CN202749407U - 具有标记点的石蜡掩膜对准调试假片 - Google Patents
具有标记点的石蜡掩膜对准调试假片 Download PDFInfo
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Abstract
本实用新型公开了具有标记点的石蜡掩膜对准调试假片，包括方形的假片本体（1），假片本体（1）上设有掩膜图形（2），假片本体（1）上还设有标记点（3），标记点（3）位于掩膜图形（2）外。本实用新型采用上述结构，在丝印对准校准过程中，能避免造成对准失效，防止工艺质量事故的发生，保证电池片的高效率，同时还不会增加额外的工艺步骤。
Description
技术领域
本实用新型涉及掩膜法制备SE电池领域，具体是具有标记点的石蜡掩膜对准调试假片。
背景技术
掩膜法制备SE电池在刻蚀工序之前就在硅片的上表面打印上与栅线图形一致的掩膜图形，以保护石蜡栅线图形下方的掺杂层不被刻蚀，而非石蜡栅线图形覆盖区域的掺杂层则被刻蚀掉一层，形成选择性发射极。
而在后续丝印工序中，须在掩膜图形的位置保持硅片方向一致完全对准再印刷银电极, 就需要使用对准假片对丝印机台进行对准测试校准。在对准调试过程中存在两个问题：1、在同一中对准方式，无对准标记的对准假片在丝印对准校准过程中可能存在与生产片方向存在180度的差异,从而引起对准实效；
2、当存在多种对准方式时，不同对准方式的生产片也需要相对应对准方式的对准假片进行对准调试，如果不同对准方式的生产片使用非对应的对准假片进行对准校准，也将引起对准失效。
实用新型内容
本实用新型提供了具有标记点的石蜡掩膜对准调试假片，解决了以往丝印对准校准过程中，容易造成对准失效，从而降低电池片效率，引起工艺质量事故的问题。
本实用新型为解决技术问题主要通过以下技术方案实现：具有标记点的石蜡掩膜对准调试假片，包括方形的假片本体，假片本体上设有掩膜图形，所述假片本体上还设有标记点。
标记点与掩膜图形一样，均为石蜡，标记点随掩膜图形一起打印在假片上；对硅片进行丝印前，需要使用对准假片对丝印机台进行对准校准，引入标记点以后，避免对准假片与生产片出现180度的反向，防止引起对准失效。
所述标记点位于掩膜图形外。
所述标记点位于假片本体的任意一个顶角处。
所述标记点位于掩膜图形内。
本实用新型与现有技术相比具有以下优点和有益效果：
（1）本实用新型通过引入标记点，使得在丝印机台进行对准校准时，操作人员能够直观准确地区分对准假片的方向，从而确保了对准校准的可靠性，避免了出现工艺质量事故，为电池片的高效率提供了保障。
（2）本实用新型引入的标记点和打印掩膜图形同时进行，一步完成，不需要增加额外的工艺步骤，也不引起额外的工艺问题，因此，在提高了对准校准精度的基础上，并没有带来不好的影响。
附图说明
图1为本实用新型的实施例1的结构示意图；
图2为本实用新型的实施例2的结构示意图。
附图中附图标记所对应的名称为：1、假片本体，2、掩膜图形，3、标记点。
具体实施方式
下面结合实施例对本实用新型作进一步的详细说明，但本实用新型的实施方式不限于此。
实施例1：
如图1所示，本实用新型包括方形的假片本体1，假片本体1上设有掩膜图形2，假片本体1上还设有标记点3。
本实施例将标记点3设置在掩膜图形2外，作为优选，将标记点3设置在假片本体1的任意一个顶角处，便于很清楚地区分对准校准的方向。
实施例2：
如图2所示，本实施例与实施例1不同的地方是，将标记点3设置在掩膜图形2内，由于掩膜图形2有空白的地方，可将标记点3设置在任意空白的地方，能够区分对准校准方向即可。
本实用新型的标记点的大小、位置可以是任意的，只要不影响正常掩膜图形、能够清楚区分对准校准方向即可。
本实用新型的工作原理为：将设有标记点3的假片对丝印机台进行对准校准测试，由于有标记点3，所以能很直观、清楚地判断掩膜图形与硅片方向是否一致，一致后，再进行丝印操作，这样保证了电池片的高效率。
如上所述，则能很好地实现本实用新型。
Claims (4)
1.具有标记点的石蜡掩膜对准调试假片，包括方形的假片本体（1），假片本体（1）上设有掩膜图形（2），其特征在于：所述假片本体（1）上还设有标记点（3）。
2.根据权利要求1所述的具有标记点的石蜡掩膜对准调试假片，其特征在于：所述标记点（3）位于掩膜图形（2）外。
3.根据权利要求2所述的具有标记点的石蜡掩膜对准调试假片，其特征在于：所述标记点（3）位于假片本体（1）的任意一个顶角处。
4.根据权利要求1所述的具有标记点的石蜡掩膜对准调试假片，其特征在于：所述标记点（3）位于掩膜图形（2）内。
Priority Applications (1)
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| CN2012204582436U CN202749407U (zh) | 2012-09-11 | 2012-09-11 | 具有标记点的石蜡掩膜对准调试假片 |
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Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN106004096A (zh) * | 2016-05-13 | 2016-10-12 | 清华大学深圳研究生院 | 一种用于打印石英晶体传感器敏感层的喷墨打印托盘 |
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2012
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Cited By (2)
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| CN106004096A (zh) * | 2016-05-13 | 2016-10-12 | 清华大学深圳研究生院 | 一种用于打印石英晶体传感器敏感层的喷墨打印托盘 |
| CN106004096B (zh) * | 2016-05-13 | 2018-05-04 | 清华大学深圳研究生院 | 一种用于打印石英晶体传感器敏感层的喷墨打印托盘 |
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