CN202396077U - 电浆源设备的升降式天线调整结构 - Google Patents
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Abstract
本实用新型公开了一种电浆源设备的升降式天线调整结构，该天线调整结构设于一既有感应式耦合电浆源设备所设的基座上，所述的天线调整结构包括设于基座顶端的固定基板；至少两个环圈状天线单元，该环圈状天线单元包括至少一天线单体，该天线单体具有缺口部以及一电性输入端、一接地端；设置于天线单体缺口部的电性连接部，该电性连接部顶端组设于固定基板；天线升降调控组件，通过螺合调整构件组设于固定基板的预定位置，控制各独立天线单体的高低升降状态；利用调整该天线升降调控组件来控制该天线单体的独立高低升降状态来控制电浆源强弱，提升天线调整控制的方便性，进而能够精准调整制备成品表面处理均匀度，降低成品不良率，节省制造成本。
Description
技术领域
本实用新型涉及一电浆源设备的升降式天线调整结构，特别是指能够独立调整天线单元的高低以控制电浆源强弱的天线调整结构。
背景技术
按，电浆设备使用于制造加工产业中已有相当时间，业界为了满足使用上的需求，在此专业领域仍是陆续研发出各种类型电浆设备以符合市场上需求，近年电浆设备产品及种类已有日益增加的趋势。
而本实用新型所欲针对者，即是针对电浆设备的天线调整装置结构加以探讨改良；习知电浆设备通常通过真空电浆反应器上设置一介电窗，利用介电窗与电浆设备所设的天线装置感应，使真空室内的真空气体解离产生电浆源；市面上电浆设备结构设计上虽有多种型态，但综观而论，其电浆设备的天线调整装置设计上仍旧存在天线调整控制方便性不佳的问题，以及难以精准调整制备成品表面处理的均匀度，进而影响加工质量、导致成品不良率提高，增加制造成本的问题与缺憾，因此，电浆设备的天线调整装置目前仍有相当大的改良突破空间存在。
发明内容
针对现有技术存在的缺陷和不足，本实用新型的主要目的在于提供一种电浆源设备的升降式天线调整结构；
为达到上述目的，本实用新型采用以下技术方案：
本实用新型解决问题的技术特点，主要系通过一天线调整结构，系设于一既有感应式耦合电浆源设备所设的基座上，该电浆源设备系包括有一介电窗、一射频电源匹配单元以及能够提供气体的一气体输入单元；所述的天线调整结构包括：固定基板，系通过至少两个连接件设置于电浆源设备基座的顶端，且与该基座呈间隔相对的型态；至少两个环圈状天线单元，呈内外间隔配置组设于该电浆源设备的基座，该环圈状天线单元包括至少一天线单体，各独立天线单体均具有缺口部，该缺口部一端系与一电性输入端相连接，又该缺口部另一端系与一接地端相连接；电性连接部，呈间隔分开的型态，该电性连接部底端系组接于天线单体的缺口部二端，又该电性连接部的顶端系组设于固定基板；天线升降调控组件，呈分布状组设于各独立天线单体，且该天线升降调控组件顶端系通过螺合调整构件组设于固定基板的预定位置，又该螺合调整构件系包括至少二螺帽以及螺栓所构成，各独立螺帽系分别组设固定基板的顶、底端；藉此，俾可利用调整该天线升降调控组件的螺栓来控制该环圈状天线单元各天线单体的独立高低升降状态，进而控制制备成品表面加工的电浆源强度；藉此创新独特设计，使本实用新型对照先前技术而言，可达到提升天线调整控制的方便性，且能够精准调整制备成品表面处理均匀度，进而降低成品不良率，节省制造成本的产业实用进步性。
附图说明
图1为本实用新型天线调整结构组设于电浆源设备的立体示意图。
图2为本实用新型天线升降调控组件一端组设于固定基板的局部示意图。
图3为本实用新型天线升降调控组件零组件局部放大示意图。
图4为本实用新型天线调整结构整体构件的立体图。
图5为本实用新型环圈状天线单元调整升降高度的动作示意图。
图6为本实用新型第一连接件组接于电性连接部的状态示意图。
图7为本实用新型环圈状天线单元与天线单体电性链接的电路示意图。
具体实施方式
请参阅图1至4，本实用新型电浆源设备的升降式天线调整结构05设于一既有感应式耦合电浆源设备10所设的基座11上，该电浆源设备10包括有一介电窗12、一射频电源匹配单元13以及够提供气体的一气体输入单元16；所述的天线调整结构05包括：
固定基板20，通过至少两个连接件21设置于电浆源设备10基座11的顶端，且与该基座11呈间隔相对的型态，固定基板20材质以金属、硬质塑料为佳，但不限定于此种型态；
至少两个环圈状天线单元30，呈内外间隔配置组设于电浆源设备10的基座11，环圈状天线单元30包括至少一天线单体31，且其中至少一环圈状天线单元30可由至少两个天线单体31所构成，此如图4、7所示，为本实施例各环圈状天线单元30分别包含有二、三及五组天线单体31的型态，且各独立天线单体31均具有缺口部32(如图4、6所示)，缺口部32一端与一电性输入端33相连接，另一端与一接地端34相连接，其中环圈状天线单元30可为圆形、方形、多边型任其中一种型态；
电性连接部40，呈间隔分开的型态，电性连接部40底端组接于天线单体31的缺口部32二端，电性连接部40的顶端组设于固定基板20。其中电性连接部40内部为中空型态，与天线单体31内部相连通，其中电性连接部40以金属等导电材质为佳；
天线升降调控组件50，呈排列状组设于各独立天线单体31的预定位置，天线单体31分布有至少二天线升降调控组件50(如图4所示，为本实用新型分布有三天线升降调控组件50的实施例)，且天线升降调控组件50顶端通过螺合调整构件51组设于于固定基板20，该螺合调整构件51包括至少二螺帽52以及螺栓53所构成，各独立螺帽52分别组设固定基板20的顶、底端(如图5所示)，通过调整螺合调整构件51的螺栓53，以使各独立天线单体31能作高低升降的动作，藉此能够分别控制各独立天线单体31的高低升降状态；
通过上述的结构、组成设计，兹就本实用新型的使用作动情形说明如下：
请配合参考图1至5，首先将工件放置于电浆源设备10所预设的一真空室14中，此时通过调整天线升降调控组件50以使各独立天线单体31的高低位置达到定位，后启动电浆源设备10进行工件加工作业(本实施例未表示工件加工过程状态)，利用气体通过介电窗12与电浆设备10所设的天线调整结构05，使进入真空室14内的气体解离产生电浆，以对工件进行所谓蚀刻、镀膜、清洁或沉积等加工动作，而电性连接部40与天线单体31内部容设有冷却液，通过电浆源设备10所设的一冷却单元15以使循环于电性连接部40与天线单体31内部的冷却液降温，当加工完毕后，操作者可视工件完成状态，若需加强或减弱电浆源强度，即可调整螺合调整构件51的螺栓53以使天线单体31高低状态达到所需位置，藉此达到精准控制制备成品表面处理的均匀度的功效。
如图6所示，环圈状天线单元30中所设相邻天线单体31的电性连接部40还设有呈可拆卸、组装型态的第一连接件60，以令各天线单体31之间能够组装呈电性连结或拆卸呈断电的状态，通过拆卸或组装第一连接件60来控制各独立天线单体31电性分布环圈数，进而控制电浆分布状态。
如图4、6所示，至少二环圈状天线单元30的一端组接有一第二连接构件70来达成电性连结状态(本实施例为三组环圈状天线单元30的电性链接状态)，第二连接构件70包括有与电性输入端33相连接的连接端71以及组接各连接端71的控制端72，通过调整第二连接构件70连接端71的电性输入端33，以改变各该环圈状天线单元30之间呈电性连结状态或断开状态，进而控制电浆源加强或减弱。
如图7所示，为本实用新型环圈状天线单元30电性连接的电路示意，通过将二、三或五独立天线单体31电性连结后，即构成一环圈状天线单元30，然后可通过第二连接构件70使各环圈状天线单元30达成电性连结状态。
功效说明：
本实用新型功效增进的事实如下：
本实用新型电浆源设备的升降式天线调整结构主要通过调整组设于各独立天线单体的天线升降调控组件以改变天线单体高低位置状态的创新结构型态设计，使本实用新型对照【先前技术】而言，可通过调整该天线升降调控组件的螺合调整构件的螺栓来控制环圈状天线单元各天线单体的独立高低升降状态，进而控制制备成品表面加工的电浆源强度，以达到提升天线调整控制的方便性，且能够精准调整制备成品表面处理均匀度，进而降低成品不良率，节省制造成本的实用进步性。
以上所述，仅为本发明的具体实施方式，但本发明的保护范围并不局限于此，任何熟悉本技术领域的技术人员在本发明揭露的技术范围内，可轻易想到变化或替换，都应涵盖在本发明的保护范围之内。因此，本发明的保护范围应以所述权利要求的保护范围为准。
Claims (5)
1.一种电浆源设备的升降式天线调整结构，该天线调整结构设于一既有感应式耦合电浆源设备所设的基座上，该电浆源设备包括有一介电窗、一射频电源匹配单元、以及能够提供气体的一气体输入单元；所述的天线调整结构包括：
固定基板，通过至少两个连接件设置于电浆源设备基座的顶端，且与基座呈间隔相对的型态；
至少两个环圈状天线单元，呈内外间隔配置组设于电浆源设备的基座，环圈状天线单元包括至少一天线单体；天线单体具有缺口部，该缺口部一端与一电性输入端相连接，另一端与一接地端相连接；
电性连接部，呈间隔分开的型态，该电性连接部底端组接于天线单体的缺口部二端，顶端组设于固定基板；
天线升降调控组件，呈分布状组设于各独立天线单体，且该天线升降调控组件顶端通过螺合调整构件组设于固定基板的预定位置，通过调整天线升降调控组件能够分别控制各独立天线单体的高低升降状态；
利用调整该天线升降调控组件的螺合调整构件，以控制环圈状天线单元各天线单体的独立高低升降状态，进而控制制备成品表面加工的电浆源强度，以达到精准调整制备成品表面处理均匀度。
2.根据权利要求1所述的电浆源设备的升降式天线调整结构，其特征在于，所述环圈状天线单元的各天线单体平均组设分布有至少二天线升降调控组件；该天线升降调控组件的螺合调整构件包括至少二螺帽以及螺栓所构成，螺帽组设固定基板的顶、底端，通过调整该螺合调整构件的螺栓，以使各独立天线单体能作高低升降的动作。
3.根据权利要求1或2所述的电浆源设备的升降式天线调整结构，其特征在于，至少一环圈状天线单元由至少两个天线单体所构成，且该环圈状天线单元所设相邻天线单体电性连接部更设有呈可拆卸、组装形态的第一连接件，该第一连接件包括能与电性连接部相互套合的套合部以及提供该第一连接件套合状态固定限位的限位部，藉以使各天线单体之间能够呈电性连结状态或断电状态；至少二环圈状天线单元的一端还设有第二连接构件，藉以使各环圈状天线单元间达到电性链接状态，该第二连接构件包括有与电性输入端相连接的连接端以及组接各连接端的控制端。
4.根据权利要求1或2所述的电浆源设备的升降式天线调整结构，其特征在于，所述环圈状天线单元可由三组所构成，且各组环圈状天线单元分别包含有二、三及五组天线单体；又该三组环状天线单元通过第二连接构件形成电性连结状态。
5.根据权利要求1或2所述的电浆源设备的升降式天线调整结构，其特征在于，所述环圈状天线单元为圆形、方形、多边型任其中一种型态。
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