CN202297159U - 电子级超纯氨的提纯装置 - Google Patents

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严巍
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Zhejiang yingdesai semiconductor materials Co.,Ltd.
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周平
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Abstract

本实用新型公开了一种电子级超纯氨的提纯装置,包括液氨储槽、液氨泵、汽化器、除油器、精馏塔、终端纯化器、冷凝器和产品储罐,所述精馏塔包括第一精馏塔和第二精馏塔,液氨泵接入到液氨储槽中并将液氨打入汽化器,汽化器输出连接到除油器上,除油器输出连接到第一精馏塔塔中上,第一精馏塔从塔顶输出连接到第二精馏塔塔釜,第二精馏塔从塔顶输出连接到终端纯化器上,终端纯化器输出连接到冷凝器上,冷凝器输出连接到产品储罐上。本实用新型采用两塔精馏,分别去除轻、重组分杂质,充分保证了产品氨的纯度;省去了精馏之前的干燥吸附装置,降低了能耗,还避免将新的颗粒杂质等带入精馏塔,从而使整个工艺能够稳定运行,避免产品质量产生波动。

Description

电子级超纯氨的提纯装置
技术领域
本实用新型涉及气体的提纯装置,特别是一种电子级超纯氨的提纯装置。 
背景技术
在现有的超纯氨提纯工业装置中,采用的工艺路线基本类似,例如实用新型专利CN200920235917.4所公开的电子级超纯氨纯化提取装置及发明专利申请CN201010140687.0中所提及的7N电子级超纯氨的纯化装置,均以工业液氨为原料,经汽化器汽化,然后经除油器除油,再经分子筛吸附器干燥脱水后直接进入精馏塔,精馏所得产品再经终端纯化器深度除水得到最终产品。在这一工艺过程中,虽然可以最后得到高纯产品,但其工艺过程复杂,氨经多次汽化和冷凝,且吸附等过程需再生等耗费电能过大,这对于能源日益紧张的今天来说,是非常不节能的,导致产品生产成本过高;而且在精馏之前设置干燥吸附装置,容易带入新的颗粒杂质等进入精馏塔,引起产品质量的波动。 
实用新型内容
本实用新型所要解决的问题就是提供一种电子级超纯氨的提纯装置,突破了传统超纯氨精制工艺流程的限制,精简了超纯氨的精制工艺,大大降低了整个生产工艺的能耗,并提高了生产效率。 
为了解决上述技术问题,本实用新型采用如下技术方案:电子级超纯氨的提纯装置,其特征在于:包括液氨储槽、液氨泵、汽化器、除油器、精馏塔、终端纯化器、冷凝器和产品储罐,所述精馏塔包括第一精馏塔和第二精馏塔,液氨泵接入到液氨储槽中并将液氨打入汽化器,汽化器输出连接到除油器上,除油器输出连接到第一精馏塔塔中上,第一精馏塔从塔顶输出连接到第二精馏塔塔釜,第二精馏塔从塔顶输出连接到终端纯化器上,终端纯化器输出连接到 冷凝器上,冷凝器输出连接到产品储罐上。 
进一步的,所述第一精馏塔的塔顶设有与第一精馏塔连通的第一塔顶冷凝器,第一塔顶冷凝器输出连接到第二精馏塔,在第二精馏塔的塔顶设有与第二精馏塔连通的第二塔顶冷凝器,第二塔顶冷凝器输出连接到第二精馏塔和产品储罐,在第一精馏塔的塔底设有与第一精馏塔连通的第一塔底再沸器,第一塔底再沸器输出连接到第一精馏塔,在第二精馏塔的塔底设有与第二精馏塔连通的第二塔底再沸器,第二塔底再沸器输出连接到第二精馏塔。 
进一步的,所述第一塔底再沸器和第二塔底再沸器还并联输出连接有液氨回收罐。 
进一步的,所述液氨回收罐连接在第一塔底再沸器的底部和第二塔底再沸器的底部。将残留高浓度杂质的液氨回收。 
进一步的,所述液氨回收罐也与汽化器的底部接通。将残留高浓度杂质的液氨回收。 
采用上述技术方案后,本实用新型具有如下优点:采用两塔精馏,分别去除轻组分和重组分杂质,充分保证了产品氨的纯度;省去了精馏之前的干燥吸附装置,一方面降低了能耗,另一方面还避免将新的颗粒杂质等带入精馏塔,从而使整个工艺能够稳定运行,避免产品质量产生波动。 
附图说明
下面结合附图对本实用新型作进一步说明: 
图1为本实用新型一种实施例的结构示意图。 
具体实施方式
如图1所示本实用新型一种实施例的结构示意图,电子级超纯氨的提纯装置,包括液氨储槽1、液氨泵2、汽化器3、除油器4、精馏塔5、终端纯化器6、 冷凝器7和产品储罐8,液氨泵接入到液氨储槽中并将液氨打入汽化器,汽化器输出连接到除油器上,除油器输出连接到第一精馏塔塔中上,第一精馏塔从塔顶输出连接到第二精馏塔塔釜,第二精馏塔从塔顶输出连接到终端纯化器上,终端纯化器输出连接到冷凝器上,冷凝器输出连接到产品储罐上。在本实施例中,所述精馏塔包括第一精馏塔51和第二精馏塔52,除油器输出连接到第一精馏塔,第一精馏塔输出连接到第二精馏塔,第二精馏塔输出连接到终端纯化器,在第一精馏塔的塔顶设有与第一精馏塔连通的第一塔顶冷凝器511,第一塔顶冷凝器输出连接到第二精馏塔,在第二精馏塔的塔顶设有与第二精馏塔连通的第二塔顶冷凝器521,第二塔顶冷凝器输出连接到第二精馏塔,在第一精馏塔的塔底设有与第一精馏塔连通的第一塔底再沸器512,第一塔底再沸器输出连接到第一精馏塔,在第二精馏塔的塔底设有与第二精馏塔连通的第二塔底再沸器522,第二塔底再沸器输出连接到第二精馏塔。 
另外,第一塔底再沸器和第二塔底再沸器还并联输出连接到液氨回收罐9,在本实施例中,液氨回收罐连接在第一塔底再沸器的底部和第二塔底再沸器的底部;同时,液氨回收罐也与汽化器的底部接通。在本实用新型中,终端纯化器中的吸气剂依据金属或者金属间化合物与氢、氧、氮、一氧化碳、二氧化碳、水汽和甲烷等多种气体作用,生成稳定的化合物或者固溶体,从而除去微量杂质,在本实施例中,优选锆钒铁合金制成的吸气剂。 
本实用新型的生产工艺如下:工业液氨储存在液氨储槽中,经液氨泵打入汽化器,液氨经过汽化,然后经除油器除油,直接进入精馏塔进行轻重组分分离,第一精馏塔的作用是在塔顶除去不凝性的轻组分杂质,塔釜的产品进入第二精馏塔去除重组分杂质,如微量的金属杂质、水分、油等有机物杂质,从第二精馏塔塔顶冷凝的产品经检测合格即进行充装入瓶,若各杂质组分超标,则 液氨产品进入下一个工序,重新汽化并进入终端纯化器进行微量除杂,从而确保整个工艺得到合格产品质量的超纯氨进入产品储罐。整个过程中汽化器及精馏塔再沸器底部的残留高浓度杂质的液氨回收至液氨回收罐中。 
除上述优选实施例外,本实用新型还有其他的实施方式,本领域技术人员可以根据本实用新型作出各种改变和变形,只要不脱离本实用新型的精神,均应属于本实用新型所附权利要求所定义的范围。 

Claims (5)

1.电子级超纯氨的提纯装置,其特征在于:包括液氨储槽(1)、液氨泵(2)、汽化器(3)、除油器(4)、精馏塔(5)、终端纯化器(6)、冷凝器(7)和产品储罐(8),所述精馏塔包括第一精馏塔(51)和第二精馏塔(52),液氨泵接入到液氨储槽中并将液氨打入汽化器,汽化器输出连接到除油器上,除油器输出连接到第一精馏塔塔中上,第一精馏塔从塔顶输出连接到第二精馏塔塔釜,第二精馏塔从塔顶输出连接到终端纯化器上,终端纯化器输出连接到冷凝器上,冷凝器输出连接到产品储罐上。
2.根据权利要求1所述的电子级超纯氨的提纯装置,其特征在于:所述第一精馏塔的塔顶设有与第一精馏塔连通的第一塔顶冷凝器(511),第一塔顶冷凝器输出连接到第二精馏塔,在第二精馏塔的塔顶设有与第二精馏塔连通的第二塔顶冷凝器(521),第二塔顶冷凝器输出连接到第二精馏塔和产品储罐,在第一精馏塔的塔底设有与第一精馏塔连通的第一塔底再沸器(512),第一塔底再沸器输出连接到第一精馏塔,在第二精馏塔的塔底设有与第二精馏塔连通的第二塔底再沸器(522),第二塔底再沸器输出连接到第二精馏塔。
3.根据权利要求2所述的电子级超纯氨的提纯装置,其特征在于:所述第一塔底再沸器和第二塔底再沸器还并联输出连接到液氨回收罐(9)。
4.根据权利要求3所述的电子级超纯氨的提纯装置,其特征在于:所述液氨回收罐连接在第一塔底再沸器的底部和第二塔底再沸器的底部。
5.根据权利要求3或4所述的电子级超纯氨的提纯装置,其特征在于:所述液氨回收罐也与汽化器的底部接通。
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* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN102320623A (zh) * 2011-10-13 2012-01-18 周平 电子级超纯氨的提纯装置及其提纯方法
CN111960436A (zh) * 2020-09-03 2020-11-20 福建省宜品生物科技有限公司 一种超纯氨生产装置及生产方法

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