CN202297775U - 带有活性粒子检测部件的等离子薄膜沉积装置 - Google Patents
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Abstract
一种带有活性粒子检测部件的等离子薄膜沉积装置，其射频电极与接地电极间的等离子体中部区域处设置有一个活性粒子吸引管，所述活性粒子吸引管与置于所述腔室外部的一个活性粒子的检测部件连通，所述检测部件与真空泵连通；所述检测部件通过数据传输线与一个控制部件连接；活性粒子被吸引到吸引管内并继续运动到检测部件，检测部件对活性粒子的浓度等进行检测，将检测结果反馈到控制部件，控制部件将检测数值与预设数值进行比较，并根据结果控制处理腔室内活性粒子状态；通过有效控制活性粒子的状态、提高成膜制品的成品率；等离子体中部区域易发生活性粒子浓度的波动或激增，因此检测此处的活性粒子适用于要求处理过程均匀平稳的情况。
Description
技术领域
本实用新型涉及一种成膜装置，尤其是一种带有活性粒子检测部件的等离子薄膜沉积装置。
背景技术
等离子体化学气相沉积方法是通过等离子体将原料气体激发、电离形成活性粒子，到达被沉积基板表面实施沉积的方法，其常常被用来进行半导体、平板显示器以及太阳能电池等表面薄膜的制备。然而，这些激发、解离产生的活性粒子非常容易成为污染粒子的形核中心而促进污染粒子的形成，进而使得产品的品质劣化。
因此，对于等离子成膜装置中活性粒子的监测控制，对于提高等离子成膜制品的成品率而言至关重要。现有技术中往往通过测试基板或者将处于薄膜沉积中的基板取出进行表面污染粒子的检测，然而这样的测试并不是对于污染粒子的实时监控，与沉积过程的真实状态并不相同，因此也难以有效提高成品率。
发明内容
针对上述问题，本实用新型的目的即在于提供能一种能够实时监控内部活性粒子状态的等离子薄膜沉积装置。
本实用新型所采用的技术方案如下：一种带有活性粒子检测部件的等离子薄膜沉积装置，其包括一个等离子成膜处理腔室，所述腔室内设置有与外部射频电源连接的射频电极以及接地的接地电极，所述腔室还分别与原料气体供给部件和一号真空泵连通；其特征在于：在所述射频电极与接地电极间的等离子体中部区域处设置有一个活性粒子吸引管，所述活性粒子吸引管与置于所述腔室外部的一个活性粒子的检测部件连通，所述检测部件与二号真空泵连通；所述检测部件通过数据传输线与一个控制部件连接，所述控制部件分别连接并控制所述射频电源、原料气体供给部件以及一号真空泵。
使用时，通过二号真空泵降低检测部件及吸引管内的压力，使其低于处理腔室内的压力，从而活性粒子能够被吸引到活性粒子吸引管内并继续运动到检测部件，检测部件对活性粒子的浓度等进行有效检测，将检测结果通过数据传输线反馈到控制部件，控制部件将检测数值与预设的合适数值进行比较，并根据比较结果对射频电源、原料气体供给部件及一号真空泵实施控制，进而控制处理腔室内活性粒子的状态。
本实用新型的有益效果是，通过在靠近接地电极的等离子体区域处设置活性粒子吸引管及与之连通的检测部件，能够实时监测处理腔室内活性粒子的状态，并结合控制部件控制射频电源、原料气体供给部件及真空泵，从而实现有效控制活性粒子的状态、提高成膜制品的成品率；由于等离子体中部区域容易发生活性粒子浓度的波动或激增，因此检测此处的活性粒子适用于要求处理过程均匀平稳的情况。
附图说明
图1是本实用新型的带有活性粒子检测部件的等离子薄膜沉积装置的结构示意图。
具体实施方式
下面结合附图1，详细描述本实用新型的带有活性粒子检测部件的等离子薄膜沉积装置，其包括一个等离子成膜处理腔室1，所述腔室1内设置有与外部射频电源2连接的射频电极3以及接地的接地电极4，所述腔室1还分别与原料气体供给部件5和一号真空泵6连通；其特征在于：在所述射频电极3与接地电极4间的等离子体中部区域处设置有一个活性粒子吸引管7，所述活性粒子吸引管7与置于所述腔室1外部的一个活性粒子的检测部件8连通，所述检测部件8与二号真空泵9连通；所述检测部件8通过数据传输线与一个控制部件10连接，所述控制部件10分别连接并控制所述射频电源2、原料气体供给部件5以及一号真空泵6。
使用时，通过二号真空泵9降低检测部件8及吸引管7内的压力，使其低于处理腔室1内的压力，从而活性粒子能够被吸引到活性粒子吸引管7内并继续运动到检测部件8，检测部件8对活性粒子的浓度等进行有效检测，将检测结果通过数据传输线反馈到控制部件10，控制部件10将检测数值与预设的合适数值进行比较，并根据比较结果对射频电源2、原料气体供给部件5及一号真空泵6实施控制，进而控制处理腔室1内活性粒子的状态。
Claims (1)
1.一种带有活性粒子检测部件的等离子薄膜沉积装置，其包括一个等离子成膜处理腔室，所述腔室内设置有与外部射频电源连接的射频电极以及接地的接地电极，所述腔室还分别与原料气体供给部件和一号真空泵连通；其特征在于：在所述射频电极与接地电极间的等离子体中部区域处设置有一个活性粒子吸引管，所述活性粒子吸引管与置于所述腔室外部的一个活性粒子的检测部件连通，所述检测部件与二号真空泵连通；所述检测部件通过数据传输线与一个控制部件连接，所述控制部件分别连接并控制所述射频电源、原料气体供给部件以及一号真空泵。
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Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| TWI818313B (zh) * | 2020-09-18 | 2023-10-11 | 日商日立全球先端科技股份有限公司 | 真空處理裝置的異物測定方法 |
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2011
- 2011-10-11 CN CN2011203855291U patent/CN202297775U/zh not_active Expired - Fee Related
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Legal Events
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| GR01 | Patent grant | ||
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Granted publication date: 20120704 Termination date: 20121011 |