CN202400967U - 一种玻璃镀膜仓溅射室的综合供气管道 - Google Patents
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Abstract
本实用新型公开了一种玻璃镀膜仓溅射室的综合供气管道，包括第一进气管道、第二进气管道、第三进气管道、主供气管道和三个以上分供气管道，所述第一进气管道、第二进气管道和第三进气管道分别与主供气管道连通；所述分供气管道的一端与主供气管道连通，另一端设置有两个连通所述玻璃镀膜仓溅射室的出气口。采用本实用新型可同时为溅射室提供三种不同的气体，还可以通过在进气管道上设置控制阀和流量监控器来精确控制所供气体的流量。
Description
技术领域
本实用新型涉及一种玻璃镀膜仓溅射室的供气管道，尤其涉及的是一种玻璃镀膜仓溅射室的综合供气管道。
背景技术
在玻璃镀膜的生产线上的溅射室中，由于磁场分布不均等原因，经常出现靶材的溅射率在溅射室中分布不均的情形，需要通过调整供气量对靶材的溅射率的均匀性进行调节。如在溅射室中增加惰性气体氩气可以加快溅射速率，增加反应气体氧气或者氮气则会降低溅射速率。现有的玻璃镀膜仓溅射室的供气管道通常只有一个进气口，所以一个供气管道在同一时刻只能提供一种气体，供气方式单一，无法根据镀膜的需要配制不同比例的混合气体提供给溅射室。
因此，现有技术还有待于改进和发展。
实用新型内容
本实用新型的目的在于提供一种玻璃镀膜仓溅射室的综合供气管道，以解决上述现有技术中供气管道供气方式单一的技术问题。
本实用新型的技术方案如下：
一种玻璃镀膜仓溅射室的综合供气管道，包括第一进气管道、第二进气管道、第三进气管道、主供气管道和三个以上分供气管道，所述第一进气管道、第二进气管道和第三进气管道分别与主供气管道连通；所述分供气管道的一端与主供气管道连通，另一端设置有两个连通所述玻璃镀膜仓溅射室的出气口。
所述的玻璃镀膜仓溅射室的综合供气管道，其中，所述第一进气管道、第二进气管道和第三进气管道上分别设置有控制阀。
所述的玻璃镀膜仓溅射室的综合供气管道，其中，所述第一进气管道、第二进气管道和第三进气管道上分别设置有流量监控器。
本实用新型通过在玻璃镀膜仓溅射室的供气管道上的主供气管道的进气端设置三个相互独立的进气管道，使得该供气管道能同时提供不同种类的气体，并且，本实用新型还在每个进气管道上都设置有控制阀和流量监控器，以准确的控制供气的流量，准确配比所供混合气体的比例。所以本实用新型一改以往供气管道供气方式单一的缺陷，实现了多方式供气，还可精确控制所供气体的流量。
附图说明
图1是本实用新型中玻璃镀膜仓溅射室的综合供气管道的结构示意图。
具体实施方式
为使本实用新型的目的、技术方案及优点更加清楚、明确，以下参照附图并举实施例对本实用新型进一步详细说明。
本实施例提供一种玻璃镀膜仓溅射室综合供气管道的结构示意图，如图1所示，包括主供气管道1、分供气管道2、溅射室4，分供气管道2与主供气管道1连通，每支分供气管道2的末端设置有两个出气口3，出气口3与溅射室4连通。
在主供气管道1的进气端设置有三个进气管道分别为第一进气管道5、第二进气管道6和第三进气管道7。每个进气管道上还分别设置有控制阀8和流量监控器9。在镀膜过程中，氮气、氧气和氩气可分别从进气管道5、进气管道6和进气管道7中进入主供气管道1，再经分供气管道2、出气口3到达溅射室内。另外，还可以通过流量监控器9和控制阀8控制不同气体的流量，达到精准供气的效果。
由上述实施例可以看出，本实用新型提供的玻璃镀膜仓溅射室的综合供气管道，既可以像传统的供气管道一样只提供单一的一种气体，也可以同时为溅射室提供不同的三种常用气体，改变了以往的单一供气模式，实现了一个供气管道多用的目的，而且各种气体的供气量还可以根据需要自行设定。
应当理解的是，本实用新型的应用不限于上述的举例，对本领域普通技术人员来说，可以根据上述说明加以改进或变换，例如，进气管道可以设置为三个以上、一个分供气管道也可以只设置一个出气口等，所有这些改进和变换都应属于本实用新型所附权利要求的保护范围。
Claims (3)
1.一种玻璃镀膜仓溅射室的综合供气管道，其特征在于，包括第一进气管道、第二进气管道、第三进气管道、主供气管道和三个以上分供气管道，所述第一进气管道、第二进气管道和第三进气管道分别与主供气管道连通；所述分供气管道的一端与主供气管道连通，另一端设置有两个连通所述玻璃镀膜仓溅射室的出气口。
2.根据权利要求1所述的玻璃镀膜仓溅射室的综合供气管道，其特征在于，所述第一进气管道、第二进气管道和第三进气管道上分别设置有控制阀。
3.根据权利要求1所述的玻璃镀膜仓溅射室的综合供气管道，其特征在于，所述第一进气管道、第二进气管道和第三进气管道上分别设置有流量监控器。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN2011205257593U CN202400967U (zh) | 2011-12-15 | 2011-12-15 | 一种玻璃镀膜仓溅射室的综合供气管道 |
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| CN2011205257593U CN202400967U (zh) | 2011-12-15 | 2011-12-15 | 一种玻璃镀膜仓溅射室的综合供气管道 |
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Family
ID=46698630
Family Applications (1)
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|---|---|---|---|
| CN2011205257593U Expired - Fee Related CN202400967U (zh) | 2011-12-15 | 2011-12-15 | 一种玻璃镀膜仓溅射室的综合供气管道 |
Country Status (1)
| Country | Link |
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| CN (1) | CN202400967U (zh) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN105928575A (zh) * | 2016-04-19 | 2016-09-07 | 成都瑞途电子有限公司 | 一种还原炉流量监控装置 |
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2011
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| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN105928575A (zh) * | 2016-04-19 | 2016-09-07 | 成都瑞途电子有限公司 | 一种还原炉流量监控装置 |
| CN105928575B (zh) * | 2016-04-19 | 2019-03-19 | 成都瑞途电子有限公司 | 一种还原炉流量监控装置 |
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