CN202059594U - 一种石英加热槽 - Google Patents

一种石英加热槽 Download PDF

Info

Publication number
CN202059594U
CN202059594U CN2011201334571U CN201120133457U CN202059594U CN 202059594 U CN202059594 U CN 202059594U CN 2011201334571 U CN2011201334571 U CN 2011201334571U CN 201120133457 U CN201120133457 U CN 201120133457U CN 202059594 U CN202059594 U CN 202059594U
Authority
CN
China
Prior art keywords
quartzy
tank
heating tank
quartz
resistive heater
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Expired - Lifetime
Application number
CN2011201334571U
Other languages
English (en)
Inventor
沈法松
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
SUZHOU KC QUARTZ ELECTRONICS CO Ltd
Original Assignee
SUZHOU KC QUARTZ ELECTRONICS CO Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by SUZHOU KC QUARTZ ELECTRONICS CO Ltd filed Critical SUZHOU KC QUARTZ ELECTRONICS CO Ltd
Priority to CN2011201334571U priority Critical patent/CN202059594U/zh
Application granted granted Critical
Publication of CN202059594U publication Critical patent/CN202059594U/zh
Anticipated expiration legal-status Critical
Expired - Lifetime legal-status Critical Current

Links

Images

Landscapes

  • Resistance Heating (AREA)
  • Control Of Resistance Heating (AREA)

Abstract

本实用新型涉及一种石英加热槽，包括石英槽体和设置在石英槽体内的热电偶护管，石英槽体在底部具有排液口，所述的石英加热槽还包括贴设在石英槽体外表面的加热电阻丝、设置在加热电阻丝外周的 PP 塑料层以及填充在加热电阻丝与 PP 塑料层之间的石英棉层，所述石英加热槽还包括穿过 PP 塑料层、石英棉层以及加热电阻丝而与所述排液口连通的排液管。本实用新型的加热槽在石英槽体的外表面贴设加热电阻丝，且还设置了石英棉保温层，保温效果好，保证芯片在酸洗过程中的保温时间。

Description

一种石英加热槽
技术领域
本实用新型涉及一种石英加热槽。
背景技术
在半导体行业中，芯片的酸洗通常在石英加热槽中进行。石英加热槽一般包括石英槽体和设置在石英槽体内的热电偶护管，石英槽体的底部开设有排液口。该种结构的石英加热槽温度下降快，保温效果差，导致芯片酸洗成本较高，且浪费电能。
发明内容
本实用新型所要解决的技术问题是克服现有技术的不足，提供一种保温效果好的石英加热槽。
为解决上述技术问题，本实用新型采用如下技术方案：
一种石英加热槽，包括石英槽体和设置在石英槽体内的热电偶护管，石英槽体在底部具有排液口，所述的石英加热槽还包括贴设在石英槽体外表面的加热电阻丝、设置在加热电阻丝外周的PP塑料层以及填充在加热电阻丝与PP塑料层之间的石英棉层，所述石英加热槽还包括穿过PP塑料层、石英棉层以及加热电阻丝而与所述排液口连通的排液管。
优选地，所述加热电阻线的材质为镍铬丝。
由于采用以上技术方案的实施，本实用新型与现有技术相比具有如下优点：本实用新型的加热槽在石英槽体的外表面贴设加热电阻丝，对加热电阻丝通电，则加热电阻丝与石英棉保温层一起保证槽体的保温效果，从而保证芯片在酸洗过程中的保温时间。
附图说明
    下面结合具体的实施例，对本实用新型做进一步详细的说明。
图1为根据本实用新型的石英加热槽的主剖示意图；
其中：1、石英槽体；2、热电偶护管；10、排液口；3、加热电阻丝；4、PP塑料层；5、石英棉层；6、排液管；7、电线出线口。
具体实施方式
如图1所示，按照本实施例的石英加热槽包括石英槽体1、设置在石英槽体1内的热电偶护管2、贴设在石英槽体1外表面的加热电阻丝3、设置在加热电阻丝3外周的PP塑料层4以及填充在加热电阻丝3与PP塑料层4之间的石英棉层5。石英槽体1的底部中间位置设有排液口10，石英加热槽还包括穿过PP塑料层4、石英棉层5以及加热电阻丝3而与排液口10连通的排液管6。另外，在PP塑料层4上还设有电线出线口7。加热电阻丝3的材质为镍铬丝。
本实用新型的加热槽在石英槽体的外表面贴设加热电阻丝，且还设置了石英棉保温层，保温效果好，保证芯片在酸洗过程中的保温时间。
以上对本实用新型做了详尽的描述，其目的在于让熟悉此领域技术的人士能够了解本实用新型的内容并加以实施，并不能以此限制本实用新型的保护范围，凡根据本实用新型的精神实质所作的等效变化或修饰，都应涵盖在本实用新型的保护范围内。

Claims (2)

1.一种石英加热槽，包括石英槽体（1）和设置在所述石英槽体（1）内的热电偶护管（2），所述石英槽体（1）在底部具有排液口（10），其特征在于：所述的石英加热槽还包括贴设在所述石英槽体（1）外表面的加热电阻丝（3）、设置在所述加热电阻丝（3）外周的PP塑料层（4）以及填充在所述加热电阻丝（3）与所述PP塑料层（4）之间的石英棉层（5），所述石英加热槽还包括穿过所述PP塑料层（4）、石英棉层（5）以及加热电阻丝（3）而与所述排液口（10）连通的排液管（6）。
2.根据权利要求1所述的石英加热槽，其特征在于：所述的加热电阻丝（3）的材质为镍铬丝。
CN2011201334571U 2011-04-29 2011-04-29 一种石英加热槽 Expired - Lifetime CN202059594U (zh)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
CN2011201334571U CN202059594U (zh) 2011-04-29 2011-04-29 一种石英加热槽

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
CN2011201334571U CN202059594U (zh) 2011-04-29 2011-04-29 一种石英加热槽

Publications (1)

Publication Number Publication Date
CN202059594U true CN202059594U (zh) 2011-11-30

Family

ID=45019556

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
CN2011201334571U Expired - Lifetime CN202059594U (zh) 2011-04-29 2011-04-29 一种石英加热槽

Country Status (1)

Country Link
CN (1) CN202059594U (zh)

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN102201329A (zh) * 2011-04-29 2011-09-28 苏州凯西石英电子有限公司 石英加热槽

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN102201329A (zh) * 2011-04-29 2011-09-28 苏州凯西石英电子有限公司 石英加热槽
CN102201329B (zh) * 2011-04-29 2012-10-10 苏州凯西石英电子有限公司 石英加热槽

Similar Documents

Publication Publication Date Title
CN202059594U (zh) 一种石英加热槽
CN102201329B (zh) 石英加热槽
CN204240569U (zh) 双螺旋板式电加热器
CN203963892U (zh) 蒸汽发生器
CN208904189U (zh) 一种电池模组的热电型片状温控结构
CN203342785U (zh) 一种利用反应釜余热的保温储料罐
CN202009504U (zh) 一种石英玻璃加热管
CN203763864U (zh) 一种浓缩器
CN203290747U (zh) 一种带有储水罐的饮水机
CN203532991U (zh) 一种冷热水用聚丙烯管材
CN202714660U (zh) 一种用电热水加热的保温饭盒
CN203448331U (zh) 石英玻璃加热清洗槽
CN202823337U (zh) 一种加热釜
CN202581903U (zh) 一种双重换热太阳能热水器壁挂水箱
CN204253851U (zh) 导流板式全夹套
CN202953317U (zh) 一种自动化升温且保温箱子
CN203148041U (zh) 储热式热水器水箱结构
CN202714746U (zh) 双层真空保温容器
CN202935803U (zh) 流质油用保温储存装置
CN202807479U (zh) 可提高出水温度的储热水箱
CN202382414U (zh) 一种电加热器新型内胆
CN202813838U (zh) 平板太阳能集热器保温水箱
CN203254584U (zh) 一种太阳能水箱发泡内部充热装置
CN202284862U (zh) 一种双内胆的太阳能联箱
CN205191959U (zh) 太阳能热水缸

Legal Events

Date Code Title Description
C14 Grant of patent or utility model
GR01 Patent grant
AV01 Patent right actively abandoned

Granted publication date: 20111130

Effective date of abandoning: 20121010