CN202072764U - 一种金属有机物化学气相沉积设备放空压力控制装置 - Google Patents
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C14 | Grant of patent or utility model | ||
GR01 | Patent grant | ||
EE01 | Entry into force of recordation of patent licensing contract |
Assignee: Shanghai Yongsheng Semiconductor Equipment Co.,Ltd. Assignor: Shanghai Lanbao Photoelectric Materials Co., Ltd. Contract record no.: 2011310000174 Denomination of utility model: Pressure emptying control device of chemical vapor deposition equipment for metal organics Granted publication date: 20111214 License type: Exclusive License Record date: 20110831 |
|
C17 | Cessation of patent right | ||
CF01 | Termination of patent right due to non-payment of annual fee |
Granted publication date: 20111214 Termination date: 20120929 |