CN202097670U - 一种硅晶圆加工用数控磨床节水装置 - Google Patents

一种硅晶圆加工用数控磨床节水装置 Download PDF

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Abstract

本实用新型公开了一种硅晶圆加工用数控磨床节水装置,包括接至数控磨床中需清洗部位的水路管道一、接至数控磨床中需冷却部位的水路管道二、安装在水路管道一上的电磁控制阀一、安装在水路管道二上的电磁控制阀二、对数控磨床中需冷却部位温度进行检测的温度检测单元、对数控磨床主驱动轴的转速进行检测的转速检测单元及控制器和参数输入单元,控制器根据转速检测单元和温度检测单元所检测信号对电磁控制阀一和电磁控制阀二的开闭状态和开度大小进行控制调整。本实用新型电路设计合理、接线方便、投入成本低且操作简便、使用效果好,将自来水供给状态与机床主轴的运转状态和机床上需冷却部位的温度状况关联起来,简便且有效地达到节水目的。

Description

一种硅晶圆加工用数控磨床节水装置
技术领域
本实用新型涉及一种节水装置,尤其是涉及一种硅晶圆加工用数控磨床节水装置。
背景技术
数控磨床是利用磨具对工件表面进行磨削加工的机床,大多数的数控磨床都是使用高速旋转的砂轮进行磨削加工,且上述砂轮通过驱动主轴与驱动电机进行传动连接。目前,市场上出现的许多数控磨床在实际使用过程中,都需用自来水,而使用自来水的作用主要是冷却和清洁,则供送自来水只需在数控磨床进行有效生产加工时进行。但是,目前数控磨床本身不能有效控制用水情况,因而实际使用过程中一旦打开水路控制阀门后,无论数控磨床处于有效生产加工状态还是处于有效生产加工状态,接通的水路均始终处于开通状态,这样便增加了生产成本,较大程度上浪费了水资源。
实用新型内容
本实用新型所要解决的技术问题在于针对上述现有技术中的不足,提供一种硅晶圆加工用数控磨床节水装置,其电路设计合理、接线方便、投入成本低且使用操作简便、使用效果好,将自来水的供给状态与机床主轴的运转状态和机床上需冷却部位的温度状况关联起来,能简单、方便且有效地达到节水目的。
为解决上述技术问题,本实用新型采用的技术方案是:一种硅晶圆加工用数控磨床节水装置,其特征在于:包括接至数控磨床中需清洗部位的水路管道一、接至数控磨床中需冷却部位的水路管道二、安装在所述水路管道一上的电磁控制阀一、安装在所述水路管道二上的电磁控制阀二、对所述数控磨床中需冷却部位温度进行实时检测的温度检测单元、对数控磨床主驱动轴的转速进行实时检测的转速检测单元、对所述电磁控制阀一和电磁控制阀二的开闭状态和开度大小进行控制调整的控制器以及与所述控制器相接的参数输入单元,所述温度检测单元、转速检测单元、电磁控制阀一和电磁控制阀二均与控制器相接,且控制器根据转速检测单元和温度检测单元所检测信号对电磁控制阀一和电磁控制阀二进行控制。
上述一种硅晶圆加工用数控磨床节水装置,其特征是:还包括分别对所述水路管道一和水路管道二的内部流程进行实时检测的流量检测单元一和流量检测单元二,所述流量检测单元一和流量检测单元二均与控制器相接。
上述一种硅晶圆加工用数控磨床节水装置,其特征是:所述控制器为所述数控磨床上所安装的主控计算机。
上述一种硅晶圆加工用数控磨床节水装置,其特征是:所述温度检测单元为安装在数控磨床中需冷却部位上的红外测温传感器,且转速检测单元为安装在所述主驱动轴上的编码器。
上述一种硅晶圆加工用数控磨床节水装置,其特征是:还包括与控制器进行双向通信的手持式遥控器,所述手持式遥控器与控制器之间通过无线通信模块进行连接。
上述一种硅晶圆加工用数控磨床节水装置,其特征是:还包括由控制器进行控制的告警提示单元,所述告警提示单元与控制器相接。
上述一种硅晶圆加工用数控磨床节水装置,其特征是:还包括与控制器相接的显示单元。
本实用新型与现有技术相比具有以下优点:
1、电路设计合理、接线方便且投入成本低。
2、使用操作简便,智能化程度较高,无需投入过多的人力和物力。
3、使用效果好,能根据数控磨床的实际运行状态和实际冷却需求,对水路管道的通断状态和流量进行控制调整,能大幅度减少水资源浪费。同时,无需人为对水路控制阀门进行手动控制,因而实际操作起来非常方便。因而,本实用新型将自来水的供给状态与机床主轴(即主驱动轴)的运转状态和机床上需冷却部位的温度状况联系起来,能简单、方便且有效地达到节水目的。
4、经济实用且推广应用前景广泛,能有效适用至其它类型的数控机床中。
综上所述,本实用新型电路设计合理、接线方便、投入成本低且使用操作简便、使用效果好,将自来水的供给状态与机床主轴的运转状态和机床上需冷却部位的温度状况关联起来,能简单、方便且有效地达到节水目的,大幅度减少数控磨床使用过程中的水资源浪费问题。
下面通过附图和实施例,对本实用新型的技术方案做进一步的详细描述。
附图说明
图1为本实用新型的电路原理框图。
附图标记说明:
1-电磁控制阀一;  2-电磁控制阀二;    3-转速检测单元;
4-控制器;        5-温度检测单元;    6-参数输入单元;
7-流量检测单元一;8-流量检测单元二;  9-告警提示单元;
10-显示单元;     11-手持式遥控器。
具体实施方式
如图1所示,本实用新型包括接至数控磨床中需清洗部位的水路管道一、接至数控磨床中需冷却部位的水路管道二、安装在所述水路管道一上的电磁控制阀一1、安装在所述水路管道二上的电磁控制阀二2、对所述数控磨床中需冷却部位温度进行实时检测的温度检测单元5、对数控磨床主驱动轴的转速进行实时检测的转速检测单元3、对所述电磁控制阀一1和电磁控制阀二2的开闭状态和开度大小进行控制调整的控制器4以及与所述控制器4相接的参数输入单元6,所述温度检测单元5、转速检测单元3、电磁控制阀一1和电磁控制阀二2均与控制器4相接,且控制器4根据转速检测单元3和温度检测单元5所检测信号对电磁控制阀一1和电磁控制阀二2进行控制。
本实施例中,本实用新型还包括分别对所述水路管道一和水路管道二的内部流程进行实时检测的流量检测单元一7和流量检测单元二8,所述流量检测单元一7和流量检测单元二8均与控制器4相接。
实际使用时,所述控制器4为所述数控磨床上所安装的主控计算机,因而无需单独设置控制器4。
实际布设安装时,所述温度检测单元5为安装在数控磨床中需冷却部位上的红外测温传感器,且转速检测单元3为安装在所述主驱动轴上的编码器。
同时,为实现远程操控,本实用新型还包括与控制器4进行双向通信的手持式遥控器11,所述手持式遥控器11与控制器4之间通过无线通信模块进行连接。
本实施例中,本实用新型还包括由控制器4进行控制的告警提示单元9,所述告警提示单元9与控制器4相接。同时,还包括与控制器4相接的显示单元10。实际使用时,为操作方便,所述显示单元10和参数输入单元6集成为触摸式显示屏。
实际使用过程中,通过转速检测单元3实时对主驱动轴的转速进行实时检测,与此同时温度检测单元5对所述数控磨床中需冷却部位温度进行实时检测,且将所检测转速信息和温度信息同步上传至控制器4,控制器4对所接收的转速信息和温度信息进行分析,并相应对电磁控制阀一1和电磁控制阀二2进行控制,具体控制过程是:当转速检测单元3检测到所述主驱动轴停止运转且温度检测单元5所检测信息未超过设计阈值时,则控制器4控制电磁控制阀一1和电磁控制阀二2关闭,并切断水路管道一和水路管道二;当转速检测单元3检测到所述主驱动轴开始运转时,则控制电磁控制阀一1和电磁控制阀二2关闭水路管道一和水路管道二打开,并接通水路管道一和水路管道二;当转速检测单元3检测到所述主驱动轴的转速逐渐增大时,则对电磁控制阀一1和电磁控制阀二2的阀门开度进行调整,使得水路管道一和水路管道二的流量逐渐增大;当转速检测单元3检测到所述主驱动轴停止运转,而温度检测单元5检测到需冷却部位温度超过设定阈值时,则控制电磁控制阀一1关闭,控制电磁控制阀二2打开。
另外,实际使用过程中,还通过流量检测单元一7和流量检测单元二8实时对水路管道一和水路管道二的流量进行实时检测,并将所检测的流量信息同步传送至控制器4,控制器4对所检测流量信息进行分析,当检测到水路管道一和水路管道二的流量信息与其控制达到的流量值不一致时,则控制告警提示单元9进行报警提示,同时,通过显示单元10可对各检测单元的检测数据以及控制器4的控制信息进行直观显示,以方便查询。
以上所述,仅是本实用新型的较佳实施例,并非对本实用新型作任何限制,凡是根据本实用新型技术实质对以上实施例所作的任何简单修改、变更以及等效结构变化,均仍属于本实用新型技术方案的保护范围内。

Claims (7)

1.一种硅晶圆加工用数控磨床节水装置,其特征在于:包括接至数控磨床中需清洗部位的水路管道一、接至数控磨床中需冷却部位的水路管道二、安装在所述水路管道一上的电磁控制阀一(1)、安装在所述水路管道二上的电磁控制阀二(2)、对所述数控磨床中需冷却部位温度进行实时检测的温度检测单元(5)、对数控磨床主驱动轴的转速进行实时检测的转速检测单元(3)、对所述电磁控制阀一(1)和电磁控制阀二(2)的开闭状态和开度大小进行控制调整的控制器(4)以及与所述控制器(4)相接的参数输入单元(6),所述温度检测单元(5)、转速检测单元(3)、电磁控制阀一(1)和电磁控制阀二(2)均与控制器(4)相接,且控制器(4)根据转速检测单元(3)和温度检测单元(5)所检测信号对电磁控制阀一(1)和电磁控制阀二(2)进行控制。
2.按照权利要求1所述的一种硅晶圆加工用数控磨床节水装置,其特征在于:还包括分别对所述水路管道一和水路管道二的内部流程进行实时检测的流量检测单元一(7)和流量检测单元二(8),所述流量检测单元一(7)和流量检测单元二(8)均与控制器(4)相接。
3.按照权利要求1或2所述的一种硅晶圆加工用数控磨床节水装置,其特征在于:所述控制器(4)为所述数控磨床上所安装的主控计算机。
4.按照权利要求1或2所述的一种硅晶圆加工用数控磨床节水装置,其特征在于:所述温度检测单元(5)为安装在数控磨床中需冷却部位上的红外测温传感器,且转速检测单元(3)为安装在所述主驱动轴上的编码器。
5.按照权利要求1或2所述的一种硅晶圆加工用数控磨床节水装置,其特征在于:还包括与控制器(4)进行双向通信的手持式遥控器(11),所述手持式遥控器(11)与控制器(4)之间通过无线通信模块进行连接。
6.按照权利要求1或2所述的一种硅晶圆加工用数控磨床节水装置,其特征在于:还包括由控制器(4)进行控制的告警提示单元(9),所述告警提示单元(9)与控制器(4)相接。
7.按照权利要求6所述的一种硅晶圆加工用数控磨床节水装置,其特征在于:还包括与控制器(4)相接的显示单元(10)。
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Cited By (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN104057397A (zh) * 2014-06-24 2014-09-24 无锡市崇安区科技创业服务中心 一种研磨防缺水装置
CN104503368A (zh) * 2014-12-09 2015-04-08 上海航天精密机械研究所 冷却液控制系统、数控机床及加工方法
CN104765391A (zh) * 2015-02-12 2015-07-08 重庆交通大学 机床加工刀具远程温度控制系统
CN104802092A (zh) * 2015-03-11 2015-07-29 东北大学 一种智能冷却液供给方法
CN107088825A (zh) * 2017-06-06 2017-08-25 上海华力微电子有限公司 化学机械研磨机台、温度控制系统及其温度控制方法
CN114029813A (zh) * 2021-11-25 2022-02-11 广东中旗新材料股份有限公司 一种石英石板材磨边倒角装置及使用方法

Cited By (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN104057397A (zh) * 2014-06-24 2014-09-24 无锡市崇安区科技创业服务中心 一种研磨防缺水装置
CN104503368A (zh) * 2014-12-09 2015-04-08 上海航天精密机械研究所 冷却液控制系统、数控机床及加工方法
CN104765391A (zh) * 2015-02-12 2015-07-08 重庆交通大学 机床加工刀具远程温度控制系统
CN104802092A (zh) * 2015-03-11 2015-07-29 东北大学 一种智能冷却液供给方法
CN104802092B (zh) * 2015-03-11 2017-04-05 东北大学 一种智能冷却液供给方法
CN107088825A (zh) * 2017-06-06 2017-08-25 上海华力微电子有限公司 化学机械研磨机台、温度控制系统及其温度控制方法
CN114029813A (zh) * 2021-11-25 2022-02-11 广东中旗新材料股份有限公司 一种石英石板材磨边倒角装置及使用方法

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