CN202270885U - 炉丝热绕装置 - Google Patents
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Abstract
本实用新型涉及电加热炉体设备，公开了一种炉丝热绕装置，包括机床，设置在机床上的芯轴，以及与机床相连接的电机控制器，所述机床上还设置有通电电刷，待绕制炉丝穿过所述通电电刷；所述芯轴上设置有接地电刷，其一端与芯轴连接，另一端接地。本实用新型在机床上增加了炉丝加热模块，对待绕制炉丝进行通电流加热，并且使炉丝的加热段始终保持在炉丝与芯轴的接触点和炉丝加热模块之间，炉丝受热之后，相应容易缠绕，无需硬拉，炉丝在芯轴上成型均匀，绕制完成之后虽有轻微回弹，不但不会对炉丝带来损耗，更方便了炉丝拆下芯轴。
Description
技术领域
本实用新型涉及电加热炉体设备，特别是涉及一种炉丝热绕装置。
背景技术
在扩散炉、PECVD、LPCVD等设备中，都需要用到电加热炉，传统的电加热炉的炉丝绕制过程一般采用冷绕方式，此种绕制方式会出现炉丝成型不均匀，绕制过程中的硬拉方式、以及炉丝绕制完成后有相应的回弹，这些现象均会影响加热炉丝的成型精度、引起绕制过程中对炉丝的晶格损伤、回弹炉丝所带来的炉丝损耗。
随着半导体工业的飞速发展，要求加热炉体腔体口径越来越大，恒温区的长度越来越长，控温的精度越来越高；对于加热炉体以及炉丝的要求也越来越高，对炉丝的绕制也提出了更高的要求。
实用新型内容
(一)要解决的技术问题
本实用新型要解决的技术问题是如何克服电加热炉的炉丝绕制成型不均匀，以及硬拉和回弹对炉丝造成的损伤。
(二)技术方案
为了解决上述技术问题，本实用新型提供一种炉丝热绕装置，包括机床，设置在机床上的芯轴，以及与机床相连接的电机控制器，所述机床上还设置有通电电刷，待绕制炉丝穿过所述通电电刷；所述芯轴上设置有接地电刷，其一端与芯轴连接，另一端接地。
其中，还包括导向模块，设置在机床上，待绕制炉丝穿过所述导向模块。
其中，所述导向模块包括并列设置的前导向模块和后导向模块，待绕制炉丝依次穿过前导向模块和后导向模块。
其中，所述通电电刷设置在所述后导向模块上。
其中，还包括加热电源，其电极与所述通电电刷电连接，其接地极与所述接地电刷连接。
其中，所述通电电刷和接地电刷均采用铍青铜材料制作。
其中，所述电机控制器上加载有控制变频器。
(三)有益效果
上述技术方案所提供的炉丝热绕装置，在机床上增加了炉丝加热模块，对待绕制炉丝进行通大电流加热，并且使炉丝的加热段始终保持在炉丝与芯轴的接触点和炉丝加热模块之间，炉丝受热之后，相应容易缠绕，无需硬拉，炉丝在芯轴上成型均匀，绕制完成之后虽有轻微回弹，不但不会对炉丝带来损耗，更方便了炉丝拆下芯轴。
附图说明
图1是本实用新型实施例的炉丝热绕装置的结构示意图。
其中，1：机床；2：接地电刷；3：导向电刷；4：芯轴；5：电机控制器；6：加热电源；7：前导向模块；8：炉丝；9：电极。
具体实施方式
下面结合附图和实施例，对本实用新型的具体实施方式作进一步详细描述。以下实施例用于说明本实用新型，但不用来限制本实用新型的范围。
图1示出了本实用新型实施例的炉丝热绕装置的结构示意图，其包括机床1和设置在机床1上的芯轴4，机床1还连接有电机控制器5，电机控制器5驱动机床1，带动芯轴4进行转动，在芯轴4上进行炉丝8的绕制。
为了实现炉丝8在芯轴4上成型均匀，本实施例还设置了炉丝加热模块，具体包括设置在机床1上的通电电刷，即图1中所示的导向电刷3，导向电刷3位于芯轴4的一侧，待绕制的炉丝8穿过导向电刷3，由导向电刷3为炉丝8通电加热，因炉丝8绕制在芯轴4上之后，就无需继续通电加热，所以在芯轴4上还设置了接地电刷2，其一端与芯轴4相接触，另一端接地。
导向电刷3的电流由加热电源6提供，加热电源6的电极9与导向电刷3连接，其接地极与接地电刷2连接。导向电刷3和接地电刷2均采用铍青铜材料制作，以实现有效导电。
导向电刷3不仅起导电作用，同时还作为导向模块，为待绕制炉丝8进行导向，避免炉丝8缠绕，使其准确到位。在导向电刷3的前方，还设置有前导向模块7，固定在机床1上，保证炉丝8横向前进方向准确到位。
本实施例中，电机控制器5上加载有控制变频器，对炉丝绕制速度进行调节，给导向电刷3两极通大电流，对炉丝8进行加热，其中炉丝绕制速度与加热速率应保持相对一致，保证绕制过程中的保温。
由以上实施例可以看出，本实用新型实施例在机床上增加了炉丝加热模块，对待绕制炉丝进行通大电流加热，并且使炉丝的加热段始终保持在炉丝与芯轴的接触点和炉丝加热模块之间，炉丝受热之后，相应容易缠绕，无需硬拉，炉丝在芯轴上成型均匀，绕制完成之后虽有轻微回弹，不但不会对炉丝带来损耗，更方便了炉丝拆下芯轴。使用本实施例的炉丝热绕装置，能够提高加热炉体的精度和使用寿命，满足当前半导体、太阳能电池行业发展的需要。
以上所述仅是本实用新型的优选实施方式，应当指出，对于本技术领域的普通技术人员来说，在不脱离本实用新型技术原理的前提下，还可以做出若干改进和替换，这些改进和替换也应视为本实用新型的保护范围。
Claims (7)
1.炉丝热绕装置，包括机床，设置在机床上的芯轴，以及与机床相连接的电机控制器，其特征在于，所述机床上还设置有通电电刷，待绕制炉丝穿过所述通电电刷；所述芯轴上设置有接地电刷，其一端与芯轴连接，另一端接地。
2.如权利要求1所述的炉丝热绕装置，其特征在于，还包括导向模块，设置在机床上，待绕制炉丝穿过所述导向模块。
3.如权利要求2所述的炉丝热绕装置，其特征在于，所述导向模块包括并列设置的前导向模块和后导向模块，待绕制炉丝依次穿过前导向模块和后导向模块。
4.如权利要求3所述的炉丝热绕装置，其特征在于，所述通电电刷设置在所述后导向模块上。
5.如权利要求1所述的炉丝热绕装置，其特征在于，还包括加热电源，其电极与所述通电电刷电连接，其接地极与所述接地电刷连接。
6.如权利要求1所述的炉丝热绕装置，其特征在于，所述通电电刷和接地电刷均采用铍青铜材料制作。
7.如权利要求1所述的炉丝热绕装置，其特征在于，所述电机控制器上加载有控制变频器。
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| CN103817270A (zh) * | 2014-03-05 | 2014-05-28 | 骆苏平 | 使用螺杆式夹紧装置并且进行热处理的炉丝弯曲工艺 |
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Assignee: Beijing Si Yuan Electrical electronic technology limited liability company Assignor: Qixinghuachuang Electronic Co., Ltd., Beijing Contract record no.: 2012990000723 Denomination of utility model: Hot-winding structure of furnace wire Granted publication date: 20120613 License type: Exclusive License Record date: 20120928 |
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