CN202346776U - 一种三氯氢硅合成湿法除尘装置 - Google Patents
一种三氯氢硅合成湿法除尘装置 Download PDFInfo
- Publication number
- CN202346776U CN202346776U CN2011205053685U CN201120505368U CN202346776U CN 202346776 U CN202346776 U CN 202346776U CN 2011205053685 U CN2011205053685 U CN 2011205053685U CN 201120505368 U CN201120505368 U CN 201120505368U CN 202346776 U CN202346776 U CN 202346776U
- Authority
- CN
- China
- Prior art keywords
- trichlorosilane
- dust collection
- wet dust
- still
- wet dedusting
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Fee Related
Links
Images
Landscapes
- Treating Waste Gases (AREA)
- Separation Of Particles Using Liquids (AREA)
Abstract
一种三氯氢硅合成湿法除尘装置，包括湿法除尘釜，所述湿法除尘釜中部连接三氯氢硅合成气体输入管，湿法除尘釜底部连接沉淀罐，湿法除尘釜下端经料液泵连接水冷却器，水冷却器出口连接湿法除尘釜顶端，所述湿法除尘釜顶端设有三氯氢硅气体输出管。能有效的将大部分杂质进行分离，防止三氯氢硅生产系统堵塞。具有结构简单、成本低的特点，且维护方便。
Description
技术领域
本实用新型涉及一种三氯氢硅合成湿法除尘装置。
背景技术
三氯氢硅是多晶硅生产系统的重要原料，在三氯氢硅的合成环节中，因为原材料硅粉，氯气和氢气中带有水份，会伴随着三氯氢硅的合成而产生二氧化硅等固体物质，这些物质会缓慢的在管道和设备中沉积下来，会严重堵塞管道和设备。
目前普遍采用的杂质处理方法是在三氯氢硅合成炉之后增加一套湿法除尘系统，利用四氯化硅喷淋液体对三氯氢硅合成气进行喷淋，将合成气中的硅氯高聚物、硅渣等洗涤下来，同时，合成气中的三氯化铝还会溶解在四氯化硅喷淋液中，使湿法除尘系统处理后的合成气中含有的杂质减少，避免了合成气后续处理系统堵塞。湿法除尘后的喷淋液再通过精馏纯化，将所携带的硅氯高聚物、硅渣以及溶解的三氯化铝等杂质进行浓缩分离，并以釜液的形式排出废液废渣处理系统，进行无害化处理，分离后的喷淋液又循环进湿法除尘系统进行喷淋。
然而，由于喷淋液精馏纯化系统设备过于复杂和庞大，处理能力有限，釜液中杂质浓度较低时，会造成大量四氯化硅浪费，加重了废液废渣处理系统的处理量，会使多晶硅生产的物耗增加，增加了生产成本；釜液中杂质含量较高时，杂质依然会导致釜液排放管道、再沸器堵塞，进而堵塞整个喷淋液精馏纯化系统。硅氯高聚物、硅渣以及三氯化铝等杂质所形成的混合物，其化学性质非常活泼，一旦接触空气就会发生燃烧或爆炸，在处理湿法除尘后喷淋液精馏纯化系统堵塞时，存在着极大的危险性。
实用新型内容
本实用新型其目的就在于提供一种三氯氢硅合成湿法除尘装置，能有效的将大部分杂质进行分离，防止三氯氢硅生产系统堵塞。具有结构简单、成本低的特点，且维护方便。
实现上述目的而采取的技术方案，包括湿法除尘釜，所述湿法除尘釜中部连接三氯氢硅合成气体输入管，湿法除尘釜底部连接沉淀罐，湿法除尘釜下端经料液泵连接水冷却器，水冷却器出口连接湿法除尘釜顶端，所述湿法除尘釜顶端设有三氯氢硅气体输出管。
与现有技术相比本实用新型具有以下优点。
本实用新型构思巧妙、成本低廉，能有效的将大部分杂质进行分离，防止三氯氢硅合成湿法除尘喷淋液精馏纯化系统堵塞，具有结构简单、成本低的特点，且维护方便。
附图说明
下面结合附图对本实用新型作进一步详述。
附图为本装置结构原理示意图。
图中：l三氯氢硅合成气体输入管、2湿法除尘釜、3水冷却器、4料液泵、5沉淀罐、6三氯氢硅气体输出管。
具体实施方式
本装置包括湿法除尘釜2，如附图所示，所述湿法除尘釜2中部连接三
氯氢硅合成气体输入管1，湿法除尘釜2底部连接沉淀罐5，湿法除尘釜2下端经料液泵4连接水冷却器3，水冷却器3出口连接湿法除尘釜2顶端，所述湿法除尘釜2顶端设有三氯氢硅气体输出管6。
实施例，如附图所示，包括湿法除尘釜2、水冷却器3和沉淀罐5，所述湿法除尘釜2的中部连接三氯氢硅合成气体输入管1，三氯氢硅合成气体进入湿法除尘釜2后向上流动，由湿法除尘釜中的冷却的部分三氯氢硅液体由料液泵4输送至水冷却器3将料液进一步冷却后输送至湿法除尘釜的顶部进行向下喷淋，将进入湿除尘气体中含的二氧化硅等固体通过喷淋沉降至湿法除尘釜底部的锥形釜底。二氧化硅等固体经过沉降以后定期将固体排放至沉淀罐5中进行沉淀后进一步处理。
工作原理
三氯氢硅合成气体输送至湿法除尘釜中部进入湿法除尘釜，沿着釜内填料的空隙向上流动，水冷却器中输送至湿法除尘釜顶部向下喷淋，沿着釜内填料向下流动，喷淋的三氯氢硅液体将三氯氢硅合成气体中夹带的固体二氧化硅带入湿法除尘釜的锥形釜底经沉淀后定期将固体排放至沉淀罐进行沉淀。同时湿法除尘釜锥形釜底上部的三氯氢硅清洁液体经料液泵输送至水冷却器进行冷却后再次输送回湿法除尘进行喷淋，这样循环使用保证其三氯氢硅合成气体排出湿法除尘釜的气体已经去除二氧化硅等固体的三氯氢硅气体输送至生产系统。沉淀罐中的固液物料经沉淀后将进行进一步处理。
本装置去除了三氯氢硅合成气体中的固体杂质，保证了三氯氢硅在进入后续生产系统中的顺利输送，避免了由于二氧化硅等固体在后续生产管道流通时因为堵塞而造成系统危险性增加，以及在管道堵塞后造成大的维修工程。本装置能有效的去除了三氯氢硅合成气体中的固体杂质，并保证了其正常的输送量，保证生产产量不受除尘的影响。同时收集的二氧化硅等固体在进一步的处理后保证其环保和经济效益。
Claims (1)
1.一种三氯氢硅合成湿法除尘装置，包括湿法除尘釜（2），其特征在于，所述湿法除尘釜（2）中部连接三氯氢硅合成气体输入管（1），湿法除尘釜（2）底部连接沉淀罐（5），湿法除尘釜（2）下端经料液泵（4）连接水冷却器（3），水冷却器（3）出口连接湿法除尘釜（2）顶端，所述湿法除尘釜（2）顶端设有三氯氢硅气体输出管（6）。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN2011205053685U CN202346776U (zh) | 2011-12-07 | 2011-12-07 | 一种三氯氢硅合成湿法除尘装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN2011205053685U CN202346776U (zh) | 2011-12-07 | 2011-12-07 | 一种三氯氢硅合成湿法除尘装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| CN202346776U true CN202346776U (zh) | 2012-07-25 |
Family
ID=46535793
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| CN2011205053685U Expired - Fee Related CN202346776U (zh) | 2011-12-07 | 2011-12-07 | 一种三氯氢硅合成湿法除尘装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| CN (1) | CN202346776U (zh) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN106744983A (zh) * | 2016-11-28 | 2017-05-31 | 内蒙古盾安光伏科技有限公司 | 多晶硅生产的渣浆处理系统 |
-
2011
- 2011-12-07 CN CN2011205053685U patent/CN202346776U/zh not_active Expired - Fee Related
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN106744983A (zh) * | 2016-11-28 | 2017-05-31 | 内蒙古盾安光伏科技有限公司 | 多晶硅生产的渣浆处理系统 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| CN102580431A (zh) | 烟气除尘、脱硫一体化工艺 | |
| CN207468403U (zh) | 一种分级式环保工程用污水处理器 | |
| CN208279430U (zh) | 一种高效气浮处理含油废水装置 | |
| CN202346776U (zh) | 一种三氯氢硅合成湿法除尘装置 | |
| CN108862811A (zh) | 一种小型污水处理装置 | |
| CN110723866A (zh) | 一种垃圾渗滤液高效厌氧反应器装置 | |
| CN202135592U (zh) | 一种带有水处理装置的鱼缸 | |
| CN207913468U (zh) | 一种氟硅酸浓缩过程中的尾气回收装置 | |
| CN209397047U (zh) | 一种煤化工废水去除废气杂物的装置 | |
| CN103408089A (zh) | 一种气浮装置 | |
| CN202590565U (zh) | 一种烟气制酸净化设备 | |
| CN202516455U (zh) | 三氯氢硅合成气除尘系统 | |
| CN211612109U (zh) | 一种空气净化除尘装置 | |
| CN202808521U (zh) | 高效沉浮分离器 | |
| CN104289094A (zh) | 一种废气过滤净化装置 | |
| CN202415214U (zh) | 气浮式悬浮物处理系统 | |
| CN202297274U (zh) | 一种利用化学方法处理污水中悬浮油渣的装置 | |
| CN108178362B (zh) | 一种石灰石石膏法脱硫废水零排放处理方法及系统 | |
| CN109231617A (zh) | 一种煤化工废水去除废气杂物的装置 | |
| CN205528048U (zh) | 超低排放湿式电除尘废水浓缩液处理系统 | |
| CN200955023Y (zh) | 高效污水处理机 | |
| CN1883769A (zh) | 一种含氯废气的净化方法及其装置 | |
| CN219136440U (zh) | 一种污酸净化系统中的吸附装置 | |
| CN109179916A (zh) | 一种工业废水处理装置 | |
| CN209583805U (zh) | 一种异丁烯杂质分离纯化装置 |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| C14 | Grant of patent or utility model | ||
| GR01 | Patent grant | ||
| C56 | Change in the name or address of the patentee |
Owner name: JIANGXI CHENGUANG NEW MATERIAL CO., LTD. Free format text: FORMER NAME: NOBEL (JIUJIANG) HIGH-TECH MATERIAL CO., LTD. |
|
| CP01 | Change in the name or title of a patent holder |
Address after: 332500 Hukou County, Jiangxi province Jinsha Bay Industrial Park Patentee after: JIANGXI CHENGUANG NEW MATERIAL CO., LTD. Address before: 332500 Hukou County, Jiangxi province Jinsha Bay Industrial Park Patentee before: Nobel (Jiujiang) hi tech Material Co., Ltd. |
|
| CF01 | Termination of patent right due to non-payment of annual fee |
Granted publication date: 20120725 Termination date: 20141207 |
|
| EXPY | Termination of patent right or utility model |