CN202479195U - 气体泄漏时防扩散装置 - Google Patents
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Abstract
本实用新型涉及一种气体泄漏时防扩散装置，包括：底座，所述底座内具有一气体通道，所述气体通道围成一封闭形状，所述底座上设有至少一进气孔，所述底座的上表面设有若干出气孔，所述进气孔和出气孔与所述气体通道相连通；保护罩，位于底座上方且呈倒漏斗形，所述保护罩的下开口尺寸大于所述底座的尺寸，所述保护罩上设有有害气体处理装置和抽风装置。本实用新型采用底座上向上的气流形成一圈气墙来阻止泄漏气体的扩散并通过保护罩上的抽气装置和有害气体处理装置及时排除有害气体，避免由于气体的泄漏造成人身或安全事故。所述气体泄漏时防扩散装置结构简单，成本低。
Description
技术领域
本实用新型涉及半导体领域，特别涉及一种气体泄漏时防扩散装置。
背景技术
伴随集成电路制造工艺的不断进步，半导体器件制造所需要的工艺气体也更加的多样，但是绝大部分的工艺气体都具有高腐蚀性和可燃性，一旦泄漏扩散后果不堪设想，由于设备故障或设备老化引起的气体泄漏的安全事件屡有发生，所以如何在这些有毒有害的气体未危及人体或未造成安全事故时及时排除以防止扩散来减少事故造成的损失是业界亟待解决的一个技术问题。
目前的气体都是由供气端输入进入气体箱(gas box)进行处理，处理后的气体通过管路供给各个设备端。其中气体箱为密闭的空间，顶端有排风系统，但是从气体箱到设备端的管路是没有保护措施的，接头处一般用快速接头或衬圈(gas ket)连接，若是没有拧紧接头或管路老化出现漏点，气体就会泄漏扩散危及人体造成安全事故。气体泄漏时如何防扩散且处理掉有害气体变得十分必要。
实用新型内容
本实用新型的目的是提供一种气体泄漏时防扩散的装置，以防止有害气体泄漏扩散危及人体及发生事故。
本实用新型的技术解决方案是一种气体泄漏时防扩散装置，包括：
底座，所述底座内具有一气体通道，所述气体通道围成一封闭形状，所述底座上设有至少一进气孔，所述底座的上表面设有若干出气孔，所述进气孔和出气孔与所述气体通道相连通；
保护罩，位于底座上方且呈倒漏斗形，所述保护罩的下开口尺寸大于所述底座的尺寸，所述保护罩上设有有害气体处理装置和抽风装置。
作为优选：所述底座上的进气孔连接已进气管，进气管上设有调节阀。
作为优选：所述调节阀的气压量程为0-160psi。
作为优选：所述保护罩的顶端通过已排风管与所述有害气体处理装置相连，所述有害气体处理装置另一端与所述抽风装置相连。
作为优选：所述抽风装置采用风机。
作为优选：所述底座的材料为不锈钢。
作为优选：所述保护罩的材料为有机玻璃。
作为优选：所述排风管的材料为有机玻璃。
作为优选：所述有害气体处理装置采用活性炭吸附装置。
作为优选：所述有害气体处理装置采用燃烧处理装置。
与现有技术相比，本实用新型采用底座上向上的气流形成一圈气墙来阻止泄漏气体的扩散并通过保护罩上的抽气装置和有害气体处理装置及时排除有害气体，避免由于气体的泄漏造成人身或安全事故。所述气体泄漏时防扩散装置结构简单，成本低。
附图说明
图1是本实用新型气体泄漏时防扩散装置的结构示意图。
图2是图1的A-A剖视示意图。
图3a-3b为两组气体通道和出气孔的结构示意图。
具体实施方式
本实用新型下面将结合附图作进一步详述：
在下面的描述中阐述了很多具体细节以便于充分理解本实用新型。但是本实用新型能够以很多不同于在此描述的其它方式来实施，本领域技术人员可以在不违背本实用新型内涵的情况下做类似推广，因此本实用新型不受下面公开的具体实施的限制。
其次，本实用新型利用示意图进行详细描述，在详述本实用新型实施例时，为便于说明，表示器件结构的剖面图会不依一般比例作局部放大，而且所述示意图只是实例，其在此不应限制本实用新型保护的范围。此外，在实际制作中应包含长度、宽度及深度的三维空间尺寸。
图1示出了本实用新型的一种气体泄漏时防扩散装置，包括：
底座1，所述底座1内具有一气体通道(图中未示)，所述通道围成一封闭形状，所述底座1上设有进气孔11(见图2)，所述底座1的上表面设有若干出气孔12，所述进气孔11和出气孔12与所述通道相连通；所述底座1上的进气孔11焊接一进气管13，所述进气管13上设有调节阀14，所述调节阀14与进气管13螺纹连接，所述调节阀14的气压量程为0-160psi。所述底座1的材料为不锈钢，如图3a、3b所示，所述底座1内的气体通道可以围成矩形，也可以为环形或其它封闭形状，所述出气孔12的形状可以为圆形、也可以为矩形或其它形状，只要使得当气体从出气孔12喷出时能形成一圈气墙即可。
保护罩2，位于底座1上方呈下大上小两开口的倒漏斗形，所述保护罩的两开口可以为圆形、椭圆形或其它形状，所述保护罩2的下开口24的长宽分别大于底座1的长宽，所述保护罩2上设有有害气体处理装置21和抽风装置22。所述保护罩2的顶端通过排风管23与有害气体处理装置21相连，有害气体处理装置21另一端与抽风装置22相连。所述抽风装置22采用风机，所述保护罩2的材料为有机玻璃，所述排风管23的材料为有机玻璃，所述保护罩2与排风管23热胶连接。所述有害气体处理装置21可采用活性炭吸附装置、燃烧处理装置或其它的处理装置。
下面提供本实用新型的一较佳实施例，所述底座呈矩形，底座上的气体通道呈矩形，所述底座上出气孔12的孔径为10mm，所述出气孔等间隔设置为底座上表面每隔10mm开设一个出气孔12，所述进气管13通入的是压缩空气，所述保护罩2的下开口24的长度和宽度都分别大于底座1的长度和宽度200mm，保护罩2的高度为保护罩2下开口24长度的1/4。
所述气体泄漏时防扩散装置的使用过程如下：将所述气体泄漏时防扩散装置设置在各个需要进行漏气保护的位置处，当发现有泄漏的气体源3时，开启泄漏处的气体泄漏时防扩散装置的调节阀14向底座1通入压缩空气，调节调节阀14在底座1上方形成一圈有效的气墙，防止泄漏的气体向外扩散，再打开保护罩2上的风机22抽气，泄漏的有害气体扩散至气墙且随气墙的向上气流向上进入保护罩2；泄漏的有害气体被吸入排风管23进入有害气体处理装置21进行处理；经过处理后变成无害气体排入大气中。
本实用新型采用底座上向上的气流形成一圈气墙来阻止泄漏气体的扩散并通过保护罩上的抽气装置和有害气体处理装置及时排除有害气体，避免由于气体的泄漏造成人身或安全事故。所述气体泄漏时防扩散装置结构简单，成本低。
以上所述仅为本实用新型的较佳实施例，凡依本实用新型权利要求范围所做的均等变化与修饰，皆应属本实用新型权利要求的涵盖范围。
Claims (10)
1.一种气体泄漏时防扩散装置，其特征在于，包括：
底座，所述底座内具有一气体通道，所述气体通道围成一封闭形状，所述底座上设有至少一进气孔，所述底座的上表面设有若干出气孔，所述进气孔和出气孔与所述气体通道相连通；
保护罩，位于底座上方且呈倒漏斗形，所述保护罩的下开口尺寸大于所述底座的尺寸，所述保护罩上设有有害气体处理装置和抽风装置。
2.根据权利要求1所述的气体泄漏时防扩散装置，其特征在于：所述底座上的进气孔连接一进气管，进气管上设有调节阀。
3.根据权利要求2所述的气体泄漏时防扩散装置，其特征在于：所述调节阀的气压量程为0-160psi。
4.根据权利要求1所述的气体泄漏时防扩散装置，其特征在于：所述保护罩的顶端通过一排风管与所述有害气体处理装置的一端相连，有害气体处理装置的另一端与所述抽风装置相连。
5.根据权利要求4所述的气体泄漏时防扩散装置，其特征在于：所述抽风装置采用风机。
6.根据权利要求1所述的气体泄漏时防扩散装置，其特征在于：所述底座的材料为不锈钢。
7.根据权利要求1所述的气体泄漏时防扩散装置，其特征在于：所述保护罩的材料为有机玻璃。
8.根据权利要求4所述的气体泄漏时防扩散装置，其特征在于：所述排风管的材料为有机玻璃。
9.根据权利要求1所述的气体泄漏时防扩散装置，其特征在于：所述有害气体处理装置采用活性炭吸附装置。
10.根据权利要求1所述的气体泄漏时防扩散装置，其特征在于：所述有害气体处理装置采用燃烧处理装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN2012200663947U CN202479195U (zh) | 2012-02-27 | 2012-02-27 | 气体泄漏时防扩散装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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| CN2012200663947U CN202479195U (zh) | 2012-02-27 | 2012-02-27 | 气体泄漏时防扩散装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| CN202479195U true CN202479195U (zh) | 2012-10-10 |
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ID=46953658
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
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| CN2012200663947U Expired - Lifetime CN202479195U (zh) | 2012-02-27 | 2012-02-27 | 气体泄漏时防扩散装置 |
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| CN (1) | CN202479195U (zh) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN107917338A (zh) * | 2017-11-15 | 2018-04-17 | 天津理工大学 | 一种储罐区人工龙卷风发生装置 |
| CN111156428A (zh) * | 2019-12-30 | 2020-05-15 | 清华大学 | 氢气管路主动安全防护装置及方法 |
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2012
- 2012-02-27 CN CN2012200663947U patent/CN202479195U/zh not_active Expired - Lifetime
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|---|---|---|---|---|
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