CN202795320U - 一种具有柔性透明导电薄膜的电容触摸屏 - Google Patents
一种具有柔性透明导电薄膜的电容触摸屏 Download PDFInfo
- Publication number
- CN202795320U CN202795320U CN 201220403994 CN201220403994U CN202795320U CN 202795320 U CN202795320 U CN 202795320U CN 201220403994 CN201220403994 CN 201220403994 CN 201220403994 U CN201220403994 U CN 201220403994U CN 202795320 U CN202795320 U CN 202795320U
- Authority
- CN
- China
- Prior art keywords
- thin layer
- layer
- thin
- thin film
- flexible
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Lifetime
Links
Images
Landscapes
- Position Input By Displaying (AREA)
Abstract
本技术提供一种柔性可卷曲、厚度薄、重量轻、表面电阻小、高透光、低色度的具有柔性透明导电薄膜的电容触摸屏，它包括柔性透明薄膜基材；在柔性透明薄膜基材上表面上依次层叠有第一Nb2O5薄膜层、第一Nb2Ox（0<x<5）薄膜层、第一SiO2薄膜层、第一SiOx（0<x<2）薄膜层、第一ITO薄膜层；在柔性透明薄膜基材下表面上有第二ITO薄膜层。
Description
技术领域
本技术涉及电容型触摸屏，具体地说，是一种柔性透明电容型触摸屏。
背景技术
常规的电容型触摸屏是在透明导电玻璃两侧涂敷有ITO薄膜层(镀膜导电玻璃)，ITO薄膜层作为工作面, 四个角上引出电极，内层ITO为屏蔽层以保证良好的工作环境。当手指触摸在触控屏表面上时，由于人体电场和导电玻璃表面ITO薄膜层形成以一个耦合电容，对于高频电流来说，电容是直接导体，于是手指从接触点吸走一个很小的电流。这个电流分别从触控屏四角上的电极中流出，并且流经这四个电极的电流与手指到四角的距离成正比，控制器通过对这四个电流比例的精确计算，得出触摸点的位置信息。
常规的电阻型触摸屏是由透明导电薄膜和透明导电玻璃（或透明导电薄膜）以导电膜面相对，中间以圆柱形的间隔支撑。在透明导电薄膜上用手或笔等施加压力使导电膜相接触。在导电膜上施加电压，通过控制电路判断出这个接触点的位置。
这种电阻型触摸屏因为制造方式的简易性，价格的适当性，接触点判断的准确性等的优点，比起光学方式或超音波方式，这种触摸屏应用广泛。缺点是不能同时感受到多接触点的判断，不能感受手指移动方式。
常规的电容型触摸屏较电阻型触摸屏触点敏感，但因为制作基材为透明导电玻璃板，其厚度、重量均受玻璃基材所限。玻璃基材太薄，强度受到影响，受到外界压力、或弯曲时触摸屏易碎、或破损。同时因为静电感应的特殊要求，通常要求增加两侧透明ITO薄膜层厚度，降低电阻值低。由此而影响到其透光性能，造成色度b*偏高，全光线透光率偏低。
作为一透明导电薄膜的制造方式，在透明的薄膜基材上使用物理方式沉积氧化锡铟（ITO）。但是这种透明导电薄膜上氧化锡铟薄膜的附着耐久性很差，在高温处理后的表面电阻有很大的变化。
发明内容
本技术的目的在是针对玻璃型电容触摸屏厚度厚、重量过重、透光率、不能卷曲的问题,提供一种柔性可卷曲、厚度薄、重量轻、表面电阻小、高透光、低色度的电容型触摸屏。
本技术的具有柔性导电薄膜的电容型触摸屏，包括柔性透明薄膜基材1；在柔性透明薄膜基材1上表面上依次层叠有第一Nb2O5薄膜层2、第一Nb2Ox（0<x<5）薄膜层3、第一SiO2薄膜层4、第一SiOx（0<x<2）薄膜层5、第一ITO薄膜层6；在柔性透明薄膜基材1下表面上有第二ITO薄膜层7。
上述的电容型触摸屏，它还包括位于柔性透明薄膜基材1上表面与Nb2O5薄膜层2之间的第一树脂薄膜层8，位于柔性透明薄膜基材1下表面与第二ITO薄膜层7之间的第二树脂薄膜层9。第一树脂薄膜层8或第二树脂薄膜层9能够使得膜层的附着性能增加。第一树脂薄膜层8或第二树脂薄膜层9可以是丙烯酸树脂薄膜层。
上述的电容型触摸屏，它还包括柔性透明薄膜基材1下表面与第二ITO薄膜层7之间的依次层叠的第二Nb2O5薄膜层12、第二Nb2Ox（0<x<5）薄膜层13、第二SiO2薄膜层14、第二SiOx（0<x<2）薄膜层15。
上述的电容型触摸屏，柔性透明薄膜基材1为PET薄膜基材。
上述的电容型触摸屏，柔性透明薄膜基材1厚度为5㎛-250㎛。柔性透明薄膜基材的厚度未满5 ㎛的时候，在柔性透明薄膜基材上依靠物理沉积覆膜的时候，基膜如同皱纹纸一样加工很难制成的，厚度超过250 ㎛的时候，基膜非常硬，不适合触摸屏的特性。
上述的电容型触摸屏，第一SiO2薄膜层4厚度为0.5nm-150nm。当第一SiO2薄膜厚度低于5nm时，则达不到防划耐磨、阻断水分渗透的目的。厚度超过200nm时将使得透明性能降低。第一SiO2薄膜层增加了第一ITO薄膜层的附着力，同时阻断了柔性透明薄膜基材的水分的渗透。即使在高温处理的环境下，也使得第一ITO薄膜层的表面电阻变化减小。
上述的电容型触摸屏，第一SiOx（0<x<2）薄膜层5厚度为0.5nm-150nm。
上述的电容型触摸屏，第一Nb2O5薄膜层2厚度为0.5nm-150nm。
上述的电容型触摸屏，第一Nb2Ox（0<x<5）薄膜层3厚度为0.5nm-150nm。
本技术的有益效果：
一、轻薄。由于柔性透明薄膜基材与玻璃基板相比具有韧性大、比重小的特点，本技术采用柔性透明薄膜作为基材，与玻璃型电容触摸屏相比，厚度更薄、重量轻。
二、柔软。由于基材采用柔性透明薄膜，柔软，可卷曲，可应用于柔性显示器件，如电子纸等。
三、由于增加了Nb2O5、SiO2及其非完全氧化物薄膜层组合，减少了光线的反射。相对没有这种多层薄膜结构的触摸屏,本技术的触摸屏具有相对高的全光线透过率。
四、同时由于Nb2O5、SiO2及其非完全氧化物薄膜层组合,更加有利于增宽透过光谱的范围,全光线透过率增加,有助于降低色度值b*。本技术相对没有Nb2O5、SiO2及其非完全氧化物薄膜组合的触摸屏而言，其电阻值相同的情况下，色度b*小，全光线透光率更高。
附图说明
图1是多层薄膜结构的触摸屏示意图。
图2是含硬化表面柔性透明导电薄膜电容型触摸屏示意图。
图3是双面镀膜柔性透明导电薄膜电容型触摸屏示意图。
具体实施方式
实施例1：
参见图2所示，
1、在厚度是188 ㎛的PET薄膜基材1的两面，将丙烯酸树脂使用湿式印刷的方法覆膜。覆膜后采用热风干燥，用紫外线方式硬化，在PET薄膜基材两面分别形成厚度约5 ㎛的第一树脂薄膜层8或第二树脂薄膜层9。
2、在第一树脂薄膜层8表面，使用反应磁控溅射镀膜的方式形成厚度5nm的第一Nb2O5薄膜层2。接着，在第一Nb2O5薄膜层2上通过反应磁控溅射镀膜的方法形成15nm的第一Nb2Ox（0<x<5）薄膜层3；同样使用反应磁控溅射镀膜的方法，在第一Nb2Ox（0<x<5）薄膜层3形成厚度70nm的第一SiO2薄膜层4，在第一SiO2薄膜层4上形成20nm厚的第一SiOx（0<x<2）薄膜层5。最后在第一SiOx（0<x<2）薄膜层5上使用同样方法形成厚度25nm的第一ITO薄膜层6，在第二树脂薄膜层9使用同样方法形成的第二ITO薄膜层7。
实施例2：
实施例2与实施例1不同之处在于：第一Nb2O5薄膜层2、第一Nb2Ox（0<x<5）薄膜层3、第一SiO2薄膜层4、第一SiOx（0<x<2）薄膜层5、第一ITO薄膜层6的厚度分别为：10nm、10nm、80nm、30nm、30nm。
实施例3：
实施例3与实施例1不同之处在于：第一Nb2O5薄膜层2、第一Nb2Ox（0<x<5）薄膜层3、第一SiO2薄膜层4、第一SiOx（0<x<2）薄膜层5、第一ITO薄膜层6的厚度分别为：15nm、5nm、60nm、20nm、30nm。
实施例4：
实施例4与实施例1不同之处在于：第一Nb2O5薄膜层2、第一Nb2Ox（0<x<5）薄膜层3、第一SiO2薄膜层4、第一SiOx（0<x<2）薄膜层5、第一ITO薄膜层6的厚度分别为：10nm、10nm、90nm、30nm、30nm。
实施例5:
参见图1所示的一种具有柔性导电薄膜的电容型触摸屏，在柔性透明薄膜基材1上表面上依次层叠有第一Nb2O5薄膜层2、第一Nb2Ox（0<x<5）薄膜层3、第一SiO2薄膜层4、第一SiOx（0<x<2）薄膜层5、第一ITO薄膜层6；在柔性透明薄膜基材1下表面上有第二ITO薄膜层7。
实施例6:
参见图3所示，
1、在厚度是25 ㎛的PET薄膜基材1的两面，将丙烯酸树脂使用湿式印刷的方法覆膜。覆膜后采用热风干燥，用紫外线方式硬化，在PET薄膜基材两面分别形成厚度约5 ㎛的第一树脂薄膜层8或第二树脂薄膜层9。
2、在第一树脂薄膜层8表面，使用反应磁控溅射镀膜的方式形成厚度5nm的第一Nb2O5薄膜层2。接着，在第一Nb2O5薄膜层2上通过反应磁控溅射镀膜的方法形成15nm的第一Nb2Ox（0<x<5）薄膜层3；同样使用反应磁控溅射镀膜的方法，在第一Nb2Ox（0<x<5）薄膜层3形成厚度70nm的第一SiO2薄膜层4，在第一SiO2薄膜层4上形成20nm厚的第一SiOx（0<x<2）薄膜层5。最后在第一SiOx（0<x<2）薄膜层5上使用同样方法形成厚度25nm的第一ITO薄膜层6。
3、在第二树脂薄膜层9上使用反应磁控溅射镀膜的方法，依次形成10nm厚的第二Nb2O5薄膜层12、10nm厚的第二Nb2Ox（0<x<5）薄膜层13、90nm厚的第二SiO2薄膜层14、30nm厚的第二SiOx（0<x<2）薄膜层15、30nm厚的第二ITO薄膜层7。
利用反应磁控溅射方式形成Nb2Ox薄膜层、Nb2O5薄膜层；其中Nb2Ox中X值在0-5之间，其折射率在2.2至2.6之间。SiO2薄膜层与ITO薄膜层之间增加一层Si非完全氧化物层，即SiOx（0<x<2）薄膜层。利用反应磁控溅射工艺，改变沉积SiOx薄膜层氧化程度，获得折射率从2．74逐渐变化到1.58（λ=1550nm）的SiOx渐变折射率薄膜材料，更有助于提高光线的透光性能。SiOx薄膜厚度在0.5nm到 150nm，其厚度未满0.5 nm时，很难形成连续性的薄膜，超过150nm的话，将造成薄膜光线透光性降低。
对实施例1-4进行测试：
通过Minolta CM-3600D光学分析测量装置，测定全光线透光率Tr和色度b*。使用4点探针分析装置，测定常温下的表面电阻值；各在150℃、1个小时热处理之后的表面电阻。结果见表1。
本技术提供了一种柔性透明电容型触摸屏。这种柔性透明电容型触摸屏除了厚度薄、重量轻外，b*值性能更加优越，全光线透光率更高，除应用于手机、游戏机、导航仪、掌上机等，可适用于柔性显示器，比如电子纸等。
表1
Claims (9)
1.一种具有柔性透明导电薄膜的电容触摸屏，其特征在于，包括柔性透明薄膜基材（1）；在柔性透明薄膜基材（1）上表面上依次层叠有第一Nb2O5薄膜层（2）、第一Nb2Ox（0<x<5）薄膜层（3）、第一SiO2薄膜层（4）、第一SiOx（0<x<2）薄膜层（5）、第一ITO薄膜层（6）；在柔性透明薄膜基材（1）下表面上有第二ITO薄膜层（7）。
2.如权利要求1所述的电容触摸屏，其特征在于，它还包括位于柔性透明薄膜基材（1）上表面与Nb2O5薄膜层（2）之间的第一树脂薄膜层（8），位于柔性透明薄膜基材（1）下表面与第二ITO薄膜层（7）之间的第二树脂薄膜层（9）。
3.如权利要求1所述的电容触摸屏，其特征在于，它还包括柔性透明薄膜基材（1）下表面与第二ITO薄膜层（7）之间的依次层叠的第二Nb2O5薄膜层（12）、第二Nb2Ox（0<x<5）薄膜层（13）、第二SiO2薄膜层（14）、第二SiOx（0<x<2）薄膜层（15）。
4.如权利要求1、2或3所述的电容触摸屏，其特征在于，柔性透明薄膜基材（1）为PET薄膜基材。
5.如权利要求1、2或3所述的电容触摸屏，其特征在于，柔性透明薄膜基材（1）厚度为5μm-250μm。
6.如权利要求1、2或3所述的电容触摸屏，其特征在于，第一SiO2薄膜层（4）厚度为0.5nm-150nm。
7.如权利要求1、2或3所述的电容触摸屏，其特征在于，第一SiOx（0<x<2）薄膜层（5）厚度为0.5nm-150nm。
8.如权利要求1、2或3所述的电容触摸屏，其特征在于，第一Nb2O5薄膜层（2）厚度为0.5nm-150nm。
9.如权利要求1、2或3所述的电容触摸屏，其特征在于，第一Nb2Ox（0<x<5）薄膜层（3）厚度为0.5nm-150nm。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN 201220403994 CN202795320U (zh) | 2012-08-15 | 2012-08-15 | 一种具有柔性透明导电薄膜的电容触摸屏 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN 201220403994 CN202795320U (zh) | 2012-08-15 | 2012-08-15 | 一种具有柔性透明导电薄膜的电容触摸屏 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| CN202795320U true CN202795320U (zh) | 2013-03-13 |
Family
ID=47822539
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| CN 201220403994 Expired - Lifetime CN202795320U (zh) | 2012-08-15 | 2012-08-15 | 一种具有柔性透明导电薄膜的电容触摸屏 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| CN (1) | CN202795320U (zh) |
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN102830876A (zh) * | 2012-08-15 | 2012-12-19 | 南京汇金锦元光电材料有限公司 | 一种具有柔性透明导电薄膜的电容触摸屏及其制备方法 |
| US9612698B2 (en) | 2014-04-10 | 2017-04-04 | Industrial Technology Research Institute | Touch sensing structure |
| US10338753B2 (en) | 2015-11-03 | 2019-07-02 | Microsoft Technology Licensing, Llc | Flexible multi-layer sensing surface |
| US10649572B2 (en) | 2015-11-03 | 2020-05-12 | Microsoft Technology Licensing, Llc | Multi-modal sensing surface |
| US10955977B2 (en) | 2015-11-03 | 2021-03-23 | Microsoft Technology Licensing, Llc | Extender object for multi-modal sensing |
-
2012
- 2012-08-15 CN CN 201220403994 patent/CN202795320U/zh not_active Expired - Lifetime
Cited By (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN102830876A (zh) * | 2012-08-15 | 2012-12-19 | 南京汇金锦元光电材料有限公司 | 一种具有柔性透明导电薄膜的电容触摸屏及其制备方法 |
| CN102830876B (zh) * | 2012-08-15 | 2015-10-21 | 南京汇金锦元光电材料有限公司 | 一种具有柔性透明导电薄膜的电容触摸屏及其制备方法 |
| US9612698B2 (en) | 2014-04-10 | 2017-04-04 | Industrial Technology Research Institute | Touch sensing structure |
| US10338753B2 (en) | 2015-11-03 | 2019-07-02 | Microsoft Technology Licensing, Llc | Flexible multi-layer sensing surface |
| US10649572B2 (en) | 2015-11-03 | 2020-05-12 | Microsoft Technology Licensing, Llc | Multi-modal sensing surface |
| US10955977B2 (en) | 2015-11-03 | 2021-03-23 | Microsoft Technology Licensing, Llc | Extender object for multi-modal sensing |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| KR100911640B1 (ko) | 투명 도전성 적층체 및 그것을 구비한 터치 패널 | |
| CN104956297B (zh) | 具含银的透明导电层的投影电容式触控面板 | |
| CN202795320U (zh) | 一种具有柔性透明导电薄膜的电容触摸屏 | |
| KR100803436B1 (ko) | 투명 도전성 적층체 및 그를 구비한 터치 패널 | |
| KR101475997B1 (ko) | 터치 적층 구조 | |
| KR101175968B1 (ko) | 투명 도전성 적층체 및 그것을 구비한 터치 패널 | |
| TWI524234B (zh) | Touch panel sensor | |
| TW201439846A (zh) | 透明導電基板、其製造方法以及包含其之觸控面板 | |
| CN203250288U (zh) | 触摸面板传感器 | |
| CN102713802B (zh) | 用于触摸面板的板件及其制造方法 | |
| TWM364912U (en) | Capacitor-type touch panel | |
| US20210109615A1 (en) | Resistive pressure sensor device system | |
| TWI524235B (zh) | Touch panel sensor | |
| US9098152B2 (en) | Dielectric layer for touch sensor stack | |
| CN105765510A (zh) | 混合触控感测电极及触控屏幕面板 | |
| CN107422904A (zh) | 触摸屏与电子设备 | |
| CN102830876B (zh) | 一种具有柔性透明导电薄膜的电容触摸屏及其制备方法 | |
| TWI613078B (zh) | 被使用在用以製作電子零件的積層體、薄膜感測器及具備薄膜感測器之觸控面板裝置 | |
| KR100961253B1 (ko) | 투명성이 향상된 도전성 필름 및 이를 이용한 터치패널 | |
| JP6073982B2 (ja) | 表示装置 | |
| KR100926284B1 (ko) | 투명 도전성 필름 및 이를 이용한 터치패널 | |
| US11249581B2 (en) | Touch control structure, touch control method and touch control device | |
| WO2021076192A1 (en) | Optically transparent pressure sensor | |
| CN202649991U (zh) | 高透光电阻型触摸屏 | |
| JP5630774B1 (ja) | 透明面状体及び透明タッチパネル |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| C14 | Grant of patent or utility model | ||
| GR01 | Patent grant | ||
| CX01 | Expiry of patent term | ||
| CX01 | Expiry of patent term |
Granted publication date: 20130313 |