过滤器5A，5B周围配置结构相同，因此仅举一过滤器5A为例说明本实用新型此种装置5运作，平时如图4所示，从研磨液供应槽4A，4B流出的晶圆研磨液会汇入经由控制阀5C，5E流入所有过滤器5A，5B再流过控制阀5D，5F后汇流往晶圆研磨机6，当一过滤器5A阻塞欲更换时，如图5所示，首先手控控制阀5C，5D关闭，使晶圆研磨液不再流入过滤器5A，并使晶圆研磨液不再经过滤器5A流往晶圆研磨机6，晶圆研磨液仍能由另只过滤器5B流到晶圆研磨机6供应研磨作业。
随即如图6所示，电脑5Q发讯驱控控制阀5N，5G开启(电脑5Q请见前图2)，使过滤器5A内积留的晶圆研磨液经控制阀5N流往收集处理槽8排光，接着如图7所示，电脑5Q发讯驱控控制阀5I，5J开启(电脑5Q请见前图2)，使纯水2流入欲拆换的过滤器5A及过滤器置座5a冲洗，冲流的不纯净纯水2就经控制阀5N以及控制阀5G流到收集处理槽8收置，等纯水冲洗毕后，电脑5Q发讯驱控控制阀5I关闭，不再供应纯 水2清洗到过滤器5A及过滤器置座5a内，让过滤器5A及过滤器置座5a内积留的不纯净纯水2经控制阀5N流到收集处理槽8收置。
继续如图8所示，电脑5Q发讯驱控控制阀5K开启(电脑5Q请见前图2)，使氮气7气压喷射流过欲拆换的过滤器5A及过滤器置座5a，再经控制阀5N流到收集处理槽8，将过滤器5A及过滤器置座5a内剩余的水份吹干排出，并直接干燥。
接着如图9所示，电脑5Q发讯驱控该些控制阀5K，5J，5N关闭(电脑5Q请见前图2)，此时电脑5Q屏幕显现更换过滤器提示，操作员此时就可从过滤器置座5a拆出旧过滤器换上新过滤器(过滤器图中未示，请见前图)成图10状态，此时电脑5Q屏幕显现清洗提示(电脑5Q请见前图2)，让操作员按下电脑5Q的清洗键，电脑5Q就对新过滤器5A重进行图7及图8程序，确保新过滤器5A内洁净，再直接跳回图9状态，尔后手控控制阀5C，5D开启，回复图4由全部过滤器5A，5B过滤供应晶圆研磨液到晶圆研磨机6状态。
由此构成，在不能断止供应晶圆研磨液产出当中，任一过滤器阻塞更换时，能自控控制阀定时开闭对应管路，改进传统更换过滤器须亲手轮流切换阀体以及手洗过滤管路结构上，易弄错开闭管路顺序及污染环境毒害人员的缺失。
以上所述，仅是本实用新型的较佳实施例而已，并非对本实用新型作任何形式上的限制，凡是依据本实用新型的技术实质对以上实施例所作的任何简单修改、等同变化与修饰，均仍属于本实用新型技术方案的范围内。
综上所述，本实用新型在结构设计、使用实用性及成本效益上，完全符合产业发展所需，且所揭示的结构亦是具有前所未有的创新构造，具有新颖性、创造性、实用性，符合有关新型专利要件的规定，故依法提起申请。
Claims (2)
1.一种晶圆研磨液供应系统的自动控流换洗过滤器装置，设于晶圆研磨液供应槽通往晶圆研磨机之间，不同于传统研磨液供应系统全以人工控流换洗过滤器的装置，其特征在于：其至少由两只过滤器、数个控制阀及管控气压源气压流向受气压控启控制阀的电脑连接而成，所有过滤器并联管接的汇流入端管接晶圆研磨液供应槽流出端，且所有过滤器并联管接的汇流出端管接晶圆研磨机流入端，而每只过滤器顶部的排流端管接控制阀排放，又于每只过滤器流入端分数个叉路管接控制阀选换导入纯水或氮气，并于每一过滤器流出端叉分管接控制阀排放，另于每只过滤器临近汇流入端及临近汇流出端的接管部位设置控制阀。
2.根据权利要求1所述的晶圆研磨液供应系统的自动控流换洗过滤器装置，其特征在于，所述电脑为可程控器型式。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN 201220539747 CN203019211U (zh) | 2012-10-22 | 2012-10-22 | 晶圆研磨液供应系统的自动控流换洗过滤器装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN 201220539747 CN203019211U (zh) | 2012-10-22 | 2012-10-22 | 晶圆研磨液供应系统的自动控流换洗过滤器装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| CN203019211U true CN203019211U (zh) | 2013-06-26 |
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ID=48643225
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
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| CN 201220539747 Expired - Lifetime CN203019211U (zh) | 2012-10-22 | 2012-10-22 | 晶圆研磨液供应系统的自动控流换洗过滤器装置 |
Country Status (1)
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| CN (1) | CN203019211U (zh) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN104001367A (zh) * | 2014-06-13 | 2014-08-27 | 刘辉 | 适用于水源热泵空调机组的污水过滤系统及过滤方法 |
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2012
- 2012-10-22 CN CN 201220539747 patent/CN203019211U/zh not_active Expired - Lifetime
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN104001367A (zh) * | 2014-06-13 | 2014-08-27 | 刘辉 | 适用于水源热泵空调机组的污水过滤系统及过滤方法 |
| CN104001367B (zh) * | 2014-06-13 | 2015-09-30 | 刘辉 | 适用于水源热泵空调机组的污水过滤系统及过滤方法 |
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Legal Events
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