CN202297855U - 一种用于单晶炉石墨热场的拆炉装置 - Google Patents

Abstract

本实用新型涉及一种用于单晶炉石墨热场的拆炉装置，具有吊装小车，吊装小车上具有快速接头和吊装摇动杆，快速接头和吊装摇动杆通过吊装线连接，吊装线绕在固定于吊装小车支架上的滑轮，还具有能与快速接头配合连接的拆卸器，拆卸器为三瓣埚拆卸器、导流筒拆卸器、三瓣埚托盘拆卸器或加热器拆卸器。本实用新型采用机械提取高温石墨热场件，节约时间，减少人力作业，安全防护；可通过调节各夹具的夹爪的张开度或控制托起部旋转的操作柄，适应各单晶炉石墨热场的拆卸，操作简单方便；吊装小车上采用定滑轮，并可通过操作柄对各夹具进行操作，提高了拆卸效率。

Description

一种用于单晶炉石墨热场的拆炉装置

技术领域

本实用新型涉及单晶硅制造领域，特别涉及一种用于单晶炉石墨热场的拆炉装置。

背景技术

硅单晶体作为一种半导体材料，一般用于制造集成电路和其它电子元件。大部分的半导体硅单晶体采用直拉法制造，一般采用如下制造方法：多晶硅被装进石英坩埚内，加热熔化，然后，将熔硅略做降温，给予一定的过冷度，把特定晶向的硅单晶体(称作籽晶)装入硅籽晶夹持器中，将籽晶夹持器的上端通过连接件与籽晶轴连接，籽晶固定于夹持器的下端，并且使籽晶与硅熔体接触，通过调整熔体的温度和籽晶向上的提升速度，使籽晶体长大。目前，直拉单晶炉是晶体生长设备中最重要的产品系列，用它来制作人工晶体，单晶生长速度最高，最容易实现人工控制，因此也获得了最广泛的应用。用于拉单晶硅的整套石墨加热系统一般采用单晶炉石墨热场，单晶炉石墨热场包括三瓣埚、三瓣埚托盘、导流筒和加热器。现这些热场件仍旧采用人工拆卸，拆炉时热场件温度高，易造成操作人员的烫伤，并且重量偏重，拆卸费时费力。

实用新型内容

本实用新型要解决的技术问题是：为了克服上述不足，本实用新型提供一种用于单晶炉石墨热场的拆炉装置。

本实用新型解决其技术问题所采用的技术方案是：一种用于单晶炉石墨热场的拆炉装置，具有吊装小车，所述的吊装小车上具有快速接头和用于控制快速接头上下移动的吊装摇动杆，所述的快速接头和吊装摇动杆通过吊装线连接，所述的吊装线绕在固定于吊装小车支架上的滑轮，还具有能与快速接头配合连接的拆卸器，所述的拆卸器为三瓣埚拆卸器、导流筒拆卸器、三瓣埚托盘拆卸器或加热器拆卸器。

为了便于吊装，所述的快速接头为用于连接机械部件的自锁式快速接头。

作为优选，所述的三瓣埚拆卸器为具有至少3个周向均布的第一夹爪的夹具，在所述的第一夹爪用于夹持物体的端部内侧具有一个垂直于所述的端部的横向夹持条；所述的三瓣埚拆卸器还具有控制第一夹爪张开度的第一操作柄。

作为优选，所述的导流筒拆卸器为外轮廓与导流筒内轮廓大致相同、大小比导流筒稍小的夹具，导流筒拆卸器的底部具有至少两个用于在夹持时从导流筒底部空孔穿出的第一托起部；所述的导流筒拆卸器还具有第二操作柄和第一连接杆组，所述的第二操作柄通过第一连接杆组与第一托起部传动连接。

作为优选，所述的三瓣埚托盘拆卸器为具有至少3个周向均布的第二夹爪的夹具，在所述的第二夹爪用于夹持物体的端部具有用于夹持三瓣埚托盘底部斜面的尖钩部；所述的三瓣埚托盘拆卸器还具有控制第二夹爪张开度的第三操作柄。

作为优选，所述的加热器拆卸器为外轮廓与加热器内轮廓大致相同、大小比加热器稍小的夹具，加热器拆卸器的底部具有至少两个用于在夹持时从加热器底部穿出的第二托起部；所述的加热器拆卸器还具有第四操作柄、第二连接杆组和至少两个用于加热器上部固定的凸块，所述的第四操作柄通过第二连接杆组与第二托起部传动连接。

本实用新型的有益效果是，本实用新型一种用于单晶炉石墨热场的拆炉装置，机械提取高温石墨热场件，节约时间，减少人力作业，安全防护，可操作性强；可通过调节各夹具的夹爪的张开度或控制托起部旋转的操作柄，适应各单晶炉石墨热场的拆卸，操作简单方便；吊装小车上采用定滑轮，并可通过操作柄对各夹具进行操作，减轻操作人员的负担，提高了拆卸效率。

附图说明

下面结合附图和实施例对本实用新型进一步说明。

图1是本实用新型中吊装小车最优实施例使用时的结构示意图。

图2是图1中A处的局部放大图。

图3是本实用新型中三瓣埚拆卸器最优实施例使用时的结构示意图。

图4是本实用新型中三瓣埚拆卸器最优实施例的局部剖面图。

图5是本实用新型中导流筒拆卸器最优实施例使用时的结构示意图。

图6是本实用新型中三瓣埚托盘拆卸器最优实施例使用时的结构示意图。

图7是本实用新型中加热器拆卸器最优实施例使用时的结构示意图。

图8是本实用新型中加热器拆卸器使用时的主视图。

图中11、吊装摇动杆，12、快速接头，121、自锁手柄，121-1、自锁部，122、弹簧，13、吊装线，14、支架，15、滑轮，2、三瓣埚，21、第一阴接头，22、第一操作柄，23、第一夹爪，24、横向夹持条，3、导流筒，31、第二阴接头，32、第二操作柄，33、第一托起部，4、三瓣埚托盘，41、第三阴接头，42、第三操作柄，43、第二夹爪，431、尖钩部，5、加热器，51、第四阴接头，52、第四操作柄，53、第二托起部，54、凸块。

具体实施方式

现在结合附图对本实用新型作进一步详细的说明。这些附图均为简化的示意图，仅以示意方式说明本实用新型的基本结构，因此其仅显示与本实用新型有关的构成。

一种用于单晶炉石墨热场的拆炉装置，具有吊装小车，如图1所示，吊装小车上具有快速接头12和用于控制快速接头12上下移动的吊装摇动杆11，快速接头12和吊装摇动杆11通过吊装线13连接，吊装线13绕在固定于吊装小车支架14上的滑轮15上，还具有能与快速接头12配合连接的拆卸器，所述的拆卸器为三瓣埚拆卸器、导流筒拆卸器、三瓣埚托盘拆卸器或加热器拆卸器；快速接头12为用于连接机械部件的自锁式快速接头。

如图2所示，快速接头12具有接头本体、自锁手柄121和阳接头，所述的自锁手柄121通过弹簧122与接头本体上部的外表面连接，自锁手柄121的下部具有向内凸出的自锁部121-1。

如图3所示，三瓣埚拆卸器为具有3个周向均布的第一夹爪23的夹具，在第一夹爪23用于夹持物体的端部内侧具有一个垂直于端部的横向夹持条24；三瓣埚拆卸器还具有控制第一夹爪23张开度的第一操作柄22；还具有与快速接头12连接的第一阴接头21。如图4所示，第一操作柄22由手柄、底座和滑管组成，手柄固定在滑管上端，底座固定在滑管下端，底座均布3个凹口；第一夹爪23具有用于与第一操作柄22的底座配合连接的支架，支架上具有与底座上的凹口相配合的凸出部位；将手柄旋转一个角度，当底座圆盘上三个凹口偏离支架上的凸出部位，第一夹爪23处于自由张开位置；第一操作柄22为滑套式空心管，上升时带动三爪收紧，利用三辨坩埚自身重量夹紧，起到自锁作用。

如图5所示，导流筒拆卸器为外轮廓与导流筒3内轮廓大致相同、大小比导流筒3稍小的夹具，导流筒拆卸器的底部具有两个用于在夹持时从导流筒3底部空孔穿出并且旋转后能与导流筒3底部的下侧面贴合的第一托起部33；导流筒拆卸器还具有控制第一托起部33旋转的第二操作柄32、第一连接杆组和与快速接头12连接的第二阴接头31，所述的第二操作柄32通过第一连接杆组与第一托起部33传动连接。

如图6所示，三瓣埚托盘拆卸器为具有3个周向均布的第二夹爪43的夹具，在第二夹爪43用于夹持物体的端部具有用于夹持三瓣埚托盘4底部斜面的尖钩部431；三瓣埚托盘拆卸器还具有控制第二夹爪43张开度的第三操作柄42和与快速接头12连接的第三阴接头41。三瓣埚托盘拆卸器的动作原理同三瓣埚拆卸器，第三操作柄42由手柄、底座和滑管组成，手柄固定在滑管上端，底座固定在滑管下端，底座均布3个凹口；第二夹爪43具有用于与第三操作柄42的底座配合连接的支架，支架上具有与底座上的凹口相配合的凸出部位；将手柄旋转一个角度，当底座圆盘上三个凹口偏离支架上的凸出部位，第二夹爪43处于自由张开位置；第三操作柄42为滑套式空心管，上升时带动三爪收紧，利用三辨坩埚自身重量夹紧，起到自锁作用。

如图7、图8所示，加热器拆卸器为外轮廓与加热器5内轮廓大致相同、大小比加热器5稍小的夹具，加热器拆卸器的底部具有两个用于在夹持时从加热器5底部穿出并且旋转后能与加热器5底部的下侧面贴合的第二托起部53；加热器拆卸器还具有控制第二托起部53旋转的第四操作柄52、第二连接杆组和四个用于加热器5上部固定的凸块54，所述的第四操作柄52通过第二连接杆组与第二托起部53传动连接，凸块54的位置可以上下调节；还具有与快速接头12连接的第四阴接头51。

所述的第一阴接头21、第二阴接头31、第三阴接头41和第四阴接头51的外表面均具有与快速接头12的自锁部121-1相配合的凹圈。

以上述依据本实用新型的理想实施例为启示，通过上述的说明内容，相关工作人员完全可以在不偏离本项实用新型技术思想的范围内，进行多样的变更以及修改。本项实用新型的技术性范围并不局限于说明书上的内容，必须要根据权利要求范围来确定其技术性范围。

Claims (8)

1.一种用于单晶炉石墨热场的拆炉装置，其特征在于：具有吊装小车，所述的吊装小车上具有快速接头(12)和用于控制快速接头(12)上下移动的吊装摇动杆(11)，所述的快速接头(12)和吊装摇动杆(11)通过吊装线(13)连接，所述的吊装线(13)绕在固定于吊装小车支架(14)上的滑轮(15)上，还具有能与快速接头(12)配合连接的拆卸器，所述的拆卸器为三瓣埚拆卸器、导流筒拆卸器、三瓣埚托盘拆卸器或加热器拆卸器。

2.如权利要求1所述的一种用于单晶炉石墨热场的拆炉装置，其特征在于：所述的快速接头(12)为用于连接机械部件的自锁式快速接头。

3.如权利要求1所述的一种用于单晶炉石墨热场的拆炉装置，其特征在于：所述的三瓣埚拆卸器为具有至少3个周向均布的第一夹爪(23)的夹具，在所述的第一夹爪(23)用于夹持物体的端部内侧具有一个垂直于所述的端部的横向夹持条(24)。

4.如权利要求1所述的一种用于单晶炉石墨热场的拆炉装置，其特征在于：所述的导流筒拆卸器为外轮廓与导流筒(3)内轮廓大致相同、大小比导流筒(3)稍小的夹具，导流筒拆卸器的底部具有至少两个用于在夹持时从导流筒(3)底部空孔穿出的第一托起部(33)。

5.如权利要求4所述的一种用于单晶炉石墨热场的拆炉装置，其特征在于：所述的导流筒拆卸器还具有第二操作柄(32)和第一连接杆组，所述的第二操作柄(32)通过第一连接杆组与第一托起部(33)传动连接。

6.如权利要求1所述的一种用于单晶炉石墨热场的拆炉装置，其特征在于：所述的三瓣埚托盘拆卸器为具有至少3个周向均布的第二夹爪(43)的夹具，在所述的第二夹爪(43)用于夹持物体的端部具有用于夹持三瓣埚托盘(4)底部斜面的尖钩部(431)。

7.如权利要求1所述的一种用于单晶炉石墨热场的拆炉装置，其特征在于：所述的加热器拆卸器为外轮廓与加热器(5)内轮廓大致相同、大小比加热器(5)稍小的夹具，加热器拆卸器的底部具有至少两个用于在夹持时从加热器(5)底部穿出的第二托起部(53)。

8.如权利要求7所述的一种用于单晶炉石墨热场的拆炉装置，其特征在于：所述的加热器拆卸器还具有第四操作柄(52)、第二连接杆组和至少两个用于加热器(5)上部固定的凸块(54)，所述的第四操作柄(52)通过第二连接杆组与第二托起部(53)传动连接。

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