CN202039156U - 单晶炉绳轮同步装置 - Google Patents
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Abstract
本实用新型涉及单晶硅领域，尤其涉及一种单晶炉部件。一种单晶炉绳轮同步装置，包括输入动力、滚动花键轴、螺母、籽晶腔体、绳轮和磁流体，所述的螺母固定安装在籽晶腔体内，所述滚动花键轴一端安装在籽晶腔体内，滚动花键轴另一端伸出籽晶腔体与输入动力相连，所述磁流体密封连接滚动花键轴和籽晶腔体，所述绳轮设置在籽晶腔体内固定套装在滚动花键轴上，绳轮上设有与螺母的螺纹相配合的绳槽，绳轮与螺母构成移动副，螺纹的螺距和绳槽的间距相同。本实用新型确保了传动精度，保证了在籽晶绳升降过程中，籽晶绳的中心保持不动，有效的提高了作业的简单化，减少维修的复杂程度，提高了单晶硅晶棒的精度和成棒效率。
Description
技术领域
本实用新型涉及单晶硅领域，尤其涉及一种单晶炉部件。
背景技术
单晶炉是多晶硅转化为单晶硅工艺过程中的必备设备，而单晶硅又是光伏发电和半导体行业中的基础原料。单晶硅作为现代信息社会的关键支撑材料，是目前世界上最重要的单晶材料之一，它不仅是发展计算机与集成电路的主要功能材料，也是光伏发电利用太阳能的主要功能材料。
在硅单晶拉制过程中，籽晶绳的上升下降与绳轮的旋转及左右移动需同步进行，保证单晶硅晶棒的精度及成棒效率，所以需要一个绳轮同步装置来实现，现有绳轮同步装置，都是采用复杂的机械结构来实现，维修复杂，容易造成传输不稳定等现象。
发明内容
本实用新型所要解决的技术问题是提供一种单晶炉绳轮同步装置，该装置中绳轮的绳槽间距与梯形螺纹的螺距相同，确保了传动精度，保证了在籽晶绳升降过程中，籽晶绳的中心保持不动。
本实用新型是这样实现的：一种单晶炉绳轮同步装置，包括输入动力、滚动花键轴、螺母、籽晶腔体、绳轮和磁流体，所述的螺母固定安装在籽晶腔体内，所述滚动花键轴一端安装在籽晶腔体内，滚动花键轴另一端伸出籽晶腔体与输入动力相连，所述磁流体密封连接滚动花键轴和籽晶腔体，所述绳轮设置在籽晶腔体内固定套装在滚动花键轴上，绳轮上设有与螺母的螺纹相配合的绳槽，绳轮与螺母构成移动副，螺纹的螺距和绳槽的间距相同。
所述绳轮上的螺纹为梯形螺纹。
本实用新型单晶炉绳轮同步装置中绳轮的绳槽间距与梯形螺纹的螺距相同，制造时一次装夹通过数控机床即能完成绳轮的加工，确保了传动精度，保证了在籽晶绳升降过程中，籽晶绳的中心保持不动，有效的提高了作业的简单化，减少维修的复杂程度，提高了单晶硅晶棒的精度和成棒效率。
附图说明
图1为本实用新型结构示意图。
图中：1输入动力、2滚动花键轴、3螺母、4籽晶腔体、5绳轮、6磁流体。
具体实施方式
下面结合具体实施例，进一步阐述本实用新型。应理解，这些实施例仅用于说明本实用新型而不用于限制本实用新型的范围。此外应理解，在阅读了本实用新型表述的内容之后，本领域技术人员可以对本实用新型作各种改动或修改，这些等价形式同样落于本申请所附权利要求书所限定的范围。
实施例1
如图1所示，一种单晶炉绳轮同步装置，包括输入动力1、滚动花键轴2、螺母3、籽晶腔体4、绳轮5和磁流体6，所述的螺母3固定安装在籽晶腔体4内，所述滚动花键轴2一端安装在籽晶腔体4内，滚动花键轴2另一端伸出籽晶腔体4与输入动力1相连，所述磁流体6密封连接滚动花键轴2和籽晶腔体4，所述绳轮5设置在籽晶腔体4内固定套装在滚动花键轴2上，，绳轮5上设有与螺母3的螺纹相配合的绳槽，绳轮5与螺母3构成移动副，螺纹的螺距和绳槽的间距相同；在本实施例中，所述绳轮5上的螺纹为梯形螺纹，以提高螺纹的耐磨能力，延长使用寿命。
工作时，输入动力1提供动力，通过滚动花键轴2带动绳轮5左右移动，绳轮5上的梯形螺纹与螺母3配合，因螺母3固定在籽晶腔体4上，从而同步带动绳轮5旋转。
Claims (2)
1.一种单晶炉绳轮同步装置，其特征是：包括输入动力(1)、滚动花键轴(2)、螺母(3)、籽晶腔体(4)、绳轮(5)和磁流体(6)，所述的螺母(3)固定安装在籽晶腔体(4)内，所述滚动花键轴(2)一端安装在籽晶腔体(4)内，滚动花键轴(2)另一端伸出籽晶腔体(4)与输入动力(1)相连，所述磁流体(6)密封连接滚动花键轴(2)和籽晶腔体(4)，所述绳轮(5)设置在籽晶腔体(4)内固定套装在滚动花键轴(2)上，绳轮(5)上设有与螺母(3)的螺纹相配合的绳槽，绳轮(5)与螺母(3)构成移动副，螺纹的螺距和绳槽的间距相同。
2.如权利要求1所述的单晶炉绳轮同步装置，其特征是：所述绳轮(5)上的螺纹为梯形螺纹。
Priority Applications (1)
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Applications Claiming Priority (1)
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| CN2011201212610U CN202039156U (zh) | 2011-04-22 | 2011-04-22 | 单晶炉绳轮同步装置 |
Publications (1)
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| CN202039156U true CN202039156U (zh) | 2011-11-16 |
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ID=44966610
Family Applications (1)
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| CN2011201212610U Expired - Lifetime CN202039156U (zh) | 2011-04-22 | 2011-04-22 | 单晶炉绳轮同步装置 |
Country Status (1)
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| CN (1) | CN202039156U (zh) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN114959883A (zh) * | 2022-05-17 | 2022-08-30 | 上海汉虹精密机械有限公司 | 一种半导体硅单晶炉的籽晶提拉机构 |
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2011
- 2011-04-22 CN CN2011201212610U patent/CN202039156U/zh not_active Expired - Lifetime
Cited By (2)
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|---|---|---|---|---|
| CN114959883A (zh) * | 2022-05-17 | 2022-08-30 | 上海汉虹精密机械有限公司 | 一种半导体硅单晶炉的籽晶提拉机构 |
| CN114959883B (zh) * | 2022-05-17 | 2024-02-06 | 上海汉虹精密机械有限公司 | 一种半导体硅单晶炉的籽晶提拉机构 |
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Legal Events
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Granted publication date: 20111116 |