CN102201329B - 石英加热槽 - Google Patents

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Abstract

本发明涉及一种石英加热槽，包括石英槽体和设置在石英槽体内的热电偶护管，石英槽体在底部具有排液口，所述的石英加热槽还包括贴设在石英槽体外表面的加热电阻丝、设置在加热电阻丝外周的 PP 塑料层以及填充在加热电阻丝与 PP 塑料层之间的石英棉层，所述石英加热槽还包括穿过 PP 塑料层、石英棉层以及加热电阻丝而与所述排液口连通的排液管。本发明的加热槽在石英槽体的外表面贴设加热电阻丝，且还设置了石英棉保温层，保温效果好，保证芯片在酸洗过程中的保温时间。

Description

石英加热槽
技术领域
本发明涉及一种石英加热槽。
背景技术
在半导体行业中，芯片的酸洗通常在石英加热槽中进行。石英加热槽一般包括石英槽体和设置在石英槽体内的热电偶护管，石英槽体的底部开设有排液口。该种结构的石英加热槽温度下降快，保温效果差，导致芯片酸洗成本较高，且浪费电能。
发明内容
本发明所要解决的技术问题是克服现有技术的不足，提供一种保温效果好的石英加热槽。
为解决上述技术问题，本发明采用如下技术方案：
一种石英加热槽，包括石英槽体和设置在石英槽体内的热电偶护管，石英槽体在底部具有排液口，所述的石英加热槽还包括贴设在石英槽体外表面的加热电阻丝、设置在加热电阻丝外周的PP塑料层以及填充在加热电阻丝与PP塑料层之间的石英棉层，所述石英加热槽还包括穿过PP塑料层、石英棉层以及加热电阻丝而与所述排液口连通的排液管。
优选地，所述加热电阻线的材质为镍铬丝。
由于采用以上技术方案的实施，本发明与现有技术相比具有如下优点：本发明的加热槽在石英槽体的外表面贴设加热电阻丝，对加热电阻丝通电，则加热电阻丝与石英棉保温层一起保证槽体的保温效果，从而保证芯片在酸洗过程中的保温时间。
附图说明
   下面结合具体的实施例，对本发明做进一步详细的说明。
图1为根据本发明的石英加热槽的主剖示意图；
其中：1、石英槽体；2、热电偶护管；10、排液口；3、加热电阻丝；4、PP塑料层；5、石英棉层；6、排液管；7、电线出线口。
具体实施方式
如图1所示，按照本实施例的石英加热槽包括石英槽体1、设置在石英槽体1内的热电偶护管2、贴设在石英槽体1外表面的加热电阻丝3、设置在加热电阻丝3外周的PP塑料层4以及填充在加热电阻丝3与PP塑料层4之间的石英棉层5。石英槽体1的底部中间位置设有排液口10，石英加热槽还包括穿过PP塑料层4、石英棉层5以及加热电阻丝3而与排液口10连通的排液管6。另外，在PP塑料层4上还设有电线出线口7。加热电阻丝3的材质为镍铬丝。
本发明的加热槽在石英槽体的外表面贴设加热电阻丝，且还设置了石英棉保温层，保温效果好，保证芯片在酸洗过程中的保温时间。
以上对本发明做了详尽的描述，其目的在于让熟悉此领域技术的人士能够了解本发明的内容并加以实施，并不能以此限制本发明的保护范围，凡根据本发明的精神实质所作的等效变化或修饰，都应涵盖在本发明的保护范围内。

Claims (2)

1.一种石英加热槽，包括石英槽体（1）和设置在所述石英槽体（1）内的热电偶护管（2），所述石英槽体（1）在底部具有排液口（10），其特征在于：所述的石英加热槽还包括贴设在所述石英槽体（1）外表面的加热电阻丝（3）、设置在所述加热电阻丝（3）外周的PP塑料层（4）以及填充在所述加热电阻丝（3）与所述PP塑料层（4）之间的石英棉层（5），所述石英加热槽还包括穿过所述PP塑料层（4）、石英棉层（5）以及加热电阻丝（3）而与所述排液口（10）连通的排液管（6）。
2.根据权利要求1所述的石英加热槽，其特征在于：所述的加热电阻丝（3）的材质为镍铬丝。
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