CN203002315U - 适用于动态气体发生器的超低浓度管路系统 - Google Patents

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李虹杰
李恺骅
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Abstract

本实用新型涉及适用于动态气体发生器的超低浓度管路系统。包括与第一质量流量计输出口连接的超低浓度配气管和与第二质量流量计输出口连接高浓度配气管，所述超低浓度配气管和高浓度配气管同时接一气体混合组件后接气体配比输出管，所述第一质量流量计输入口连接零气输入管，所述零气输入管接零气发生器，所述第二质量流量计输入口连接标气输入管，所述标气输入管接钢瓶气。因此，本实用新型具有如下优点：1.能够配比出超低浓度小于50ppb的流量气；2. 混合管采用螺旋状的配比管进行配比混合，舍弃了传统的单一容器混合器进行混合，能够是配比气体更均匀。

Description

适用于动态气体发生器的超低浓度管路系统
技术领域
本实用新型涉及一种超低浓度管路系统，尤其是涉及适用于动态气体发生器的超低浓度管路系统。
背景技术
传统的气体发生器只能用单一标准渗透管的获得单一的标准气体，并且很难需要获得小流量的动态气体。
实用新型内容
本实用新型主要是解决现有技术所存在的技术问题；提供了一种能够配比出超低浓度小于50ppb的流量气；舍弃了传统的单一容器混合器进行混合，能够是配比气体更均匀的适用于动态气体发生器的超低浓度管路系统及其配气方法。
本实用新型的上述技术问题主要是通过下述技术方案得以解决的：
一种适用于动态气体发生器的超低浓度管路系统，其特征在于，包括与第一质量流量计输出口连接的超低浓度配气管和与第二质量流量计输出口连接高浓度配气管，所述超低浓度配气管和高浓度配气管同时接一气体混合组件后接气体配比输出管，所述第一质量流量计输入口连接零气输入管，所述零气输入管接零气发生器，所述第二质量流量计输入口连接标气输入管，所述标气输入管接钢瓶气。
在上述的一种适用于动态气体发生器的超低浓度管路系统，所述超低浓度配气管的输入气体浓度为小于100mL/min；所述高浓度配气管的输入气体浓度为大于等于10 mL/min。
在上述的一种适用于动态气体发生器的超低浓度管路系统，所述的气体混合组件包括一螺旋状配气管，所述螺旋状配气管采用聚四氟乙烯管。
在上述的一种适用于动态气体发生器的超低浓度管路系统，所述超低浓度配气管的输入气体浓度为5 mL/min -10 mL/min，所述所述高浓度配气管的输入气体浓度为大于等于10L/min。
在上述的一种适用于动态气体发生器的超低浓度管路系统，所述螺旋状配气管的盘旋层数为大于等于10层。
在上述的一种适用于动态气体发生器的超低浓度管路系统，所述超低浓度配气管和高浓度配气管采用不锈钢，内壁均经过过氧化处理。
一种适用于配气机的超低浓度管路系统的配气方法，其特征在于，包括以下步骤：
步骤1，将第一质量流量计和第二质量流量计分别通入5 mL/min -10 mL/min和10L/min的气体，定义Q1为5mL/min-10 mL/min；Q1为10L/min；定义Cb为钢瓶气浓度；
步骤2，第一质量流量计和第二质量流量计的气体分别经过超低浓度配气管和高浓度配气管后进入螺旋状配气管后经过若干次螺旋回转后在螺旋状配气管内均匀混合，最终的配气稀释浓度为
Figure BDA0000271377931
。
因此，本实用新型具有如下优点：1.能够配比出超低浓度小于50ppb的流量气；2. 混合管采用螺旋状的配比管进行配比混合，舍弃了传统的单一容器混合器进行混合，能够是配比气体更均匀。
附图说明
附图1是本实用新型的一种结构原理示意图。
附图2是本实用新型的一种立体结构原理示意图。
具体实施方式
下面通过实施例，并结合附图，对本实用新型的技术方案作进一步具体的说明。
实施例：
首先介绍一下本适用于配气机的超低浓度管路系统的基本构造，包括与第一质量流量计1输出口连接的超低浓度配气管2和与第二质量流量计3输出口连接高浓度配气管4，所述超低浓度配气管2和高浓度配气管4同时接一气体混合组件后接气体配比输出管5，所述第一质量流量计1输入口连接零气输入管10，所述零气输入管10接零气发生器7，所述第二质量流量计3输入口连接标气输入管8，所述标气输入管8接钢瓶气9。
超低浓度配气管2的输入气体浓度为小于5mL/min；所述高浓度配气管4的输入气体浓度为大于等于10L/min；气体混合组件包括一螺旋状配气管6，螺旋状配气管6采用聚四氟乙烯管，螺旋状配气管6的盘旋层数为大于等于10层。
操作时，包括以下步骤：
步骤1，将第一质量流量计1和第二质量流量计3分别通入5 mL/min-10 mL/min和10L/min的气体，定义Q1为5 mL/min -10 mL/min；Q2为10L/min；定义Cb为钢瓶气浓度；
步骤2，第一质量流量计1和第二质量流量计3的气体分别经过超低浓度配气管2和高浓度配气管4后进入螺旋状配气管6后经过若干次螺旋回转后在螺旋状配气管6内均匀混合，最终的配气稀释浓度为 Q = C b × Q 1 Q 1 + Q 2 ≈ C b × Q 1 Q 2 。
本实用新型中，创造性的采用了低浓度和高浓度的配比管结合进行配比，并且，混合管采用螺旋状的配比管进行配比混合，舍弃了传统的单一容器混合器进行混合，能够是配比气体更均匀。
本文中所描述的具体实施例仅仅是对本实用新型精神作举例说明。本实用新型所属技术领域的技术人员可以对所描述的具体实施例做各种各样的修改或补充或采用类似的方式替代，但并不会偏离本实用新型的精神或者超越所附权利要求书所定义的范围。
尽管本文较多地使用了第一质量流量计1、超低浓度配气管2、第二质量流量计3、高浓度配气管4、螺旋状配气管6、零气发生器7、标气输入管8、钢瓶气9、零气输入管10等术语，但并不排除使用其它术语的可能性。使用这些术语仅仅是为了更方便地描述和解释本实用新型的本质；把它们解释成任何一种附加的限制都是与本实用新型精神相违背的。

Claims (6)

1.一种适用于动态气体发生器的超低浓度管路系统，其特征在于，包括与第一质量流量计（1）输出口连接的超低浓度配气管（2）和与第二质量流量计（3）输出口连接高浓度配气管（4），所述超低浓度配气管（2）和高浓度配气管（4）同时接一气体混合组件后接气体配比输出管，所述第一质量流量计（1）输入口连接零气输入管（10），所述零气输入管（10）接零气发生器（7），所述第二质量流量计（3）输入口连接标气输入管（8），所述标气输入管（8）接钢瓶气（9）。
2.根据权利要求1所述的一种适用于动态气体发生器的超低浓度管路系统，其特征在于，所述超低浓度配气管（2）的输入气体浓度为小于100mL/min；所述高浓度配气管（4）的输入气体浓度为大于等于10L/min。
3.根据权利要求1所述的一种适用于动态气体发生器的超低浓度管路系统，其特征在于，所述的气体混合组件包括一螺旋状配气管（6），所述螺旋状配气管（6）采用聚四氟乙烯管。
4.根据权利要求1所述的一种适用于动态气体发生器的超低浓度管路系统，其特征在于，所述超低浓度配气管（2）的输入气体浓度为5mL/min-10mL/min，所述所述高浓度配气管（4）的输入气体浓度为大于等于10L/min。
5.根据权利要求1所述的一种适用于动态气体发生器的超低浓度管路系统，其特征在于，所述螺旋状配气管（6）的盘旋层数为大于等于10层。
6.根据权利要求1所述的一种适用于动态气体发生器的超低浓度管路系统，其特征在于，所述超低浓度配气管（2）和高浓度配气管（4）采用不锈钢，内壁均经过过氧化处理。
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Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN103949190A (zh) * 2014-04-11 2014-07-30 浙江通源材料科技有限公司 一种贵金属催化剂的工业制备装置
CN110227380A (zh) * 2019-04-25 2019-09-13 滨州渤海活塞有限公司 一种重熔活塞用保护气混气装置

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License type: Exclusive License

Record date: 20140701

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C56 Change in the name or address of the patentee
CP01 Change in the name or title of a patent holder

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Patentee after: WUHAN TIANHONG ENVIRONMENTAL PROTECTION INDUSTRY CO.,LTD.

Address before: 430223 Wuhan Province, East Lake Province, high Xinhua Garden North Road, No. 11

Patentee before: WUHAN YUHONG ENVIRONMENT PROTECTION DEVELOPMENT Co.,Ltd.

EM01 Change of recordation of patent licensing contract
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Contract record no.: 2014990000478

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Assignor before: WUHAN YUHONG ENVIRONMENT PROTECTION DEVELOPMENT Co.,Ltd.

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Assignee: Shanxi Yuhong technology and Trade Co.,Ltd.

Assignor: WUHAN TIANHONG ENVIRONMENTAL PROTECTION INDUSTRY CO.,LTD.

Contract record no.: 2014990000478

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