CN202290684U

CN202290684U - 晶圆盒自动清洗装置

Info

Publication number: CN202290684U
Application number: CN2011203956131U
Authority: CN
Inventors: 吴良辉
Original assignee: Semiconductor Manufacturing International Shanghai Corp
Current assignee: Semiconductor Manufacturing International Beijing Corp
Priority date: 2011-10-17
Filing date: 2011-10-17
Publication date: 2012-07-04
Anticipated expiration: 2021-10-17

Abstract

本实用新型公开了一种晶圆盒自动清洗装置，包括控制器、双向伸缩机构、两连接杆、两带有刷毛的刷桶、两喷水管、喷水控制阀和推进杆，所述双向伸缩机构具有两相背的输出端，两相背的输出端分别通过对应的连接杆和对应的刷桶相连，刷桶的纵向和双向伸缩机构的伸缩方向相垂直，刷桶的纵向和喷水管的纵向相平行，所述推进杆的一端固定连接于双向伸缩机构的侧部，所述推进杆的运动方向和刷桶的纵向相垂直，所述控制器分别与双向伸缩机构和喷水控制阀信号连接。通过控制器控制喷水控制阀，使得喷水管向晶圆盒的内壁喷射纯净水，起到冲洗颗粒和浸湿晶圆盒内壁的作用，并可通过刷桶刷洗晶圆盒，从而有效提高晶圆盒的清洗效率和清洗效果。

Description

晶圆盒自动清洗装置

技术领域

本实用新型涉及半导体技术领域，尤其涉及一种晶圆盒自动清洗装置。

背景技术

目前，在半导体生产工艺车间内，一般采用晶圆盒传送晶圆。请参阅图1，图1所示为现有的晶圆盒的结构示意图。通常，现有的晶圆盒包括一面开口(图1中为前面开口)的盒体101和门盖(图1中未图示)，所述门盖与盒体101的开口处110相配合，用于封闭所述盒体101，所述盒体101的内壁设有用于放置晶圆102的若干凹槽103。

当晶圆盒传输一定量的晶圆102后，由于反复放置和撤离晶圆102，晶圆102和晶圆盒接触的过程中容易积聚大量的颗粒物质104。因此，需要定期对晶圆盒进行清洗。目前，常用的清洗方法是：先将晶圆盒打开，然后将若干晶圆盒放入一个大的容器(图1中未图示)内，接着在容器内冲洗晶圆盒。但是，这种方法存在晶圆盒冲洗不干净，以及清洗效率低下的问题。

因此，如何提供一种可以提高清洗效率和清洗效果的晶圆盒自动清洗装置是本领域技术人员亟待解决的一个技术问题。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种晶圆盒自动清洗装置，可以彻底清洗晶圆盒，同时可以有效提高晶圆盒的清洗效率。

为了达到上述的目的，本实用新型采用如下技术方案：

一种晶圆盒自动清洗装置，包括控制器、双向伸缩机构、两连接杆、两带有刷毛的刷桶、两喷水管、喷水控制阀和推进杆，所述双向伸缩机构具有两相背的输出端，所述两相背的输出端分别通过对应的连接杆和对应的刷桶相连，所述刷桶的纵向和所述双向伸缩机构的伸缩方向相垂直，所述刷桶的纵向和所述喷水管的纵向相平行，所述推进杆的一端固定连接于所述双向伸缩机构的侧部，所述推进杆的运动方向和所述刷桶的纵向相垂直，所述控制器分别与所述双向伸缩机构和喷水控制阀信号连接。

优选的，在上述的晶圆盒自动清洗装置中，双向伸缩机构是双向伸缩气缸。

优选的，在上述的晶圆盒自动清洗装置中，还包括气源装置和气源控制阀，所述气源控制阀设置于所述气源装置与所述双向伸缩机构相连接的管路上，所述气源控制阀和所述控制器信号连接。

优选的，在上述的晶圆盒自动清洗装置中，所述双向伸缩气缸包括气缸体和弹簧，所述弹簧设于所述气缸体内，所述弹簧的两端分别和对应的连接杆连接。

优选的，在上述的晶圆盒自动清洗装置中，还包括两位移传感器，所述位移传感器分别设置于对应的连接杆上，所述位移传感器分别和控制器连接。

优选的，在上述的晶圆盒自动清洗装置中，还包括两刷桶驱动电机，所述刷桶驱动电机分别和所述控制器信号连接，所述刷桶驱动电机分别带动所述刷桶转动。

优选的，在上述的晶圆盒自动清洗装置中，所述刷桶驱动电机分别设置于对应的连接杆上。

优选的，在上述的晶圆盒自动清洗装置中，所述喷水管沿纵向排列设有若干喷水口。

优选的，在上述的晶圆盒自动清洗装置中，所述连接杆的外表面包裹有防水的波纹管。

优选的，在上述的晶圆盒自动清洗装置中，还包括移动机构，所述移动机构的输出部和所述推进杆的另一端固定连接，所述移动机构和所述控制器信号连接。

本实用新型的有益效果如下：

本实用新型提供的晶圆盒自动清洗装置，设置有控制器、双向伸缩机构、两连接杆、两带有刷毛的刷桶、两喷水管、喷水控制阀和推进杆，通过控制器控制喷水控制阀，可以使得喷水管向晶圆盒的内壁喷射纯净水，起到冲洗颗粒和浸湿晶圆盒内壁的作用，并利用刷桶不断刷洗晶圆盒，直至晶圆盒清洗干净，从而，可以提高晶圆盒的清洗效率和清洗效果。另外，通过增设刷桶驱动电机，刷桶驱动电机在控制器作用下可以带动对应的刷桶转动，从而，可以进一步提高刷桶对晶圆盒内壁的清洗效率和清洗效果。

附图说明

本实用新型的晶圆盒自动清洗装置由以下的实施例及附图给出。

图1为现有的晶圆盒的结构示意图；

图2为本实用新型一实施例的晶圆盒自动清洗装置的结构示意图；

图3为图2的侧视图；

图4为图2的俯视图；

图5为本实用新型一实施例的晶圆盒自动清洗装置的控制原理示意图；

图6为本实用新型一实施例的晶圆盒自动清洗装置的局部示意图。

具体实施方式

以下将对本实用新型的晶圆盒自动清洗装置作进一步的详细描述。

下面将参照附图对本实用新型进行更详细的描述，其中表示了本实用新型的优选实施例，应该理解本领域技术人员可以修改在此描述的本实用新型而仍然实现本实用新型的有利效果。因此，下列描述应当被理解为对于本领域技术人员的广泛知道，而并不作为对本实用新型的限制。

为了清楚，不描述实际实施例的全部特征。在下列描述中，不详细描述公知的功能和结构，因为它们会使本实用新型由于不必要的细节而混乱。应当认为在任何实际实施例的开发中，必须作出大量实施细节以实现开发者的特定目标，例如按照有关系统或有关商业的限制，由一个实施例改变为另一个实施例。另外，应当认为这种开发工作可能是复杂和耗费时间的，但是对于本领域技术人员来说仅仅是常规工作。

为使本实用新型的目的、特征更明显易懂，下面结合附图对本实用新型的具体实施方式作进一步的说明。需说明的是，附图均采用非常简化的形式且均使用非精准的比率，仅用以方便、明晰地辅助说明本实用新型实施例的目的。

请参阅图2至图6，其中，图2所示为本实用新型一实施例的晶圆盒自动清洗装置的结构示意图，图3所示为图2的侧视图，图4所示为图2的俯视图，图5所示为本实用新型一实施例的晶圆盒自动清洗装置的控制原理示意图，图6所示为本实用新型一实施例的晶圆盒自动清洗装置的局部示意图。

这种晶圆盒自动清洗装置，包括控制器1、双向伸缩机构2、两连接杆3、两带有刷毛的刷桶4、两喷水管5、喷水控制阀6和推进杆7，所述喷水管5沿纵向排列设有若干喷水口(图中未示意)，所述双向伸缩机构2具有两相背的输出端，所述两相背的输出端分别通过对应的连接杆3和对应的刷桶4相连，所述刷桶4的纵向和所述双向伸缩机构2的伸缩方向相垂直，且所述刷桶4的纵向和所述喷水管5的纵向相平行，所述推进杆7的一端固定连接于所述双向伸缩机构2的侧部，所述推进杆7的运动方向和所述刷桶4的纵向相垂直，所述控制器1分别与所述双向伸缩机构2和喷水控制阀6信号连接。

当晶圆盒自动清洗装置伸入晶圆盒(可参照图1)内时，操作人员经控制器1控制喷水控制阀6(请结合参阅图5)，使得喷水管5可以向晶圆盒的内壁喷射纯净水，该喷射的纯净水可以起到冲洗颗粒物质和浸湿晶圆盒内壁的作用。然后，可以通过前后移动推进杆7，使得刷桶4不断刷洗晶圆盒，直至晶圆盒清洗干净。

较佳地，本实施例中的所述双向伸缩机构2采用双向伸缩气缸，所述晶圆盒自动清洗装置还包括气源装置(图中未示意)和气源控制阀8(请结合参阅图5)，所述气源控制阀8设置于所述气源装置与所述双向伸缩机构2相连接的管路上，所述气源控制阀8和所述控制器1信号连接。本实施例中，所述双向伸缩机构2的具体结构如下：所述双向伸缩气缸包括气缸体21和弹簧22，所述弹簧22设于所述气缸体21内，所述弹簧22的两端分别和对应的连接杆3连接。可以理解的是，以上是双向伸缩机构2的一种结构型式，当然其还可以采用其他结构型式。

较佳地，本实施例的晶圆盒自动清洗装置还包括两位移传感器9(请结合参阅图5和图6)，所述位移传感器9分别设置于对应的连接杆3上，所述位移传感器9分别和控制器1连接。通过位移传感器9可以监控连接杆3的位置情况及时并上传到控制器1，确保整个装置安全稳定工作。

较佳地，本实施例的晶圆盒自动清洗装置还包括两刷桶驱动电机10，所述刷桶驱动电机10分别带动对应的刷桶4转动，所述刷桶驱动电机10分别和所述控制器1信号连接。所述刷桶驱动电机10分别设置于对应的连接杆3上。所述控制器1可以控制刷桶驱动电机10，通过刷桶驱动电机10可以带动对应的刷桶4转动，从而提高带有刷毛的刷桶4对晶圆盒内壁的清洗效率。

较佳地，在上述的晶圆盒自动清洗装置中，还包括移动机构(图中未示意)，所述移动机构的输出部和所述推进杆7的另一端固定连接，所述移动机构和所述控制器1信号连接。所述移动机构可以是机械手臂。所述控制器1可以控制移动机构，通过移动机构可以带动所述推进杆7运动，从而带动整个晶圆盒自动清洗装置从晶圆盒伸入或伸出，协助刷桶4进行清洗。

较佳地，本实施例的晶圆盒自动清洗装置中，所述连接杆3的外表面包裹有防水的波纹管11，从而更好地保护与连接杆3相连的双向伸缩机构2和刷桶驱动电机8。

请继续参阅图2至图6，本实施例的晶圆盒自动清洗装置的使用方法如下：

首先，在控制器1的作用下，通过移动机构将推进杆7及与推进杆7相连的其他部件伸入晶圆盒内；

接着，通过气源控制阀8使得双向伸缩机构2的输出端处于收缩状态后，再通过喷水控制阀6使得喷水管5向晶圆盒内壁进行喷水；

然后，通过气源控制阀8使得双向伸缩机构2的输出端向外伸张，直至刷桶4与晶圆盒内壁接触；

接着，通过刷桶驱动电机10带动对应的刷桶4转动，使得刷毛不断滚动式刷洗晶圆盒的内壁，直至将晶圆盒的内壁清洗干净；

最后，停止刷桶驱动电机10的转动，通过气源控制阀8使得双向伸缩机构2的输出端处于收缩状态后，再通过移动机构将推进杆7及与推进杆7相连的其他部件伸入晶圆盒内，如此，可以实现对晶圆盒的有效清洗。

综上所述，本实用新型提供的晶圆盒自动清洗装置，通过控制器控制喷水控制阀，可以使得喷水管向晶圆盒的内壁喷射纯净水，起到冲洗颗粒和浸湿晶圆盒内壁的作用，并利用刷桶不断刷洗晶圆盒，直至晶圆盒清洗干净，从而，可以提高晶圆盒的清洗效率和清洗效果。另外，通过增设刷桶驱动电机，刷桶驱动电机在控制器作用下可以带动对应的刷桶转动，从而，可以进一步提高刷桶对晶圆盒内壁的清洗效率和清洗效果。

显然，本领域的技术人员可以对本实用新型进行各种改动和变型而不脱离本实用新型的精神和范围。这样，倘若本实用新型的这些修改和变型属于本实用新型权利要求及其等同技术的范围之内，则本实用新型也意图包含这些改动和变型在内。

Claims

1.一种晶圆盒自动清洗装置，其特征在于，包括控制器、双向伸缩机构、两连接杆、两带有刷毛的刷桶、两喷水管、喷水控制阀和推进杆，所述双向伸缩机构具有两相背的输出端，所述两相背的输出端分别通过对应的连接杆和对应的刷桶相连，所述刷桶的纵向和所述双向伸缩机构的伸缩方向相垂直，且所述刷桶的纵向和所述喷水管的纵向相平行，所述推进杆的一端固定连接于所述双向伸缩机构的侧部，所述推进杆的运动方向和所述刷桶的纵向相垂直，所述控制器分别与所述双向伸缩机构和喷水控制阀信号连接。

2.根据权利要求1所述的晶圆盒自动清洗装置，其特征在于，所述双向伸缩机构是双向伸缩气缸。

3.根据权利要求2所述的晶圆盒自动清洗装置，其特征在于，还包括气源装置和气源控制阀，所述气源控制阀设置于所述气源装置与所述双向伸缩机构相连接的管路上，所述气源控制阀和所述控制器信号连接。

4.根据权利要求3所述的晶圆盒自动清洗装置，其特征在于，所述双向伸缩气缸包括气缸体和弹簧，所述弹簧设于所述气缸体内，所述弹簧的两端分别和对应的连接杆连接。

5.根据权利要求4所述的晶圆盒自动清洗装置，其特征在于，还包括两位移传感器，所述位移传感器分别设置于对应的连接杆上，所述位移传感器分别和控制器连接。

6.根据权利要求1所述的晶圆盒自动清洗装置，其特征在于，还包括两刷桶驱动电机，所述刷桶驱动电机分别和所述控制器信号连接，所述刷桶驱动电机分别带动对应的刷桶转动。

7.根据权利要求6所述的晶圆盒自动清洗装置，其特征在于，所述刷桶驱动电机分别设置于对应的连接杆上。

8.根据权利要求1所述的晶圆盒自动清洗装置，其特征在于，所述喷水管沿纵向排列设有若干喷水口。

9.根据权利要求1所述的晶圆盒自动清洗装置，其特征在于，所述连接杆的外表面包裹有防水的波纹管。

10.根据权利要求1-9中任意一项所述的晶圆盒自动清洗装置，还包括移动机构，所述移动机构的输出部和所述推进杆的另一端固定连接，且所述移动机构和所述控制器信号连接。