CN202045768U - 一种切割线张力控制装置 - Google Patents

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杨福占
董秀建
张静波
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Abstract

本实用新型涉及一种切割线张力控制装置,属于晶片生产设备技术领域。技术方案是包含摆杆(1)、拉弹簧(2)、导轮(3)、切割线(4)、张力传感器(5)、伺服电机,摆杆的一端铰接,另一端设置在上下两段拉弹簧之间,拉弹簧张紧导轮,导轮与伺服电机之间通过切割线连接,张力传感器匹配在切割线上。本实用新型通过动态循环微调控制切割线稳定性,通过摆杆实现切割线的精确定位,动态定位,调节张力的同时保持切割线的稳定性,保证切割质量。

Description

一种切割线张力控制装置
[0001] 技术领域
[0002] 本实用新型涉及一种切割线张力控制装置,属于晶片生产设备技术领域。
[0003] 背景技术
[0004] 目前,背景技术的晶片切割机上的切割线定位,一般采用张力传感器,调整切割线的松紧程度以控制切割线的张力,来获得切割材料的切割面。存在问题是:切割线的位置设定相对单一,位置属静态固定,调整幅度小。
[0005] 实用新型内容
[0006] 本实用新型目的是提供一种切割线张力控制装置,精确定位,动态定位,调节张力的同时保持切割线的稳定性,保证切割质量,解决背景技术中存在的上述问题。
[0007] 本实用新型的技术方案是:一种切割线张力控制装置,包含摆杆、拉弹簧、导轮、切割线、张力传感器、伺服电机,摆杆的一端铰接,另一端设置在上下两段拉弹簧之间,拉弹簧张紧导轮,导轮与伺服电机之间通过切割线连接,张力传感器匹配在切割线上。
[0008] 所说的伺服电机包括供线轮伺服电机和收线轮伺服电机。
[0009] 本实用新型通过摆杆的上下摆动,改变拉弹簧的拉力来调整切割线的张力,张力传感器将采集到的切割线的张力信号,控制调整伺服电机转速,使之与切割线的工作相适应,切割线张力加大或缩小再反馈到摆杆,循环动态微调,最终不断保障切割线的张力和切割位置,使得切割线张力适合所切割的晶体材料,实现切割线的精确定位,动态定位。
[0010] 本实用新型的有益效果:本实用新型通过动态循环微调控制切割线稳定性,通过摆杆实现切割线的精确定位,动态定位,调节张力的同时保持切割线的稳定性,保证切割质量。
[0011] 附图说明
[0012] 附图1是本实用新型实施例的结构示意图;
[0013] 图中:摆杆1、拉弹簧2、导轮3、切割线4、张力传感器5、供线轮伺服电机6、收线轮伺服电机7。
[0014] 具体实施方式
[0015] 以下结合附图,通过实施例对本实用新型作进一步说明。
[0016] 一种切割线张力控制装置,包含摆杆1、拉弹簧2、导轮3、切割线4、张力传感器5、 伺服电机,摆杆的一端铰接,另一端设置在上下两段拉弹簧之间,拉弹簧张紧导轮,导轮与伺服电机之间通过切割线连接,张力传感器匹配在切割线上。所说的伺服电机包括供线轮伺服电机6和收线轮伺服电机7。本实用新型通过摆杆的上下摆动,改变拉弹簧的拉力来调整切割线的张力,张力传感器将采集到的切割线的张力信号,控制调整伺服电机转速,使之与切割线的工作相适应,切割线张力加大或缩小再反馈到摆杆,循环动态微调,最终不断保障切割线的张力和切割位置,使得切割线张力适合所切割的晶体材料,实现切割线的精确定位,动态定位。

Claims (2)

1. 一种切割线张力控制装置,其特征在于包含摆杆(1)、拉弹簧(2)、导轮(3)、切割线 (4)、张力传感器(5)、伺服电机,摆杆的一端铰接,另一端设置在上下两段拉弹簧之间,拉弹簧张紧导轮,导轮与伺服电机之间通过切割线连接,张力传感器匹配在切割线上。
2.根据权利要求1所述之切割线张力控制装置,其特征在于所说的伺服电机包括供线轮伺服电机(6 )和收线轮伺服电机(7 )。
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Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN102615728A (zh) * 2012-03-30 2012-08-01 湖南红太阳光电科技有限公司 一种晶体硅剖方机切割线张力控制装置
CN106624223A (zh) * 2016-12-26 2017-05-10 中国地质大学(武汉) 一种测量和稳定电极丝张力的方法
CN109773988A (zh) * 2019-03-07 2019-05-21 徐克军 一种金刚石线切割机导线轮的安装结构

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