CN202725528U - 晶片单面刷洗机 - Google Patents

Abstract

本实用新型公开了一种晶片单面刷洗机，包括带有气动门的机体框架，还包括托盘固定板、托盘支承装置、控制系统和若干具有毛刷的毛刷装置，机体框架上安装有药液罐、喷淋装置和固定板移动电机，药液罐与喷淋装置相连接，喷淋装置上设置有若干喷头，机体框架上还固定有毛刷安装架，毛刷装置可旋转地支承在毛刷安装架上，毛刷安装架上固定有驱动毛刷装置旋转的毛刷电机，托盘固定板通过导轨副可滑动地与机体框架连接，固定板移动电机通过丝杆螺母副与托盘固定板活动连接，托盘固定板上固定有托盘轴承座和托盘旋转电机，托盘支承装置可旋转地支承在托盘轴承座上，托盘旋转电机通过传动装置驱动托盘支承装置旋转，托盘支承装置的顶部安装有晶片托盘。本实用新型能够去除晶片表面印渍和脏痕，对晶片清洗效果更好。

Description

晶片单面刷洗机

技术领域

本实用新型涉及一种晶片单面刷洗机，主要用于对晶片表面刷洗作业。

背景技术

目前，蓝宝石晶片具有强度高、硬度大、表面耐磨等特点，现有技术的清洗线对其清洗的话，对表面的油污、灰尘确实有较好效果，但对表面长时间形成的印渍很难做到彻底清洁。

发明内容

本实用新型的目的是克服现有技术的缺陷，提供一种能够去除晶片表面印渍和脏痕，对晶片清洗效果更好的晶片单面刷洗机。

实现本实用新型目的的技术方案是：一种晶片单面刷洗机，包括带有气动门的机体框架，还包括托盘固定板、托盘支承装置、控制系统和若干具有毛刷的毛刷装置，机体框架上安装有药液罐、喷淋装置和固定板移动电机，药液罐与喷淋装置相连接，喷淋装置上设置有若干喷头，机体框架上还固定有毛刷安装架，毛刷装置可旋转地支承在毛刷安装架上，毛刷安装架上固定有驱动毛刷装置旋转的毛刷电机，托盘固定板通过导轨副可滑动地与机体框架连接，固定板移动电机通过丝杆螺母副与托盘固定板活动连接，托盘固定板上固定有托盘轴承座和托盘旋转电机，托盘支承装置可旋转地支承在托盘轴承座上，托盘旋转电机通过传动装置驱动托盘支承装置旋转，托盘支承装置的顶部安装有晶片托盘。

进一步，所述的传动装置由套装在托盘旋转电机输出轴上的第一带轮和套装在托盘支承装置上的第二带轮以及连接第一带轮和第二带轮的皮带组成。

采用了上述技术方案后，通过控制系统上的按钮，打开气动门，并控制固定板移动电机横移出晶片托盘，将晶片放入晶片托盘内，通过控制系统将晶片托盘恢复至刷洗工位，关闭气动门，开始晶片的刷洗作业，控制毛刷电机使毛刷装置旋转，带动毛刷旋转清洗，控制托盘旋转电机使托盘支承装置旋转从而带动装入晶片的晶片托盘进行旋转，喷淋装置在晶片托盘上喷淋，达到刷洗的均匀、全面，晶片的装入简易便捷，设备的控制稳定、可靠，在去除晶片表面印渍和脏痕方面，本实用新型做出了很大的突破，对晶片清洗效果更好。

附图说明

图1为本实用新型的晶片单面刷洗机的内部示意图；

图2为图1的右视内部图；

图3为图1的右视图；

图4为图2的俯视内部图；

图5为图4中的固定板移动电机与固定板的传动连接图；

图6为本实用新型的喷淋装置的结构示意图；

图7为图6的俯视图。

具体实施方式

为了使本实用新型的内容更容易被清楚地理解，下面根据具体实施例并结合附图，对本实用新型作进一步详细的说明，

如图1~7所示，一种晶片单面刷洗机，包括带有气动门1的机体框架2，还包括托盘固定板3、托盘支承装置4、控制系统和若干具有毛刷5-1的毛刷装置5，机体框架2上安装有药液罐6、喷淋装置7和固定板移动电机8，药液罐6与喷淋装置7相连接，喷淋装置7上设置有若干喷头7-1，机体框架2上还固定有毛刷安装架9，毛刷装置5可旋转地支承在毛刷安装架9上，毛刷安装架9上固定有驱动毛刷装置5旋转的毛刷电机10，托盘固定板3通过导轨副可滑动地与机体框架2连接，固定板移动电机8通过丝杆螺母副与托盘固定板3活动连接，托盘固定板3上固定有托盘轴承座11和托盘旋转电机12，托盘支承装置4可旋转地支承在托盘轴承座11上，托盘旋转电机12通过传动装置驱动托盘支承装置4旋转，托盘支承装置4的顶部安装有晶片托盘13。

如图2所示，传动装置由套装在托盘旋转电机12输出轴上的第一带轮14和套装在托盘支承装置4上的第二带轮15以及连接第一带轮14和第二带轮15的皮带16组成。

本实用新型的工作原理如下：

  通过控制系统上的按钮，打开气动门1，并控制固定板移动电机8横移出晶片托盘13，将晶片放入晶片托盘13内，通过控制系统将晶片托盘13恢复至刷洗工位，关闭气动门1，开始晶片的刷洗作业，控制毛刷电机10使毛刷装置5旋转，带动毛刷5-1旋转清洗，控制托盘旋转电机12使托盘支承装置4旋转从而带动装入晶片的晶片托盘13进行旋转，喷淋装置7在晶片托盘13上喷淋，达到刷洗的均匀、全面，晶片的装入简易便捷，设备的控制稳定、可靠，在去除晶片表面印渍和脏痕方面，本实用新型做出了很大的突破，对晶片清洗效果更好。

以上所述的具体实施例，对本实用新型的目的、技术方案和有益效果进行了进一步详细说明，所应理解的是，以上所述仅为本实用新型的具体实施例而已，并不用于限制本实用新型，凡在本实用新型的精神和原则之内，所做的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本实用新型的保护范围之内。

Claims (2)

1. 一种晶片单面刷洗机，包括带有气动门（1）的机体框架（2），其特征在于：还包括托盘固定板（3）、托盘支承装置（4）、控制系统和若干具有毛刷（5-1）的毛刷装置（5），机体框架（2）上安装有药液罐（6）、喷淋装置（7）和固定板移动电机（8），药液罐（6）与喷淋装置（7）相连接，喷淋装置（7）上设置有若干喷头（7-1），机体框架（2）上还固定有毛刷安装架（9），毛刷装置（5）可旋转地支承在毛刷安装架（9）上，毛刷安装架（9）上固定有驱动毛刷装置（5）旋转的毛刷电机（10），托盘固定板（3）通过导轨副可滑动地与机体框架（2）连接，固定板移动电机（8）通过丝杆螺母副与托盘固定板（3）活动连接，托盘固定板（3）上固定有托盘轴承座（11）和托盘旋转电机（12），托盘支承装置（4）可旋转地支承在托盘轴承座（11）上，托盘旋转电机（12）通过传动装置驱动托盘支承装置（4）旋转，托盘支承装置（4）的顶部安装有晶片托盘（13）。

2.根据权利要求1所述的晶片单面刷洗机，其特征在于：所述的传动装置由套装在托盘旋转电机（12）输出轴上的第一带轮（14）和套装在托盘支承装置（4）上的第二带轮（15）以及连接第一带轮（14）和第二带轮（15）的皮带（16）组成。

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