CN202465953U - 一种圆弧倒角硅片 - Google Patents
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Abstract
本实用新型涉及一种圆弧倒角硅片，该硅片为矩形，在矩形硅片的四角具有倒角，硅片的倒角的轮廓包括倒角边线和倒角边线两侧的圆弧，倒角边线两侧的圆弧分别与硅片直边和倒角边线相切。本实用新型的有益效果是：1、圆倒角硅片改变晶棒倒角方法，使得晶棒倒角处呈弧形。切割成的硅片不易造成缺角破裂；呈弧形的圆角与工装接触时，避免尖角点接触，减少这种受力集中造成破裂不良。2、圆倒角硅片相对传统倒角改善倒角处结构，可使得硅片单片面积增加约0.1016mm2～1.200mm2。
Description
技术领域
本实用新型涉及一种圆弧倒角硅片。
背景技术
相对圆倒角晶棒加工：目前圆棒单晶硅棒只需要滚圆，不需要倒角；方型硅棒都需要倒45度角，如图1和2所示。
传统机械磨轮倒角加工的硅片，在倒角处存在应力集中点，在后续加工过程中倒角尖角容易与工治具发生碰撞，导致硅片缺角或破裂。
实用新型内容
本实用新型所要解决的技术问题是：提供一种圆弧倒角硅片，减少倒角处因为应力集中而造成破裂。
本实用新型解决其技术问题所采用的技术方案是：一种圆弧倒角硅片，硅片为矩形，在矩形硅片的四角具有倒角，硅片的倒角的轮廓包括倒角边线和倒角边线两侧的圆弧，倒角边线两侧的圆弧分别与硅片直边和倒角边线相切。
圆弧的半径R为300～700um，圆弧的角度θ为30°～90°。
倒角为45°倒角。
圆弧与硅片边线的交点至硅片顶角的距离C为0.35～1.42mm，圆弧与硅片边线的两个交点之间的距离L为05.～2mm，硅片顶角至倒角边线的垂直距离H为0.14～0.8mm。
本实用新型的有益效果是：1、圆倒角硅片改变晶棒倒角方法，使得晶棒倒角处呈弧形。切割成的硅片不易造成缺角破裂；呈弧形的圆角与工装接触时，避免尖角点接触，减少这种受力集中造成破裂不良。2、圆倒角硅片相对传统倒角改善倒角处结构，可使得硅片单片面积增加约0.1016mm2～1.200mm2。
附图说明
下面结合附图对本实用新型进一步说明。
图1是传统硅片倒角处的结构示意图；
图2是本实用新型的硅片倒角处的结构示意图；
其中：1.硅片直边，2.圆弧，3.倒角边线。
具体实施方式
如图2所示，一种圆弧倒角硅片，硅片为矩形，在矩形硅片的四角具有倒角，硅片的倒角的轮廓包括倒角边线3和倒角边线3两侧的圆弧2，倒角边线3两侧的圆弧2分别与硅片直边1和倒角边线3相切。
圆弧2的半径R为300～700um，圆弧2的角度θ为30°～90°。圆弧2与硅片边线1的交点至硅片顶角的距离C为0.35～1.42mm，圆弧2与硅片边线1的两个交点之间的距离L为05.～2mm，硅片顶角至倒角边线3的垂直距离H为0.14～0.8mm。
倒角为45°倒角。
如图1和2所示，当圆弧2与硅片边线1的交点至硅片顶角的距离C与图1中的倒角边长B相同，圆弧2与硅片边线1的两个交点之间的距离L与图1中的倒角线长N相同，图2中的图像填充区域即为采用本方案的圆弧倒角后增加的区域。
Claims (4)
1.一种圆弧倒角硅片，硅片为矩形，在矩形硅片的四角具有倒角，其特征是：所述的硅片的倒角的轮廓包括倒角边线(3)和倒角边线(3)两侧的圆弧(2)，倒角边线(3)两侧的圆弧(2)分别与硅片直边(1)和倒角边线(3)相切。
2.根据权利要求1所述的圆弧倒角硅片，其特征是：所述的圆弧(2)的半径R为300～700um，圆弧(2)的角度θ为30°～90°。
3.根据权利要求1所述的圆弧倒角硅片，其特征是：所述的倒角为45°倒角。
4.根据权利要求1或2或3所述的圆弧倒角硅片，其特征是：所述的圆弧(2)与硅片边线(1)的交点至硅片顶角的距离C为0.35～1.42mm，圆弧(2)与硅片边线(1)的两个交点之间的距离L为05.～2mm，硅片顶角至倒角边线(3)的垂直距离H为0.14～0.8mm。
Priority Applications (1)
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|---|---|---|---|
| CN2011205738381U CN202465953U (zh) | 2011-12-31 | 2011-12-31 | 一种圆弧倒角硅片 |
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| CN2011205738381U CN202465953U (zh) | 2011-12-31 | 2011-12-31 | 一种圆弧倒角硅片 |
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| CN202465953U true CN202465953U (zh) | 2012-10-03 |
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Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| CN (1) | CN202465953U (zh) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN106112835A (zh) * | 2016-07-22 | 2016-11-16 | 成都贝瑞光电科技股份有限公司 | 一种圆边倒角工艺方法 |
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2011
- 2011-12-31 CN CN2011205738381U patent/CN202465953U/zh not_active Expired - Fee Related
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| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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| CN106112835A (zh) * | 2016-07-22 | 2016-11-16 | 成都贝瑞光电科技股份有限公司 | 一种圆边倒角工艺方法 |
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