CN202599436U - 真空测试夹具 - Google Patents

Abstract

一种真空测试夹具，包括：夹具座、盖体、底座；夹具座包括：板体，位于板体上的第一测试区、第一真空通道；盖体包括：具有弹性的第一环形密封部，盖部，密封板，位于第一环形密封部的内环和外环之间的第二真空通道，位于内环圈定的区域中的测试模块；第二真空通道与第一真空通道的位置对应相互连通；第一环形密封部、盖部、密封板三者之间形成第一腔体；底座包括：底板，位于底板上具有弹性的第二环形密封部，与第一测试区配合的第二测试区，第三真空通道；夹具座、底板、第二环形密封部之间形成第二腔体；还包括贯穿底板的真空口，与第一真空通道、第二真空通道、第三真空通道连通。本技术方案可以对产品进行两面测试。

Description

真空测试夹具

技术领域

本实用新型涉及测试领域，尤其涉及用于测试产品性能的真空测试夹具。

背景技术

随着科学技术的进步和发展，非金属材料如陶瓷、硅和玻璃等在现代工业，尤其是高科技生产领域得到了迅速而广泛的应用。在实际生产过程中，大量的薄、脆、无磁性平面工件需要定位装夹，利用真空发生器所设计的真空夹具以其结构简单、适用性强、操作维修方便等特点，受到了设计、使用人员的重视。真空夹具的应用领域不断扩大。最初，真空夹具在电子工业生产中应用较多，而后扩大到汽车工业、包装工业等领域。

现有技术的真空测试夹具为单腔体的真空测试夹具。图1为现有技术中的真空测试夹具的侧面结构示意图，参考图1，现有技术的真空测试夹具包括：呈箱状的底座20，位于底座20上的盖体10。图2为现有技术中底座20的俯视结构示意图，结合参考图1和图2，底座20包括：框体21，位于框体21内、与框体21固定连接的底板22，位于底板22上方的承载板（图中未示出）。承载板用于承载测试产品，盖体10盖设在承载板上，且承载板上具有多个针孔。底板22上设置有环形密封件，包括外环密封件23和内环密封件24；底板22、外环密封件23、内环密封件24、承载板四者之间形成环形的腔体；底板上还设置有真空口（图中未示），该真空口与抽真空装置连接；外环密封件23和内环密封件24圈定的区域中设置有真空通道28，该真空通道28与真空口连通；底板上还具有测试针26和定位孔25，该测试针26用于与测试产品、测试机电连接，定位孔25用于与承载板上的定位针配合，以固定测试产品。内环密封件24圈定的区域中设置针床（图中未示出），该针床用于与测试产品进行电连接；测试针26与针床上的针、测试机电连接；针床上的针在测试时插入承载板上的针孔，实现与测试产品的电连接。

当利用真空测试夹具对测试产品进行测试时，打开盖体10，将测试产品设置在承载板上；之后，真空装置通过真空口对环形的腔体进行抽真空，在承载板两侧产生压力差，承载板下压；当承载板下压至一定位置，承载板上的定位针插入底板上的定位孔对测试产品起到固定作用，针床上的针插入承载板上的针孔，这时通过测试针可以实现将测试产品与测试机的电连接，测试机可以对测试产品进行测试。

现有技术的真空测试夹具为单真空的测试夹具，腔体仅位于夹具的底座，测试产品只有和底座相对一面的结构的性能可以得到测试，因此现有的真空式夹具只能单面测试。然而，一些特殊的测试项目却在产品的另一面，这样就会遗漏了特殊的测试项目。因此，现有的单面的真空式夹具达不到新的测试标准。

实用新型内容

本实用新型解决的问题是现有技术的真空测试夹具只能对产品进行单面测试。

为解决上述问题，本实用新型提供一种真空测试夹具，包括：

夹具座；盖体，盖设于所述夹具座上；底座，用于承载所述夹具座；

所述夹具座包括：板体，位于所述板体上的第一测试区，贯穿所述板体的第一真空通道，所述第一测试区用于承载测试产品，且所述第一测试区中包括针孔；

所述盖体包括：具有弹性的第一环形密封部，盖设于所述第一环形密封部上的盖部，位于所述盖部相对侧的密封板，位于所述第一环形密封部的内环和外环之间的第二真空通道，位于所述第一环形密封部的内环圈定的区域中的测试模块；所述测试模块具有第一测试针和第二测试针，所述第一测试针用于与测试机电连接，所述第二测试针用于与测试产品电连接，所述第二测试针和所述第一测试针电连接；所述第二真空通道与所述第一真空通道的位置相互连通；所述测试模块与所述盖部固定连接；所述第一环形密封部、所述盖部、所述密封板之间形成第一腔体；

所述底座包括：底板，位于所述底板上具有弹性的第二环形密封部，位于所述底板上、第二环形密封部内环圈定区域中、与所述第一测试区配合的第二测试区，位于所述第二环形密封部的内环和外环之间的第三真空通道；所述夹具座的板体、所述底板、所述第二环形密封部之间形成第二腔体；所述底座还包括真空口，分别与所述第一真空通道、第二真空通道、第三真空通道连通，所述真空口与抽真空装置连接；所述第二测试区中包括第三测试针和针床，在测试产品时，所述针床上的针插入所述针孔与测试产品电连接；所述第三测试针与针床上的针、测试机电连接。

可选的，所述第一环形密封部包括：承载部，与所述承载部连接的环形密封件；所述承载部和所述盖部固定连接。

可选的，所述承载部包括：第一承载部，位于所述第一承载部上方的第二承载部，位于所述第二承载部上方的第三承载部；

所述环形密封件包括：与所述第一承载部连接的第一环形密封件，与所述第二承载部连接的第二环形密封件，与所述第三承载部连接的第三环形密封件；

所述第一环形密封件、第二环形密封件和第三环形密封件的形状相同；

所述第一环形密封件、第二环形密封件、第三环形密封件密封接触；

所述密封板与所述第一环形密封件密封接触，与所述第一承载部固定连接；所述盖部与所述第三环形密封件密封接触。

可选的，所述第一环形密封件、第二环形密封件和第三环形密封件均包括：内环密封件和外环密封件。

可选的，所述测试模块还包括：测试板，位于所述测试板上的定位针，所述第一测试针、第二测试针均位于所述测试板上。

可选的，所述盖部呈板状，所述盖部上设置第一限位件，且所述第一限位件位于所述第一腔体中，在测试模块向测试产品移动时对测试模块的位置进行限位；

所述盖部与所述测试板固定连接。

可选的，所述夹具座还包括：测试孔和第一定位孔，所述测试孔和第一定位孔贯穿所述板体，所述测试孔与所述第一测试针配合，所述第一定位孔与所述定位针配合。

可选的，所述盖体还包括：两侧开口的框形支撑部，所述第一环形密封部位于所述框形支撑部内，所述密封板与所述框形支撑部连接。

可选的，所述框形支撑部和所述板体之间可活动连接。

可选的，所述底座还包括：框体，所述底板位于所述框体内。

可选的，所述第三真空通道的数量为偶数，且该偶数个第三真空通道呈对称分布。

可选的，所述底板内具有第四真空通道，与所述真空口连通；

所述第三真空通道的数量为两个，其中一个第三真空通道与真空口上下位置重叠相通，另一个第三真空通道通过所述第四真空通道与所述真空口连通；

所述底板上还具有第五真空通道，与所述第一真空通道、第二真空通道位置对应连通，且与所述第四真空通道连通。

可选的，所述底座还包括：位于所述底板上的第二限位件，且所述第二限位件的高度小于所述第二环形密封部的高度。

可选的，所述底座还包括：位于所述底板的第二定位孔，与所述第一定位孔的位置对应，所述定位针插入所述第一定位孔、第二定位孔。

可选的，所述底座还包括：位于所述底板上的多个弹性件，且位于第二腔体中，所述多个弹性件均匀分布。

与现有技术相比，本实用新型具有以下优点：

本实用新型的真空测试夹具，在夹具座和盖体之间形成了第一腔体，在夹具座和底座之间形成了第二腔体；测试模块用于与测试产品、测试机电连接且与所述盖部固定连接。测试产品设置在夹具座上，当对第一腔体抽真空和第二腔体抽真空时，盖体下压带动测试模块下压与测试产品电连接，可以实现对产品顶面的测试；同时夹具座也下压使底座上的第二测试区与夹具座上的第一测试区配合连接，可以实现对产品底面的测试；当测试机与测试模块、底座上的第二测试区电连接时，就可以实现对测试产品的两面测试，从而可以解决现有技术中的真空测试夹具只能对产品进行单面测试的技术问题。当一些特殊的测试项目在产品的另一面，这样就不会遗漏了特殊的测试项目，可以达到新的测试标准。

附图说明

图1为现有技术中的真空测试夹具的侧面结构示意图；

图2为现有技术中真空测试夹具的底座的俯视结构示意图；

图3为本实用新型具体实施例的真空测试夹具的正面示意图；

图4为盖体和夹具座的立体分解图；

图5为本实用新型具体实施例的真空测试夹具的盖体和夹具座以及底座上的底板的正面示意图；

图6为沿图5中D-D方向的剖面结构示意图；

图7为盖体的俯视示意图；

图8为设置了测试模块的盖体的俯视图；

图9为底座的俯视示意图。

具体实施方式

为使本实用新型的上述目的、特征和优点能够更为明显易懂，下面结合附图对本实用新型的具体实施方式做详细的说明。

在以下描述中阐述了具体细节以便于充分理解本实用新型。但是本实用新型能够以多种不同于在此描述的其它方式来实施，本领域技术人员可以在不违背本实用新型内涵的情况下做类似推广。因此本实用新型不受下面公开的具体实施方式的限制。

图3为本实用新型具体实施例的真空测试夹具的正面示意图，参考图3，本实用新型具体实施例的真空测试夹具包括：夹具座40；盖体30，盖设于所述夹具座40上；底座50，用于承载所述夹具座40。

图4为盖体30和夹具座40的立体分解图，图5为本实用新型具体实施例的真空测试夹具的盖体30和夹具座40以及底座上的底板的正面示意图，图6为沿图5中D-D方向的剖面结构示意图。

结合参考图4、图5和图6，夹具座40包括：板体41，位于所述板体41上的第一测试区42，贯穿所述板体41的第一真空通道43，所述第一测试区41用于承载测试产品60。第一测试区42中设置有很多针孔（图中未示出），该针孔的数量以及分布情况根据测试产品以及测试项目确定。夹具座40还包括贯穿板体41的定位孔44，位于第一测试区42的周围。定位孔的数量、具体位置可以根据实际需要确定。在该实施例中，定位孔44的数量为两个，分布在第一测试区42的两相对侧，当盖体上的定位针插入该定位孔44时，定位针可以起到固定测试产品的作用。如果测试产品不会出现晃动的情况下，可以不用在板体上设置定位孔，同样也不用在之后描述的盖体中设置定位针。夹具座40还包括贯穿板体41的测试孔45，位于第一测试区42的周围。测试孔45为两组，每一组均包括多个测试孔，该测试孔的数量根据所测的测试产品来确定。

图7为盖体的俯视示意图，图8为设置了测试模块的盖体的俯视图，结合参考图4、图5、图6和图7、图8，盖体30包括：具有弹性的第一环形密封部31，盖设于所述第一环形密封部31上的盖部32，位于所述第一环形密封部的内环和外环之间的第二真空通道33，位于所述盖部32相对侧的密封板310，位于所述第一环形密封部的内环圈定的区域中的测试模块34；所述第二真空通道33与所述第一真空通道43的位置对应相互连通，第一真空通道43和第二真空通道33可以呈一体结构，也可以不是一体结构；测试模块34与所述盖部32连接；所述第一环形密封部31、所述盖部32、所述密封板310三者之间形成第一腔体35。

参考图4和图7，在该实施例中，盖部32为方形、透明平板，起到在第一环形密封部31的顶部密封该第一环形密封部31，将第一环形密封部31在顶部与外界大气隔绝的作用。盖部32的形状不限于方形，只要起到可以对第一环形密封部31的顶部起到密封的作用即可。盖部32透明，可以方便在顶部对测试产品的测试过程进行观察，但其也可以不透明。盖部32与第一环形密封部31固定连接，方形平板状的盖部32的四个角的位置具有第一螺孔（图中未标号），第一环形密封部具有与该第一螺孔位置对应的第二螺孔（图中未标号），螺钉321通过第一螺孔、第二螺孔可以将盖部32与第一环形密封部31固定连接。本实用新型中，第一环形密封部31和盖部32的连接方式不限于通过螺钉固定连接，也可以为其他的固定连接方式。盖部32上还具有第三螺孔323，第三螺孔用于与之后描述的测试模块固定连接。盖部32上还具有第一限位件322，且所述第一限位件位于之后描述的第一腔体中，在测试模块向测试产品移动时对测试模块的位置进行限位。

参考图4、图6和图7，在该实施例中，第一环形密封部31包括：承载部，与所述承载部连接的环形密封件。盖部32在顶部密封环形密封件，密封板310在相对所述盖部32一侧密封该环形密封件，密封板310为透明板状。所述承载部和所述盖部32固定连接。其中，承载部包括：第一承载部311，位于所述第一承载部311上方的第二承载部314，位于所述第二承载部314上方的第三承载部317，第一承载部311、第二承载部314、第三承载部317均与盖部32固定连接，具体为螺钉321通过盖部上的第一螺孔、位于第一承载部、第二承载部和第三承载部四个角的第二螺孔将盖部和承载部固定连接。环形密封件包括：与所述第一承载部311连接的第一环形密封件，该第一环形密封件包括内环密封件313和外环密封件312，内环密封件313和外环密封件312均具有弹性，可以在压力的作用下被压缩；与所述第二承载部314连接的第二环形密封件，该第二环形密封件包括内环密封件316和外环密封件315，内环密封件316和外环密封件315均具有弹性，可以在压力的作用下被压缩；与所述第三承载部317连接的第三环形密封件，该第三环形密封件包括内环密封件319和外环密封件318，内环密封件319和外环密封件318均具有弹性，可以在压力的作用下被压缩。所述第一环形密封件、第二环形密封件和第三环形密封件的形状相同，第一承载部、第二承载板、第三承载部的形状也相同，也就是说，第一环形密封部31为三层结构，每一层结构、形状均相同。第一环形密封件、第二环形密封件、第三环形密封件密封接触；所述密封板310与所述第一环形密封件密封接触，所述盖部32与所述第三环形密封件密封接触。密封板310与所述第一环形密封件密封接触，所述盖部32与所述第一环形密封件密封接触，第一环形密封件、第二环形密封件、第三环形密封件、密封板310以及盖部32之间形成了第一腔体35。可以通过在密封板上设置与第一环形密封件形状匹配的环形密封件，实现密封板和第一环形密封件的密封接触。第二真空通道33位于第一腔体35内、贯穿密封板310。

本实用新型中，第一环形密封部31不限于三层结构，可以根据实际需求确定。在该实施例中，每一层结构中的内环密封件、外环密封件的形状与下面描述的测试模块的形状基本相同，但本实用新型中，每一层结构中的内环密封件、外环密封件的形状不必一定与测试模块的形状相同，只要保证内环密封件圈定的区域足够容纳测试模块就可以。

图8为设置了测试模块的盖体的俯视图，参考图8和图4，该实施例中，测试模块34包括：测试板341，位于所述测试板341上的第一测试针342、第二测试针344、定位针343，第一测试针342用于与测试机电连接；第二测试针344的位置与所述第一测试区42的位置相应，用于与测试产品60电连接；第二测试针344和所述第一测试针342电连接，可以通过导线在测试板341的另一面将第一第二测试针344和所述第一测试针342电连接。当测试产品时，第二测试针344与测试产品电连接，第一测试针342插入板体41的测试孔45中，第一测试针与测试机电连接，测试产品通过第一测试针、第二测试针与测试机电连接。

测试模块34的测试板341与盖部32固定连接，具体可以为通过盖部32上的第三螺孔323固定连接，但不限于通过螺孔固定连接的方式。第一测试针342与所述夹具座板体41上的测试孔45配合，当盖体盖设于夹具座上，第一测试针342插入测试孔45内，其中第一测试针342为两组，每一组均包括多个测试针，该测试针的数量根据所测的测试产品来确定，当两组测试针均插入对应的测试孔后，测试产品与外部测试机电连接，这样可以起到测试测试产品面向盖部一面的产品性能。

定位针343的数量为两个，与夹具座的板体41上的定位孔44相配合，当定位针插入该定位孔44时，定位针可以起到固定测试产品的作用。如果测试产品不会出现晃动的情况下，可以不用设置定位针。

本实用新型中，定位针、定位孔的数量不限于两个，也可以为三个即三个以上。如果为三个定位针、三个定位孔，该三个定位针、三个定位孔可以呈三角形分布，可以起到更稳定的固定测试产品的作用。

结合参考图4、图5和图6，该实施例中，盖体30还包括：两侧开口的框形支撑部36，所述第一环形密封部31位于所述框形支撑部36内、与所述框形支撑部36连接。设置该框形支撑部36的目的是方便盖体30的开启与关闭，可以在框形支撑部36上设置把手（图中未示出），通过操作把手可以将盖体30开启、关闭。为了操作方便可以将盖体30与夹具座40进行可活动连接，可以在框形支撑部上设置可伸缩的杆体（图中未示出）与夹具座的板体连接；当掀开盖体时，杆体伸长，并且盖体可以在某一位置固定，方便进行测试产品的放置；当合上盖体时，杆体收缩。

该实施例中，框形支撑部36包括：第一框形支撑部361和第二框形支撑部362；第一框形支撑部361位于所述板体41上，第二框形支撑部位于所述第一框形支撑部上，密封板310与所述第一框形支撑部361、第二框形支撑部362连接，即第一框形支撑部和第二框形支撑部通过密封板310固定连接。在该实施例中，密封板310位于第一框形支撑部361和第二框形支撑部362之间，且密封板310搭在第一框形支撑部361的四个侧壁上。密封板的周边以及第一框形支撑部361的四个侧壁上均具有螺孔，螺钉穿过密封板310周边的螺孔以及第一框形支撑部361上的螺孔将密封板固定在第一框形支撑部361的四个侧壁上。

第一框形支撑部361呈方框形，可以为长方形方框也可以为正方形方框，图中显示为正方形方框，但本实用新型中，第一框形支撑部361不限于方框形，可以为各种形状的框形。第二框形支撑部362呈方框形，可以为长方形方框也可以为正方形方框，图中显示为正方形方框，但本实用新型中，第二框形支撑部362不限于方框形，可以为各种形状的框形。其中，第二框形支撑部362的每一侧壁的长度即平行于板体41方向的尺寸小于第一框形支撑部361的每一侧壁的长度。第一框形支撑部包括两相对的第一侧壁（图中未标号）和两相对的第二侧壁（图中未标号），其中一第一侧壁与所述板体固定连接，两第二侧壁通过可伸缩的杆体（图中未示出）与所述板体连接。

本实用新型中，框形支撑部不限于以上描述的具体实施例，也可以为仅包括一个框形支撑部，包括两相对的第一侧壁和两相对的第二侧壁，其中一第一侧壁与所述板体固定连接，两第二侧壁通过可伸缩的杆体与所述板体连接。

参考图4和图6，本实用新型的盖体还包括防静电压力板37，一方面可以起到在顶面压住测试产品60的作用，另一方面可以起到防静电的作用。

图9为底座的俯视示意图，参考图9和图5、图6。底座50包括：底板51，位于所述底板51上具有弹性的第二环形密封部，位于所述底板51上、第二环形密封部圈定区域中、与夹具座的第一测试区配合的第二测试区53，贯通所述底板51、位于所述第二环形密封部的内环和外环之间的第三真空通道54，该第三真空通道54的数量为两个，且对称分布；所述夹具座的板体41、所述底板51、所述第二环形密封部之间形成第二腔体55。

所述底座还包括真空口70，该真空口70分别与所述第一真空通道43、第二真空通道33、第三真空通道54连通。在该实施例中，底板51内具有第四真空通道71，与所述真空口70连通，该第四真空通道71的延伸路线和第一真空通道43、第二真空通道33、第三真空通道54的分布路线相关，其作用是将真空口70与第一真空通道43、第二真空通道33、第三真空通道54连通，从而可以使抽真空装置对第一腔体和第二腔体抽真空。该实施例中，第三真空通道54的数量为两个，且对称分布，其中一个第三真空通道54与真空口70上下位置重叠相通，另一个第三真空通道通过所述第四真空通道71与所述真空口连通；所述底板上还具有第五真空通道56，与所述第一真空通道、第二真空通道位置对应，且与所述第四真空通道71连通，也就是说，真空口70通过第四真空通道71、第五真空通道56与第一真空通道43、第二真空通道33连通，对第一腔体进行抽真空。

所述第三真空通道54的数量为偶数，且该偶数个第三真空通道呈对称分布，底板内具有第四真空通道，真空口70通过第四真空通道71与第三真空通道连通。在图示中，第三真空通道54的数量为两个，对称分布在第二腔体，这样可以保证产品在真空的作用下平稳下压，防止受力不均匀。

本实用新型中，真空口70与抽真空装置连接，用于对第一腔体和第二腔体抽真空。抽真空装置可以与测试机设置成一个装置，也就是说，测试机中本身包含了抽真空装置。

本实用新型中，第一测试区42中包括针孔（图中未示出），第二测试区53中包括第三测试针59和针床（图中未示出），针床中具有多个针；在测试产品时，所述针床上的针插入所述针孔；所述第三测试针与针床上的针在底板51的背面通过导线电连接，且第三测试针与测试机电连接，针床上的针通过针孔后与测试产品电连接。当测试产品时，针床上的针通过针孔后与测试产品电连接，而测试机通过第三测试针与针床上的针电连接，从而可以实现测试机对产品的底面的测试。

该实施例中，第二环形密封部包括外环密封件521和内环密封件522，该外环密封件521、内环密封件522、夹具座的板体41、所述底板51之间形成了第二腔体55。外环密封件521和内环密封件522的形状可以任意设置，只要满足内环密封件522圈定的区域可以足够容纳第二测试区即可。

参考图9，底板51具有第二限位件512，第二限位件呈垫状，且所述第二限位件的高度小于所述第二环形密封部的高度。该第二限位件的作用为对板体41下压的位置进行定位，当板体41下压至与第二限位件512接触时，板体41停止下压，防止板体41过渡下压对针床上的针造成损伤。第二限位件的数量根据实际需要确定，最好均匀分布在底板51上。

参考图9，底板51的四个角上设置有轴承511，板体41放置在该轴承511上。底座还包括：位于所述底板的第二定位孔510，与所述第一定位孔44的位置对应，所述定位针插入所述第一定位孔、第二定位孔以固定产品。所述底板上还具有多个弹性件58，且位于第二腔体中，所述多个弹性件均匀分布。该弹性件58在板体41下压时起到缓冲压力的作用。弹性件58可以为弹簧。

参考图3和图9，该实施例中，底座50还包括：框体57，所述底板51位于所述框体内，且与底板51之间固定连接，可以为通过螺钉固定连接，也可以为其他方式的连接。框体57的形状呈方形，但不限于方形。

本实用新型的真空测试夹具的工作原理为：

对现有技术的单面的真空测试夹具进行改良，从测试机中出来的真空通道通过真空口、第三真空通道与第二腔体连通，通过真空口、第一真空通道、第二真空通道与第一腔体连通，这样可以实现在夹具座的两侧进行抽真空。当盖体盖上时，第一腔体和第二腔体通过第一真空通道、第二真空通道、第三真空通道合成一体。当对第一腔体和第二腔体进行抽真空时，第一腔体和第二腔体同时往下压带动测试模块上的测试针、底板上的测试针与产品接触，从而达到测试的目的。因此可以达到对产品进行双面测试，实现测试产品的特殊测试项目。

另外，上下两个腔体可以保证测试产品能平稳被吸压下去，确保底座上的测试针与产品接触良好。

而且，本实用新型的真空式夹具还具有以下优点：机械结构简单，仅需要腔体和真空通道来实现机械动作，而常见的机械压力式测试夹具，机械结构复杂，需要额外的机械执行机构和电气控制机构来实现。操作安全，维修方便，稳定性好，噪音低，机械震动小。测试产品稳定，合格率高。通用性强，方便实现特殊的测试项目，符合新的测试标准。

本实用新型虽然已以较佳实施例公开如上，但其并不是用来限定本实用新型，任何本领域技术人员在不脱离本实用新型的精神和范围内，都可以利用上述揭示的方法和技术内容对本实用新型技术方案做出可能的变动和修改，因此，凡是未脱离本实用新型技术方案的内容，依据本实用新型的技术实质对以上实施例所作的任何简单修改、等同变化及修饰，均属于本实用新型技术方案的保护范围。

Claims (15)

1.一种真空测试夹具，其特征在于，包括：

夹具座；盖体，盖设于所述夹具座上；底座，用于承载所述夹具座；

所述夹具座包括：板体，位于所述板体上的第一测试区，贯穿所述板体的第一真空通道，所述第一测试区用于承载测试产品，且所述第一测试区中包括针孔；

所述盖体包括：具有弹性的第一环形密封部，盖设于所述第一环形密封部上的盖部，位于所述盖部相对侧的密封板，位于所述第一环形密封部的内环和外环之间的第二真空通道，位于所述第一环形密封部的内环圈定的区域中的测试模块；所述测试模块具有第一测试针和第二测试针，所述第一测试针用于与测试机电连接，所述第二测试针用于与测试产品电连接，所述第二测试针和所述第一测试针电连接；所述第二真空通道与所述第一真空通道的位置相互连通；所述测试模块与所述盖部固定连接；所述第一环形密封部、所述盖部、所述密封板之间形成第一腔体；

所述底座包括：底板，位于所述底板上具有弹性的第二环形密封部，位于所述底板上、第二环形密封部内环圈定区域中、与所述第一测试区配合的第二测试区，位于所述第二环形密封部的内环和外环之间的第三真空通道；所述夹具座的板体、所述底板、所述第二环形密封部之间形成第二腔体；所述底座还包括真空口，分别与所述第一真空通道、第二真空通道、第三真空通道连通，所述真空口与抽真空装置连接；所述第二测试区中包括第三测试针和针床，在测试产品时，所述针床上的针插入所述针孔与测试产品电连接；所述第三测试针与针床上的针、测试机电连接。

2.如权利要求1所述的真空测试夹具，其特征在于，所述第一环形密封部包括：承载部，与所述承载部连接的环形密封件；所述承载部和所述盖部固定连接。

3.如权利要求2所述的真空测试夹具，其特征在于，所述承载部包括：第一承载部，位于所述第一承载部上方的第二承载部，位于所述第二承载部上方的第三承载部；

所述环形密封件包括：与所述第一承载部连接的第一环形密封件，与所述第二承载部连接的第二环形密封件，与所述第三承载部连接的第三环形密封件；

所述第一环形密封件、第二环形密封件和第三环形密封件的形状相同；

所述第一环形密封件、第二环形密封件、第三环形密封件密封接触；

所述密封板与所述第一环形密封件密封接触，与所述第一承载部固定连接；所述盖部与所述第三环形密封件密封接触。

4.如权利要求3所述的真空测试夹具，其特征在于，所述第一环形密封件、第二环形密封件和第三环形密封件均包括：内环密封件和外环密封件。

5.如权利要求1所述的真空测试夹具，其特征在于，所述测试模块还包括：测试板，位于所述测试板上的定位针，所述第一测试针、第二测试针均位于所述测试板上。

6.如权利要求5所述的真空测试夹具，其特征在于，所述盖部呈板状，所述盖部上设置第一限位件，且所述第一限位件位于所述第一腔体中，在测试模块向测试产品移动时对测试模块的位置进行限位；

所述盖部与所述测试板固定连接。

7.如权利要求5所述的真空测试夹具，其特征在于，所述夹具座还包括：测试孔和第一定位孔，所述测试孔和第一定位孔贯穿所述板体，所述测试孔与所述第一测试针配合，所述第一定位孔与所述定位针配合。

8.如权利要求2所述的真空测试夹具，其特征在于，所述盖体还包括：两侧开口的框形支撑部，所述第一环形密封部位于所述框形支撑部内，所述密封板与所述框形支撑部连接。

9.如权利要求8所述的真空测试夹具，其特征在于，所述框形支撑部和所述板体之间可活动连接。

10.如权利要求1所述的真空测试夹具，其特征在于，所述底座还包括：框体，所述底板位于所述框体内。

11.如权利要求1所述的真空测试夹具，其特征在于，所述第三真空通道的数量为偶数，且该偶数个第三真空通道呈对称分布。

12.如权利要求11所述的真空测试夹具，其特征在于，所述底板内具有第四真空通道，与所述真空口连通；

所述第三真空通道的数量为两个，其中一个第三真空通道与真空口上下位置重叠相通，另一个第三真空通道通过所述第四真空通道与所述真空口连通；

所述底板上还具有第五真空通道，与所述第一真空通道、第二真空通道位置对应连通，且与所述第四真空通道连通。

13.如权利要求1所述的真空测试夹具，其特征在于，所述底座还包括：位于所述底板上的第二限位件，且所述第二限位件的高度小于所述第二环形密封部的高度。

14.如权利要求7所述的真空测试夹具，其特征在于，所述底座还包括：位于所述底板的第二定位孔，与所述第一定位孔的位置对应，所述定位针插入所述第一定位孔、第二定位孔。

15.如权利要求1所述的真空测试夹具，其特征在于，所述底座还包括：位于所述底板上的多个弹性件，且位于第二腔体中，所述多个弹性件均匀分布。

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