CN202224381U - 一种硅片清洗系统 - Google Patents
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Abstract
一种硅片清洗系统，包括供水装置，输入端与该供水装置相连通、用于提供纯水的纯水装置，输入端与纯水装置的输出端相连通、使用并消耗纯水的清洗机，以及输入端与供水装置直接相连的预冲洗机，所述污水处理系统还设置有输入端与纯水装置和清洗机的输出端相连通、用于存储和过滤的主储水槽，该主储水槽的输出端与所述预冲洗机的输入端相连通。本实用新型预冲洗机采用制纯水产生的RO水和清洗机产生的清洗废水组成的混合水作为主要水源，大大节约了水资源；且混合水携带有大量清洗机清洗过程中产生的热量，不需要预先进行加热，大大节约了加热需要的能量。
Description
技术领域
本实用新型涉及一种水处理系统，尤其涉及一种硅片清洗系统。
背景技术
硅片在投入生产前，必须进行极其彻底地清洁，传统的清洁工艺流程为：预冲洗、脱胶、插片、超声清洗、烘干。硅片从切片工序到清洗工序时，硅片表面上粘有砂浆，需要进行预冲洗将表面的砂浆冲洗干净，清洗过程如图1所示，砂浆上的主要成分为：PEG聚乙二醇、碳化硅、硅粉，为了防止在预冲洗过程中硅片造成裂片，需要对预冲洗机内常温约18°左右的自来水进行加热到33°左右；在超声清洗过程中，需要使用纯水，且每消耗的8吨纯水，需要从15吨自来水中生产得，并产生7吨RO水，而在超声清洗过程中，需要加入清洁剂。
这个工艺流程对水资源的利用率较低，浪费比较严重，且工艺中采用的药剂均对环境有污染，而污水未采取处理直接排放，对水资源的污染较严重。
实用新型内容
本实用新型为解决现有技术问题，提供一种节水效果好的硅片清洗系统。
本实用新型的技术方案是：一种硅片清洗系统，包括供水装置，输入端与该供水装置相连通、用于提供纯水的纯水装置，输入端与纯水装置的输出端相连通、使用并消耗纯水的清洗机，以及输入端与供水装置直接相连的预冲洗机，所述污水处理系统还设置有输入端与纯水装置和清洗机的输出端相连通、用于存储和过滤的主储水槽，该主储水槽的输出端与所述预冲洗机的输入端相连通。
纯水装置将普通自来水，制成纯水和RO水，其中，纯水输送至清洗机以供清洗机使用，并产生清洗后的废水，传统工艺中，RO水直接排放；预冲洗机对水质要求不高，直接从自来水供水处取水；本申请中主储水槽用于存储纯水装置产生的RO水和清洗机产生的废水，并产生混合水，该混合水供给预冲洗机使用，以大量节约自来水。传统工艺中，为减少裂片预冲洗机往往需要将温度在18℃左右的自来水加热至25℃才能使用，而清洗机在清洗过程中需要将纯水加热至60℃左右，如清洗机产生的废水直接排放，则废水中携带的热量直接散发至空气中，浪费极大，本申请中预冲洗机使用的混合水，携带了清洗机清洗过程中大量热量，混合水本身温度较高，不需要再进行加热，大大节省了加热需要的能源消耗。
作为优选，所述主储水槽包括前储水槽和后储水槽；该前储水槽的输入端与清洗机相连通，前储水槽的输出端与所述后储水槽的输入端相连通；所述后储水槽的输入端还与纯水装置相连通，后储水槽的输出端与所述预冲洗机的输入端相连通。
作为优选，所述前储水槽和后储水槽之间设置有辅过滤装置，该辅过滤装置为溢流过滤。作为清洗机的清洗机产生的清洗废水中包含有大量切片过程中使用的砂浆，经过溢流过滤后可清除这些砂浆，使得作为预冲洗机的预冲洗机冲洗效果更好。
作为优选，所述预冲洗机的输出端和主储水槽的输出端均连通有辅储水槽，该辅储水槽的输出端设置有总过滤装置。
作为优选，所述总过滤装置为溢流过滤。
综上所述，本实用新型具有以下优点：
1、预冲洗机采用制纯水产生的RO水和清洗机产生的清洗废水组成的混合水作为主要水源，大大节约了水资源；
2、预冲洗机采用的混合水携带有大量清洗机清洗过程中产生的热量，不需要预先进行加热，大大节约了加热需要的能量。
附图说明
图1为本实用新型传统工艺的清洗系统结构示意图；
图2为本实用新型结构示意图。
具体实施方式
下面结合附图以实施例对本实用新型作进一步说明。
一种硅片清洗系统，如图2所示，包括供水装置，以及输入端与该供水装置相连通、用于提供纯水的纯水装置，以及输入端与纯水装置的输出端相连通、使用并消耗纯水的清洗机，以及输入端与供水装置直接相连的预冲洗机，污水处理系统还设置有输入端与纯水装置和清洗机的输出端相连通、用于存储和过滤的主储水槽，主储水槽包括前储水槽和后储水槽，前储水槽和后储水槽之间设置有辅过滤装置，该辅过滤装置为溢流过滤；该前储水槽的输入端与清洗机的输出端相连通，前储水槽的输出端通过辅过滤装置与后储水槽的输入端相连通；后储水槽的输入端还与纯水装置相连通，后储水槽的输出端与预冲洗机的输入端相连通；预冲洗机的输出端和后储水槽的输出端均连通有辅储水槽，该辅储水槽的输出端设置有总过滤装置，总过滤装置为溢流过滤。
工作时，作为供水装置的水管提供自来水，输送至纯水装置，纯水装置将自来水制成纯水，同时产生RO水，将纯水输送至清洗机，将RO水输送至后储水槽；清洗机完成清洗后，将清洗过程中产生的温度较高的废水输送至前储水槽，废水在前储水槽经过沉淀，砂浆等杂质沉至前储水槽的底部，经过溢流过滤后，处于上层温度较高、无杂质的废水进入后储水槽中，并与温度较低的RO水混合，形成温度适中的混合水，输送至预冲洗机，当预冲洗机不需要用水时，后储水槽直接将混合水输送至辅储水槽，预冲洗机冲洗完成后产生污水，输送至辅储水槽，辅储水槽中的污水经过总过滤装置过滤，将污水中的有害物质分离，形成符合排放准备的可排放水。
Claims (5)
1.一种硅片清洗系统，包括供水装置，输入端与该供水装置相连通、用于提供纯水的纯水装置，输入端与纯水装置的输出端相连通、使用并消耗纯水的清洗机，以及输入端与供水装置直接相连的预冲洗机，其特征在于：所述污水处理系统还设置有输入端与纯水装置和清洗机的输出端相连通、用于存储和过滤的主储水槽，该主储水槽的输出端与所述预冲洗机的输入端相连通。
2.根据权利要求1所述硅片清洗系统，其特征在于：所述主储水槽包括前储水槽和后储水槽；该前储水槽的输入端与清洗机相连通，前储水槽的输出端与所述后储水槽的输入端相连通；所述后储水槽的输入端还与纯水装置相连通，后储水槽的输出端与所述预冲洗机的输入端相连通。
3.根据权利要求2所述硅片清洗系统，其特征在于：所述前储水槽和后储水槽之间设置有辅过滤装置，该辅过滤装置为溢流过滤。
4.根据权利要求1所述硅片清洗系统，其特征在于：所述预冲洗机的输出端和主储水槽的输出端均连通有辅储水槽，该辅储水槽的输出端设置有总过滤装置。
5.根据权利要求4所述硅片清洗系统，其特征在于：所述总过滤装置为溢流过滤。
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Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN109513707A (zh) * | 2018-12-30 | 2019-03-26 | 江苏华东耀皮玻璃有限公司 | 一种浮法玻璃冷端清洗工艺 |
| WO2019214532A1 (zh) * | 2018-05-08 | 2019-11-14 | 青岛海尔洗衣机有限公司 | 超声波清洗装置 |
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2011
- 2011-09-02 CN CN2011203280218U patent/CN202224381U/zh not_active Expired - Fee Related
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