CN202755098U - 多晶硅铸锭炉多点测控系统 - Google Patents

Abstract

本实用新型公开了一种多晶硅铸锭炉多点测控系统，包括保温层，保温层上设有边角观察口，用以观察炉体内部状况，保温层内设有坩埚支撑结构，在保温层内部的上、中、下部分设置有多个热电偶，用以检测保温层内部不同区域的温度变化，这些热电偶将实时数据传输给算法模型控制中心，算法模型控制中心通过计算做出判断，调节加热电源，从而调节供给炉内的热量，保持铸锭过程快速稳定地进行。

Description

多晶硅铸锭炉多点测控系统

技术领域

本实用新型涉及多晶硅铸锭炉多点测控系统，属于多晶硅铸锭炉技术领域。

背景技术

多晶硅铸锭炉主要用于太阳能级多晶硅锭的大生产，采用多晶硅定向凝固技术，将硅料高温熔融后通过特殊工艺定向冷凝结，从而达到太阳能电池生产用多晶硅品质的要求。

现有的多晶铸锭炉大多是以一点控温，然后按照预定的工艺曲线一步一步完成整个铸锭过程。虽然这样的控制方式简洁明了，但是仅依据炉内某一点的情况而确定整个炉内工况的方式，不能够最大限度贴近实际工况，当设备发生一些变化时，控制工艺不能够及时跟随变化，容易造成产品品质不稳定，影响产品整体质量，降低工作效率。

实用新型内容

本实用新型涉及一种多晶硅铸锭炉多点测控系统，用以解决传统一点控温无法掌握炉内温度的实时变化，导致的产品品质不稳定，使产品整体质量受影响，从而降低工作效率的问题。

为实现这一目的，本实用新型所采用的方法是：一种多晶硅铸锭炉多点测控系统，包括保温层，保温层内部设有坩埚支撑结构，在保温层内的上方设有第一热电偶，在保温层内的中部设有第二热电偶，在坩埚支撑结构下方分别设有第三热电偶、第四热电偶和第五热电偶，第一热电偶、第二热电偶、第三热电偶、第四热电偶和第五热电偶分别将数据传输给算法模型控制中心。

所述算法模型控制中心连接两组加热电源。

所述保温层上设有边角观察口。

其有益效果是：该系统可在整个铸锭过程中，自动智能调控腔室内冷热源的供给，从而优化加热、长晶、退火过程，使铸锭过程时间缩短、节约能源、并提高硅锭的品质。

附图说明

本实用新型将通过例子并参照附图的方式说明，其中：

图1是本实用新型结构示意图。

具体实施方式

本说明书中公开的所有特征，或公开的所有方法或过程中的步骤，除了互相排斥的特征和/或步骤以外，均可以以任何方式组合。

本说明书（包括任何附加权利要求、摘要和附图）中公开的任一特征，除非特别叙述，均可被其他等效或具有类似目的的替代特征加以替换。即，除非特别叙述，每个特征只是一系列等效或类似特征中的一个例子而已。

如图1所示，一种多晶硅铸锭炉多点测控系统，采用采用多点温度测试，通过算法模型控制中心计算，控制加热电源的功率，从而根据炉内的实时变化，控制炉内热量的补给，解决传统一点测控导致的产品质量不稳定的问题。

该系统包括保温层9，保温层9围绕成一封闭结构，为加热腔，加热腔内部下方设有坩埚支撑结构10，保温层9上设有边角观察口1，用以观察炉内情况，在加热腔顶部设有第一热电偶2，用以检测炉内顶部温度，加热腔中部设有第二热电偶3，检测炉内中部温度，坩埚支撑结构10底部分别设有第三热电偶5、第四热电偶6和第五热电偶7，检测炉内底部温度，热电偶将实时检测到的温度连续传输给算法模型控制中心4，所采集的数据更加精确，算法模型控制中心4通过计算，控制两组加热电源8的加热功率，从而实现实时精确调控铸锭炉内部热量的供给，优化加热、长晶、退火过程，使铸锭过程时间缩短、节约能源、并提高硅锭的品质。

本实用新型并不局限于前述的具体实施方式。本实用新型扩展到任何在本说明书中披露的新特征或任何新的组合，以及披露的任一新的方法或过程的步骤或任何新的组合。

Claims (3)

1.一种多晶硅铸锭炉多点测控系统，包括保温层（9），保温层（9）内部设有坩埚支撑结构（10），其特征在于，在保温层（9）内的上方设有第一热电偶（2），在保温层（9）内的中部设有第二热电偶（3），在坩埚支撑结构（10）下方分别设有第三热电偶（5）、第四热电偶（6）和第五热电偶（7），第一热电偶（2）、第二热电偶（3）、第三热电偶（5）、第四热电偶（6）和第五热电偶（7）分别将数据传输给算法模型控制中心（4）。

2.根据权利要求1所述的多晶硅铸锭炉多点测控系统，其特征在于，所述算法模型控制中心（4）连接两组加热电源（8）。

3.根据权利要求1所述的多晶硅铸锭炉多点测控系统，其特征在于，所述保温层（9）上设有边角观察口（1）。