CN202091711U

CN202091711U - 泄液装置

Info

Publication number: CN202091711U
Application number: CN2011202000510U
Authority: CN
Inventors: 刘铁柱
Original assignee: Semiconductor Manufacturing International Shanghai Corp
Current assignee: Semiconductor Manufacturing International Shanghai Corp
Priority date: 2011-06-14
Filing date: 2011-06-14
Publication date: 2011-12-28
Anticipated expiration: 2021-06-14

Abstract

本实用新型公开了一种泄液装置。这种泄液装置用于连接排风管和排液管，其包括套管、活动挡板和挡板护栏，所述排风管的部分管段穿设于所述套管内部，所述挡板护栏固设于所述套管内部，所述挡板护栏和所述排风管具有一间隔空间，所述活动挡板位于所述排风管和挡板护栏之间的间隔空间内，所述活动挡板的面积大于排风管的出风口面积且小于套管的出风口面积。本实用新型相对现有的排风管和排液管直接相连的方式，不但可以实现排液的功能，而且可以在很大程度上防止排液管内的气体流入排风管内，确保排风管的负压正常和保证排风管不受腐蚀性气体侵蚀。

Description

泄液装置

技术领域

本实用新型涉及一种泄液装置。

背景技术

在半导体车间内安装有大量的排风管，这些排风管可以抽走机台生产过程产生的废气，以保证半导体车间内的空气质量达标。由于抽走的气体带有水分，所以，在排风管的末端连接已排液管。该排液管靠倾斜角使液体自然流动排出。

然而，现有的排风管和排液管的连接方式具有如下缺陷：

一方面，排风管为了排放废气，其内部需要处于负压状态下。而所述排液管是非密封管，因此为了保证排风管的负压状态，风机要消耗很多的额外能量才能保证排风管的负压值达到标准。

另一方面，在排风管为负压作用下，排液管内的腐蚀气态物质，也容易被吸入排风管，以致于加快排风管的腐蚀和老化。

因此，如何提供一种可以节能且减少排液管的废气回流的泄液装置是本领域技术人员亟待解决的一个技术问题。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种泄液装置，不但可以节能，而且可以减少排液管的废气回流。

为了达到上述的目的，本实用新型采用如下技术方案：

一种泄液装置，用于连接排风管和排液管，包括套管、活动挡板和挡板护栏，所述排风管的部分管段穿设于所述套管内部，所述挡板护栏固设于所述套管内部，所述挡板护栏和所述排风管具有一间隔空间，所述活动挡板位于所述排风管和挡板护栏之间的间隔空间内，所述活动挡板的面积大于排风管的出风口面积且小于套管的出风口面积。

在上述的泄液装置中，所述活动挡板包括圆形板和若干支撑凸板，所述若干支撑凸板设置于所述圆形板的周向边缘，所述圆形板的直径大于所述排风管的直径。气体可以从活动挡板的边缘空隙流动，即支撑凸板之间的空隙流动，从而保证活动挡板准确、牢靠地吸在所述排风管的出风口。

在上述的泄液装置中，所述支撑凸板均匀布设于所述圆形板的周向边缘，使得气体在活动挡板的周向均匀流动，从而保证活动挡板更加平稳、准确地吸在所述排风管的出风口。

在上述的泄液装置中，所述挡板护栏包括围圈和若干挡杆，所述若干挡杆间隔设置于所述围圈内。当活动挡板离开排风管压在挡板护栏上时，排风管的液体可以从活动挡板的周边间隙和挡板护栏内的间隙流入排液管。

在上述的泄液装置中，所述排风管与挡板护拦的距离小于所述活动挡板的外径，以防止活动挡板倾斜。

在上述的泄液装置中，所述排风管上设有进液阀门。在上述的泄液装置中，所述排液管上设有出液阀门。在对泄液装置进行更换、维护时，可将进液阀门和出液阀门关闭，以防止排风管的液体泄露和排液管出现反味。

在上述的泄液装置中，所述套管远离所述排风管的一端与所述排液管连接。

本实用新型的有益效果如下：

本实用新型泄液装置，将活动挡板设置于所述排风管和挡板护栏之间的间隔空间内，当排风管内无液体流出时，排风管内的负压气体将活动挡板吸在排风管的出风口，由于所述活动挡板的面积大于排风管的出风口面积且小于套管的出风口面积，因此，当活动挡板吸在排风管的出风口时，活动挡板可以覆盖所述排风管的出风口面积，从而将排风管封闭，即起到将排风管和套管及排液管隔离的作用。如此，一方面，排液管内的气体不能流入到排风管内，从而不会影响排风管的负压状态，因此，不需要额外的能量维护排风管内的负压处于正常状态，从而有效节约了能源。另一方面，活动挡板封闭所述排风管的出风口也可以防止排液管内的腐蚀性气体回流到排风管内，进而避免这些腐蚀性气体腐蚀排风管，延长了排风管的使用寿命。而排风管内有液体产生时，一旦液体的累积使得液体的重力大于排风管的气体对活动挡板的吸力时，活动挡板被上述液体压至挡板护拦上，上述液体便可以从活动挡板边缘的空隙和挡板护栏内的间隙流至排液管进行排放。当液体排完后，排风管的负压吸力会重新将活动挡板吸在所述排风管的出风口。如此，形成循环。

由此可见，本实用新型相对现有的排风管和排液管直接相连的方式，不但可以实现排液的功能，而且可以在很大程度上防止排液管内的气体流入排风管内，确保排风管的负压正常和保证排风管不受腐蚀性气体侵蚀。

附图说明

本实用新型的泄液装置由以下的实施例及附图给出。

图1为本实用新型的泄液装置结构的实施例的示意图；

图2为活动挡板的结构示意图；

图3为挡板护栏的结构示意图。

具体实施方式

以下将对本实用新型的泄液装置作进一步的详细描述。

下面将参照附图对本实用新型进行更详细的描述，其中表示了本实用新型的优选实施例，应该理解本领域技术人员可以修改在此描述的本实用新型而仍然实现本实用新型的有利效果。因此，下列描述应当被理解为对于本领域技术人员的广泛知道，而并不作为对本实用新型的限制。

为了清楚，不描述实际实施例的全部特征。在下列描述中，不详细描述公知的功能和结构，因为它们会使本实用新型由于不必要的细节而混乱。应当认为在任何实际实施例的开发中，必须作出大量实施细节以实现开发者的特定目标，例如按照有关系统或有关商业的限制，由一个实施例改变为另一个实施例。另外，应当认为这种开发工作可能是复杂和耗费时间的，但是对于本领域技术人员来说仅仅是常规工作。

为使本实用新型的目的、特征更明显易懂，下面结合附图对本实用新型的具体实施方式作进一步的说明。需说明的是，附图均采用非常简化的形式且均使用非精准的比率，仅用以方便、明晰地辅助说明本实用新型实施例的目的。

请参阅图1，图1所示为本实用新型的泄液装置结构的实施例的示意图。这种泄液装置，用于连接排风管4和排液管5，包括套管1、活动挡板2和挡板护栏3，所述排风管4的部分管段穿设于所述套管1内部，所述套管1远离所述排风管4的一端与所述排液管5连接，所述挡板护栏3固设于所述套管1内部，所述挡板护栏3和所述排风管4具有一间隔空间，所述活动挡板2位于所述排风管4和挡板护栏3之间的间隔空间内，所述活动挡板2的面积大于排风管4的出风口面积且小于套管1的出风口面积。

请参阅图2，图2为活动挡板的结构示意图。本实施例中，所述活动挡板2包括圆形板21和若干支撑凸板22，所述若干支撑凸板22设置于所述圆形板21的周向边缘，所述圆形板21的直径大于所述排风管4的直径。当活动挡板2压在所述挡板护栏3时，排液管5内的气体可以从活动挡板2的边缘空隙流动，即支撑凸板22之间的空隙流动，从而保证活动挡板2准确、牢靠地吸在所述排风管4的出风口，从而封闭所述排风管4。优选，所述支撑凸板22均匀布设于所述圆形板21的周向，从而保证活动挡板2更加平稳、准确地吸在所述排风管4的出风口。

请参阅图3，图3所示为挡板护栏3的结构示意图。本实施例中，所述挡板护栏3包括围圈31和若干挡杆32，所述若干挡杆32间隔设置于所述围圈31内。本实施例中，所述挡杆32设有两根。当活动挡板2离开排风管4压在挡板护栏3上时，排风管4的液体可以从活动挡板2的周边间隙和挡板护栏3内的间隙流入排液管5。

继续参考图1，本实施例中，所述排风管4与挡板护拦3的距离小于活动挡板2的外径，从而可以防止活动挡板2倾斜。

继续参考图1，本实施例中，所述排风管4上设有进液阀门6。所述排液管5上设有出液阀门7。在对泄液装置进行更换、维护时，可将进液阀门6和出液阀门7关闭，以防止排风管4的液体泄露和排液管5出现反味。

本实用新型的泄液装置的使用方法如下：

请参阅图1～图3，当排风管4内无液体流出时，排风管4内的负压气体将活动挡板2吸在排风管4的出风口，由于所述活动挡板2的面积大于排风管4的出风口面积并小于套管1的出风口面积，因此，当活动挡板2吸在排风管4的出风口时，活动挡板2可以覆盖所述排风管4的出风口面积，从而将排风管4封闭，即起到将排风管4和套管1及排液管5隔离的作用。此时，密封性不强的排液管5内的气体不能流入到排风管4内，从而不会影响排风管4的负压状态，因此，不需要额外的能量维护排风管4内的负压处于正常状态，有效节约了能源。另一方面，活动挡板2封闭所述排风管4的出风口也可以防止排液管5内的腐蚀性气体回流到排风管4内，进而避免这些腐蚀性气体腐蚀排风管4，延长了排风管4的使用寿命。

而排风管4内有液体产生时，一旦液体的累积使得液体的重力大于排风管4的气体对活动挡板2的吸力时，活动挡板2被上述液体压至挡板护拦3，上述液体便经活动挡板2边缘的空隙和挡板护栏3内的间隙流至排液管5。当液体排完后，排风管4的负压吸力会重新将活动挡板2吸在所述排风管4的出风口。如此，形成循环。

显然，本领域的技术人员可以对本实用新型进行各种改动和变型而不脱离本实用新型的精神和范围。这样，倘若本实用新型的这些修改和变型属于本实用新型权利要求及其等同技术的范围之内，则本实用新型也意图包含这些改动和变型在内。

Claims

1.一种泄液装置，用于连接排风管和排液管，其特征在于，包括套管、活动挡板和挡板护栏，所述排风管的部分管段穿设于所述套管内部，所述挡板护栏固设于所述套管内部，所述挡板护栏和所述排风管具有一间隔空间，所述活动挡板位于所述排风管和挡板护栏之间的间隔空间内，所述活动挡板的面积大于排风管的出风口面积且小于套管的出风口面积。

2.根据权利要求1所述的泄液装置，其特征在于，所述活动挡板包括圆形板和若干支撑凸板，所述若干支撑凸板设置于所述圆形板的周向边缘，所述圆形板的直径大于所述排风管的直径。

3.根据权利要求1所述的泄液装置，其特征在于，所述挡板护栏包括围圈和若干挡杆，所述若干挡杆间隔设置于所述围圈内。

4.根据权利要求1所述的泄液装置，其特征在于，所述排风管与挡板护拦的距离小于所述活动挡板的外径。

5.根据权利要求1所述的泄液装置，其特征在于，所述排风管上设有进液阀门。

6.根据权利要求1所述的泄液装置，其特征在于，所述排液管上设有出液阀门。

7.根据权利要求1-6中任一项所述的泄液装置，其特征在于，所述套管远离所述排风管的一端与所述排液管连接。