CN201982385U - 一种用于真空系统中的油扩散泵加热装置 - Google Patents

Abstract

本实用新型涉及油扩散泵技术领域，具体涉及一种用于真空系统中的油扩散泵加热装置。现有的加热方式使用不方便：电阻丝很容易烧断，需要经常更换；影响产品的质量：加热方式不稳定，影响真空系统的正常工作；热效率低；生产效率低。为克服现有技术存在的问题，本实用新型提供的一种用于真空系统中的油扩散泵的加热装置，其特征在于：包括依次相接的励磁线圈、高频电源和控制器，励磁线圈的外侧设置有上部敞开的磁屏蔽外壳。本实用新型改变了原有的加热方式，利用电磁感应的方式，直接在底板内产生涡流，最终实现加热扩散泵油的目的。本实用新型的优点是：热效率高、升温迅速、易于温控、拆卸方便，加热装置的使用寿命长，使用更方便。

Description

一种用于真空系统中的油扩散泵加热装置

技术领域

本实用新型涉及油扩散泵技术领域，具体涉及一种用于真空系统中的油扩散泵加热装置。

技术背景

用于真空系统中的油扩散泵的基本结构都包括泵体1，泵体1的底部一般为铁质的金属底板3，在泵体1内装有扩散泵油2。使用时，扩散泵油要被加热到200℃以上才能正常工作。目前，油扩散泵的加热方式一般采用电阻丝（电炉）进行加热，即将电炉盘设置于扩散泵底板3的下部。这种传统的加热方式存在诸多问题：1、使用不方便：电阻丝很容易烧断，需要经常更换，这给使用带来了很大不便，同时对于抽速较大的扩散泵，电炉极其笨重，从而给维修拆卸带来很大困难；2、影响产品的质量：这种不稳定的加热方式，还会影响真空系统的正常工作，如果生产过程中出现电阻丝烧断而需要进行更换时，就会影响到产品的合格率；3、热效率低：电炉盘面距离底板有较大距离（一般为几十毫米），大量的热能会被空气带走，从而造成电阻丝的加热效率很低（加热效率一般只有50%左右），对电能造成了极大的浪费；4、生产效率低：由于是间接传热，要让油扩散泵达到需要的油温，升温过程非常慢，一般都在半小时以上，影响生产效率的提高。

发明内容：

本实用新型要提供一种用于真空系统中的油扩散泵的加热装置，以克服现有技术存在的使用不方便、影响产品的质量、热效率低和生产效率低等问题。

为克服现有技术存在的问题，本实用新型提供的一种用于真空系统中的油扩散泵的加热装置，其特征在于：包括依次相接的励磁线圈、高频电源和控制器，励磁线圈的外侧设置有上部敞开的磁屏蔽外壳。

本实用新型改变了原有的加热方式，利用电磁感应的方式，直接在底板内产生涡流，最终实现加热扩散泵油的目的。与现有技术相比，本实用新型的优点是：热效率高、升温迅速、易于温控、拆卸方便，可实现高效率、快速、清洁的加热，加热装置的使用寿命长，免除更换电炉丝的麻烦，使用更方便。

附图说明：

图1是本实用新型的结构示意图。

附图标记说明如下：

1—扩散泵体；2—扩散泵油；3—底板；4—磁屏蔽外壳；5—励磁线圈；       6—高频电源；7—控制器。

具体实施方式：

下面将结合附图对本实用新型进行详细地说明。

一种用于真空系统中的油扩散泵的加热装置，包括依次相接的励磁线圈5、高频电源6和控制器7，励磁线圈5的外侧设置有上部敞开的磁屏蔽外壳4。

本实用新型的工作原理是：油扩散泵中，扩散泵体1内盛有扩散泵油2，扩散泵体1下部的底板3是直接的发热部件，将本实用新型所提供装置中的励磁线圈5放置于底板3下部。使用时，打开控制器7的开关，高频电源6产生交流（1K~40KHZ）电信号，该电信号施加于励磁线圈5上，励磁线圈5表面产生交变的磁场，就会在底板3中产生涡流，涡流使底板3中的金属原子做高速无规则的热运动，原子之间互相剧烈碰撞而使底板3本身温度升高，以此达到加热扩散泵油的目的。由此可见，这一加热过程并非利用外界热源辐射到底板3，而是底板3直接作为发热源，所以热效率可以达到90%以上，比电炉加热的热效率高出近一倍。因此该方法具有升温快、热效率高、无明火、不产生有害气体、对外界热辐射小、体积小、安全性好的优点。而其产生的非常有限的电磁辐射可以通过磁屏蔽外壳4加以屏蔽。

Claims (1)

1.一种用于真空系统中的油扩散泵的加热装置，其特征在于：包括依次相接的励磁线圈（5）、高频电源（6）和控制器（7），励磁线圈（5）的外侧设置有上部敞开的磁屏蔽外壳（4）。