CN202038992U - 石墨件腐蚀清洗机 - Google Patents
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Abstract
本实用新型公开了一种石墨件腐蚀清洗机，包括腐蚀室(1)和清洗室(2)，所述腐蚀室(1)和清洗室(2)分别设有腐蚀槽(11)和清洗槽(21)，腐蚀槽(11)和清洗槽(21)内均设有升降装置(4)。本实用新型提供的石墨件腐蚀清洗机采用在花篮和槽体(腐蚀槽和清洗槽)之间添加了一种升降装置从而优化了设计，使操作更简便，使操作者远离了王水的腐蚀，劳动强度相应的减少，且提高了生产效率。
Description
技术领域
本实用新型涉及多晶硅制造设备技术领域，特别涉及一种石墨件腐蚀清洗机。
背景技术
多晶硅是制备半导体器件和太阳能电池的原材料，是全球电子工业及光伏产业的基石。多晶硅按照纯度和用途可分为太阳能级多晶硅和电子级多晶硅。在运行还原炉生产多晶硅之前，首先要将石墨件(由石墨底座和石墨卡瓣组成，是在还原炉中装载硅芯的载体)安装在还原炉的底盘上，然后将硅芯固定在石墨件上。所以说石墨件是生产多晶硅的必需品。在生产出完整的多晶硅之后，安装在还原炉上的石墨件会被硅包裹住以至于无法再次利用，要想重复使用石墨件，需要对石墨件进行腐蚀清洗，以去除表面杂质。
目前，去除石墨件表面杂质所用方法，是将石墨件首先放置在王水(是盐酸和硝酸以体积比3∶1混合而成的酸，具有较强的腐蚀性)中腐蚀，再用高纯水清洗并烘干后，放入煅烧炉中煅烧，这样石墨件就可以达到被重复利用的目的。
现在传统的石墨件腐蚀清洗机在操作过程中，操作人员必须穿戴上防酸碱手套从王水中拿出或放入石墨件，由于王水具有较强的腐蚀性，所以操作者有被酸腐蚀的危险，而且如果人工的将花篮(用于承载石墨件的载体)取出或放入，由于石墨件本身质量较大，所以会一定程度的增大了劳动强度，生产效率较低。
因此，如何降低操作人员的劳动强度大，提高生产效率，并且防止操作人员被强酸腐蚀情况的发生，是本领域技术人员亟待解决的问题。
实用新型内容
有鉴于此，本实用新型提供了一种石墨件腐蚀清洗机，以降低操作人员的劳动强度大，提高生产效率，并且防止操作人员被强酸腐蚀情况的发生。
为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：
一种石墨件腐蚀清洗机，包括腐蚀室和清洗室，所述腐蚀室和清洗室分别设有腐蚀槽和清洗槽，腐蚀槽和清洗槽内均设有升降装置。
优选的，在上述石墨件腐蚀清洗机中，设置在所述腐蚀槽内的升降装置具体包括：
撑板；
汽缸，其一端固定在所述腐蚀槽的底部，另一端与所述撑板相连。
优选的，在上述石墨件腐蚀清洗机中，所述腐蚀槽的侧壁上设有滑槽，所述撑板上设有与所述滑槽滑动配合的滑轨。
优选的，在上述石墨件腐蚀清洗机中，设置在所述腐蚀槽内的升降装置具体包括：
撑板；
丝杠机构，其丝母固定在所述撑板上，其丝杆与电机相连并可转动的设置在所述腐蚀槽内。
优选的，在上述石墨件腐蚀清洗机中，所述腐蚀槽的侧壁上设有滑槽，所述撑板上设有与所述滑槽滑动配合的滑轨。
优选的，在上述石墨件腐蚀清洗机中，设置在所述清洗槽内的升降装置具体包括：
撑板；
汽缸，其一端固定在所述腐蚀槽的底部，另一端与所述撑板相连。
优选的，在上述石墨件腐蚀清洗机中，所述清洗槽的侧壁上设有滑槽，所述撑板上设有与所述滑槽滑动配合的滑轨。
优选的，在上述石墨件腐蚀清洗机中，设置在所述清洗槽内的升降装置具体包括：
撑板；
丝杠机构，其丝母固定在所述撑板上，其丝杆与电机相连并可转动的设置在所述腐蚀槽内。
优选的，在上述石墨件腐蚀清洗机中，所述清洗槽的侧壁上设有滑槽，所述撑板上设有与所述滑槽滑动配合的滑轨。
从上述的技术方案可以看出，本实用新型提供的石墨件腐蚀清洗机，通过在其腐蚀槽和清洗槽内设置升降装置，可将腐蚀槽和清洗槽内的花篮完成升降操作。通过将腐蚀槽内的升降装置及设置在升降装置上的花篮降下，可用于去除石墨件表面杂质，通过将腐蚀槽内的升降装置及设置在升降装置上的花篮升起，可以将经过去除杂质工序的石墨件取出；通过将清洗槽内的升降装置及设置在升降装置上的花篮降下，可用于将表面的酸液去除，通过将清洗槽内的升降装置及设置在升降装置上的花篮升起，可以将经过去除酸液工序的石墨件取出。
本实用新型提供的石墨件腐蚀清洗机采用在花篮和槽体(腐蚀槽和清洗槽)之间添加了一种升降装置从而优化了设计，使操作更简便，使操作者远离了王水的腐蚀，劳动强度相应的减少，且提高了生产效率。
附图说明
为了更清楚地说明本实用新型实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本实用新型的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。
图1本实用新型实施例提供的石墨件腐蚀清洗机的结构示意图；
图2为本实用新型实施例提供的升降装置的结构示意图；
图3为本实用新型实施例提供的花篮的结构示意图。
具体实施方式
本实用新型公开了一种石墨件腐蚀清洗机，以降低操作人员的劳动强度大，提高生产效率低，并且防止操作人员被强酸腐蚀情况的发生。
下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。
请参阅图1-图3，图1本实用新型实施例提供的石墨件腐蚀清洗机的结构示意图；图2为本实用新型实施例提供的升降装置的结构示意图；图3为本实用新型实施例提供的花篮的结构示意图。
本实用新型提供的石墨件腐蚀清洗机，包括腐蚀室1和清洗室2，腐蚀室1和清洗室2分别设有腐蚀槽11和清洗槽21。腐蚀槽11内设有王水，清洗槽21内设有高纯水。将石墨件首先放置在王水中腐蚀，再用高纯水清洗并烘干后，放入煅烧炉中煅烧，这样石墨件就可以达到被重复利用的目的。其中，腐蚀槽11和清洗槽21内均设有升降装置4，将用于盛放石墨件的花篮3放置在升降装置4上，花篮3上设有多个孔，可将腐蚀槽11内的王水以及清洗槽21内的高纯水漏入花篮3内与其内部的石墨件接触。
本实用新型通过将腐蚀槽11内的升降装置4及设置在升降装置4上的花篮3降下，可用于去除石墨件表面杂质，通过将腐蚀槽11内的升降装置4及设置在升降装置4上的花篮升起，可以将经过去除杂质工序的石墨件取出；通过将清洗槽21内的升降装置4及设置在升降装置4上的花篮降下，可用于将表面的酸液去除，通过将清洗槽21内的升降装置4及设置在升降装置4上的花篮升起，可以将经过去除酸液工序的石墨件取出。
本实用新型提供的石墨件腐蚀清洗机采用在花篮和槽体(腐蚀槽和清洗槽)之间添加了一种升降装置从而优化了设计，使操作更简便，使操作者远离了王水的腐蚀，劳动强度相应的减少，且提高了生产效率。
设置在腐蚀槽11内的升降装置4可以为汽缸升降方式，其可具体包括撑板41和气缸42，气缸42可为两个，汽缸的一端固定在腐蚀槽11的底部，另一端与撑板41相连。腐蚀槽11的侧壁上还可设有滑槽，撑板上设有与滑槽滑动配合的滑轨。通过气缸42的伸出杆的伸出，可将撑板41抬起，花篮3放置在撑板41上，从而可将花篮3抬起。由于撑板41上设有与腐蚀槽11侧壁上的滑槽滑动配合的滑轨，可保持撑板41上升的平稳性。
设置在腐蚀槽11内的升降装置4还可为丝杠升降方式，其可包括撑板和丝杠机构，丝杠机构的丝母固定在撑板上，其丝杆与电机相连并可转动的设置在腐蚀槽11内。腐蚀槽11的侧壁上可设有滑槽，撑板上可设有与滑槽滑动配合的滑轨。通过电机的转动，可控制丝杆转动，从而带动丝母沿丝杆轴向移动，从而使得与丝母连接的撑板向上或向下移动，通过改变电机的转动方向，以改变撑板的移动方向。本实用新型还可包括与电机连锁的外置手柄和控制柜，操作人员通过控制手柄给控制柜信号，控制柜来启动电机，腐蚀槽11与花篮3之间的升降装置通过电机启动。操作人员在将需要处理的石墨件放入腐蚀清洗机之前，通过外置的控制手柄使花篮升起脱离王水，然后将需处理的石墨件放入花篮中，随后用手柄将花篮降下使石墨件完全侵入到王水中即可。通过这种升降装置的设计，操作人员可以最大程度的避免被强酸王水腐蚀的危险，并且大大的降低了劳动强度，提高了生产率。
设置在清洗槽21内的升降装置4可以为汽缸升降方式，其可具体包括撑板41和气缸42，气缸42可为两个，汽缸的一端固定在清洗槽21的底部，另一端与撑板41相连。清洗槽21的侧壁上还可设有滑槽，撑板上设有与滑槽滑动配合的滑轨。通过气缸42的伸出杆的伸出，可将撑板41抬起，花篮3放置在撑板41上，从而可将花篮3抬起。由于撑板41上设有与清洗槽21侧壁上的滑槽滑动配合的滑轨，可保持撑板41上升的平稳性。
设置在清洗槽21内的升降装置4还可为丝杠升降方式，其可包括撑板和丝杠机构，丝杠机构的丝母固定在撑板上，其丝杆与电机相连并可转动的设置在清洗槽21内。清洗槽21的侧壁上可设有滑槽，撑板上可设有与滑槽滑动配合的滑轨。通过电机的转动，可控制丝杆转动，从而带动丝母沿丝杆轴向移动，从而使得与丝母连接的撑板向上或向下移动，通过改变电机的转动方向，以改变撑板的移动方向。本实用新型还可包括与电机连锁的外置手柄和控制柜，操作人员通过控制手柄给控制柜信号，控制柜来启动电机，清洗槽21与花篮3之间的升降装置通过电机启动。用手柄将花篮降下使石墨件完全侵入到高纯水中即可。通过这种升降装置的设计，操作人员可以最大程度的避免被强酸王水腐蚀的危险，并且大大的降低了劳动强度，提高了生产率。
本说明书中各个实施例采用递进的方式描述，每个实施例重点说明的都是与其他实施例的不同之处，各个实施例之间相同相似部分互相参见即可。
对所公开的实施例的上述说明，使本领域专业技术人员能够实现或使用本实用新型。对这些实施例的多种修改对本领域的专业技术人员来说将是显而易见的，本文中所定义的一般原理可以在不脱离本实用新型的精神或范围的情况下，在其它实施例中实现。因此，本实用新型将不会被限制于本文所示的这些实施例，而是要符合与本文所公开的原理和新颖特点相一致的最宽的范围。
Claims (9)
1.一种石墨件腐蚀清洗机，包括腐蚀室(1)和清洗室(2)，所述腐蚀室(1)和清洗室(2)分别设有腐蚀槽(11)和清洗槽(21)，其特征在于，腐蚀槽(11)和清洗槽(21)内均设有升降装置(4)。
2.如权利要求1所述的石墨件腐蚀清洗机，其特征在于，设置在所述腐蚀槽(11)内的升降装置(4)具体包括：
撑板；
汽缸，其一端固定在所述腐蚀槽(11)的底部，另一端与所述撑板相连。
3.如权利要求2所述的石墨件腐蚀清洗机，其特征在于，所述腐蚀槽(11)的侧壁上设有滑槽，所述撑板上设有与所述滑槽滑动配合的滑轨。
4.如权利要求1所述的石墨件腐蚀清洗机，其特征在于，设置在所述腐蚀槽(11)内的升降装置(4)具体包括：
撑板；
丝杠机构，其丝母固定在所述撑板上，其丝杆与电机相连并可转动的设置在所述腐蚀槽(11)内。
5.如权利要求4所述的石墨件腐蚀清洗机，其特征在于，所述腐蚀槽(11)的侧壁上设有滑槽，所述撑板上设有与所述滑槽滑动配合的滑轨。
6.如权利要求1所述的石墨件腐蚀清洗机，其特征在于，设置在所述清洗槽(21)内的升降装置(4)具体包括：
撑板；
汽缸，其一端固定在所述腐蚀槽(11)的底部，另一端与所述撑板相连。
7.如权利要求6所述的石墨件腐蚀清洗机，其特征在于，所述清洗槽(21)的侧壁上设有滑槽，所述撑板上设有与所述滑槽滑动配合的滑轨。
8.如权利要求1所述的石墨件腐蚀清洗机，其特征在于，设置在所述清洗槽(21)内的升降装置(4)具体包括：
撑板；
丝杠机构，其丝母固定在所述撑板上，其丝杆与电机相连并可转动的设置在所述腐蚀槽(11)内。
9.如权利要求8所述的石墨件腐蚀清洗机，其特征在于，所述清洗槽(21)的侧壁上设有滑槽，所述撑板上设有与所述滑槽滑动配合的滑轨。
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