CN202193837U - 一种多弧离子镀用双层复合结构钛铝靶材 - Google Patents
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Abstract
一种多弧离子镀用双层复合结构钛铝靶材，为双层复合结构，其上层是钛铝靶材层，下层是铝层；所述钛铝靶材层与铝层通过铝粉热压烧结连接。本实用新型可以使靶材的铝层满足各种机械加工要求，且能通过铝层实现靶材与基座之间散热良好。
Description
技术领域
本实用新型涉及镀膜靶材领域，尤其是涉及一种用于多弧离子镀的双层复合结构钛铝靶材。
背景技术
钛铝靶材是一种新型的合金靶材，可广泛用于工具、模具、刀具等物质的功能镀膜和装饰性镀膜；通常钛铝靶材在真空镀膜机上使用时，必须要先机械加工出高精度的螺纹、台阶、凹槽等不同形状的零件，才能将其固定在真空镀膜机的靶材基座上进行使用；但是现有钛铝合金靶材硬度很高，普通合金钢甚至是硬质合金的刀具都无法进行切削加工；同时，钛铝合金靶材很脆，在机械加工过程中如钻孔、攻丝、车螺纹等工艺时，它很容易崩裂、碎裂，造成加工的产品报废，既影响了工作效率，又增加了成本；因而限制了该靶材的应用。此外，多弧离子镀用钛铝靶材在使用过程中，会产生大量的热量，现有钛铝靶材没有设导热层，造成靶材与基座之间散热不良。
实用新型内容
本实用新型所要解决的技术问题是，提供一种能满足各种机械加工要求，且能实现靶材与基座之间散热良好的钛铝靶材。
本实用新型的钛铝靶材为双层复合结构，其上层是钛铝靶材层，下层是铝层；所述钛铝靶材层与铝层通过铝粉热压烧结连接。
本实用新型的优点：（1）在钛铝靶材层的下方连接有一层铝层后，由于铝的机械加工性能良好，可以在该层金属上加工出合格的螺纹、台阶等各种不同形状产品；（2）铝与钛铝合金热膨胀系数匹配，而且铝层的导热性能优良，可实现靶材与基座之间散热良好；（3）铝层与钛铝靶材界面通过热压烧结形成两层不同材料之间的冶金结合，在使用过程中可以很好的解决由于热膨胀不同引起的界面应力，不会与钛铝合金靶材之间发生开裂、分离和变形，具有良好的实际应用效果。
附图说明
图1 为本实用新型实施例结构示意图。
具体实施方式
以下结合附图及实施例对本实用新型作进一步说明。
实施例
本实施例之用于多弧离子镀的钛铝靶材结构为双层复合结构，其上层是钛铝靶材层1，下层是铝层2；所述钛铝靶材层与铝层通过铝粉热压烧结连接。
所述双层复合结构钛铝靶材加工过程如下：
按照需要进行机械加工的厚度计算出所需金属铝粉300g，将该金属铝粉铺在事先准备好的模具内，再将钛铝靶材也放入模具中与事先放入模具中的金属铝粉接触；然后对其施加5MPa的压力，同时将铝粉和钛铝靶材一起加热到800℃，保温10min，使金属铝粉与钛铝靶材实现相互扩散，从而在钛铝靶材的一端形成一个烧结好的金属铝层，获得一个双层复合结构的钛铝靶材。
Claims (1)
1.一种多弧离子镀的双层复合结构钛铝靶材，其特征在于：为双层复合结构，其上层是钛铝靶材层，下层是铝层；所述钛铝靶材层与铝层通过铝粉热压烧结连接。
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