CN201971892U - 一种用于真空镀膜机均匀抽气的抽气口及其接头 - Google Patents

Abstract

本实用新型公开了一种用于真空镀膜机均匀抽气的抽气口，所述抽气口开设在真空镀膜机镀室的室壁上，抽气口为长方形口，所述抽气口的长度等于镀室的高度，

与所述抽气口配合使用的用于真空镀膜机均匀抽气的抽气接头，所述抽气接头的一侧开有与所述抽气口大小形状完全一样的抽气接口，与抽气接口相对的另一侧开有出气口，所述抽气接头的抽气接口与所述抽气口对接后与真空镀膜机的镀室连通，所述抽气接头的出气口与抽气系统的抽气泵连通，所述抽气接头的抽气接口与出气口之间为用于气流均匀缓冲过渡的缓冲过渡段。本实用新型通过对抽气口及其接头的设置，获得对镀膜机镀室的较均匀的抽气效果，提高镀膜质量。

Description

一种用于真空镀膜机均匀抽气的抽气口及其接头

技术领域

本实用新型涉及真空镀膜中的抽气技术，具体涉及一种用于真空镀膜机均匀抽气的抽气口及其接头。

背景技术

立式真空镀膜机的镀膜室与抽气系統连接处的抽气口，多开在镀室的后壁中部，呈圆形口或方形或近方形口，开口的高度或直径约占镀室总高度三分之一至四分之一左右。这种现在流行的设计源于适应抽气系统的标准化接口，比如以油扩散泵为主抽泵，在主泵与镀室之间必配高真空阀门，后者标准接口法兰就是圆形的；以渦轮分子泵为主抽泵，一般也采用标准的圆形管道法兰接口。有的镀膜设备采用两台或多台涡轮分子泵并联运行抽气，会采用自行设计的并联泵专用阀门，则会设计成方形或近方形抽气口。

无论在镀室后壁的抽气口设成圆形或方形或近方形，因为开口在镀室后壁中部，且其高度只占镀室总高度较小的比例，抽气时炉内各处的气体都会沿着气阻最小的路径汇集流向抽气口，自然气流轨迹不会均匀扫过镀室内各个部位。特别是进行反应镀膜时，供入反应气体(如氮、氧、乙炔)的导气管多数竖立装在炉前壁靠炉门附近，反应气体从导气管中沿不同高度开的小孔流向镀室，与镀室内蒸发的镀料或溅射靶溅出的原子、离子在待镀工件表面反应成化合物膜，例如，与钛镀料反应则分别生成金黄色的TiN、黑色的TiC以及蓝色的TiO₂干涉膜。由于上述镀室内被抽气流流动轨迹有向后壁中部汇集趋向，室内上、中、下和前、后部，反应气体分布的浓度是不均匀的，特别是在上，中，下部的差异是不能靠工件公/自转运动方式来补偿，这样沿高度方向的膜层的成分与厚薄会不一致，膜层会出现色差。虽然调节导气管上的小孔的大小、分布可以改善一些膜层均匀性，但上述抽气口的形状和位置固有的不合理性，致使以调整布气来克服膜层的色差变得非常困难。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种用于真空镀膜机均匀抽气的抽气口及其接头，通过抽气口及其接头的设置，获得对镀膜机镀室的较均匀的抽气效果，提高镀膜质量。

本实用新型的技术问题可以通过以下方案解决：一种用于真空镀膜机均匀抽气的抽气口，所述抽气口开设在真空镀膜机镀室的室壁上，抽气口为长方形口，所述抽气口的长度等于镀室的高度，

与所述抽气口配合使用的用于真空镀膜机均匀抽气的抽气接头，所述抽气接头的一侧开有与所述抽气口大小形状完全一样的抽气接口，与抽气接口相对的另一侧开有出气口，所述抽气接头的抽气接口与所述抽气口对接后与真空镀膜机的镀室连通，所述抽气接头的出气口与抽气系统的抽气泵连通，所述抽气接头的抽气接口与出气口之间为用于气流均匀缓冲过渡的缓冲过渡段。

本实用新型所述缓冲过渡段包括用于气流由真空镀膜机的镀室进入抽气接头后均匀缓冲的等截面缓冲段和用于连接开口形状不同的抽气口与出气口的变截面过渡段，所述缓冲段与过渡段连通。

本实用新型所述缓冲段是由四块长方形围板相互组合连接围成的矩形方框。

本实用新型所述过渡段是由四块梯形围板相互组合连接围成的变截面框。

本实用新型所述过渡段是由呈交替状分布的四块三角形围板和至少四块弧形围板相互组合连接围成的由矩形口变成圆形口的变截面框体。

相比于现有技术，本实用新型具有以下的有益效果：

1、镀室内气体沿镀室高度受到较均匀的抽力，被抽气体较均匀地流进抽气口，不会在某处产生明显的气流汇集效应，扩展了沿镀室高度方向气流流动均匀性，从而扩展了均匀镀膜区的高度，一般可扩展15-20％。

2、可在不改变原有镀室的供气方式情况下减少镀彩色膜的色差，可以更容易地调整布气而得到更均匀的颜色，如镀TiC黑色膜很容易实现色差值L^*＝+/-1；a^*＝+/-1；b^*＝+/-1。

附图说明

图1是本实用新型实施例1的结构立体图；

图2是图1的主视图；

图3是图1的俯视图；

图4是本实用新型实施例2的结构立体图；

图5是图4的主视图；

图6是图4的俯视图。

具体实施方式

实施例1

如图1～3所示，针对抽气系统的泵口为方形或近方形的形状：一种用于真空镀膜机均匀抽气的抽气口，对于立式镀膜机，其镀室为垂直放置，则采用竖式矩形的抽气口，抽气口开设在真空镀膜机镀室的室壁上，抽气口为长方形口，其长度等于镀室的高度，主抽气泵的抽气泵口面积已在选用主抽气泵时确定；对于卧式镀膜机，其镀室为水平放置，镀室内的装夹具沿镀室的水平中轴旋转运动，则在镀室室壁的沿水平中轴开狭长的矩形抽气口，抽气口长度等于镀室长度，

本实用新型还包括与抽气口配合使用的用于真空镀膜机均匀抽气的抽气接头，抽气接头的一侧开有与抽气口大小形状完全一样的抽气接口1，与抽气接口1相对的另一侧开有出气口2，抽气接头的抽气接口1与镀室上的抽气口焊接后与真空镀膜机的镀室连通，抽气接头的出气口2与抽气系统的抽气泵连通，抽气接头的抽气接口1与出气口2之间为用于气流均匀缓冲过渡的缓冲过渡段。

缓冲过渡段包括用于气流由真空镀膜机的镀室进入抽气接头后均匀缓冲的等截面缓冲段3和用于连接开口形状不同的抽气口与出气口的变截面过渡段4，缓冲段3与过渡段4焊接连通。

按上述矩形抽气接口1引出等同截面的框形接口段作为缓冲段3，是由四块长方形围板相互组合焊接围成的矩形方框，具体是由两块高度方向的围板31和两块宽度方向的围板32焊接围成的，对于实际抽气口的大小可相应增加长方形围板的数量，该缓冲段的缓冲长度取决于以下三个因素：(1)不会增加系统气阻而降低抽气速率；(2)保证对镀室内气体沿开口高度有较均匀抽力；(3)不会在某处产生明显气流汇集效应；满足以上三个因素的缓冲长度为宜。

过渡段4是由四块梯形围板相互组合连接围成的变截面框，具体是由两块高度方向的梯形围板41和两块宽度方向的梯形围板42焊接围成，其截面由上述抽气接口1的矩形形状过渡变成泵口的近方形或方形，该变截面框高度方向渐收小，宽度方向渐扩大，即出气口2为近方形或方形，在过渡长度内刚好围成所对接的泵口形状和大小，再焊上接口法兰5与泵口连接。

实施例2

本实施例2是针对抽气系统的泵口为圆形的形状，它与实施例1的不同之处在于：如图4～6所示，所述过渡段4是由呈交替状分布的四块三角形围板43和四组共十六块弧形围板44相互组合焊接围成的变截面框，对于实际抽气口的大小可相应增减弧形围板的数量，该变截面框的截面由抽气接口1的矩形过渡变成圆形泵口的圆形，即高度方向缩小，而宽度方向放大，其过渡长度由设计确定，最终组合焊接围成圆形泵口的形状和大小，然后连接与圆形泵口同直径的连接管段6，再焊上法兰7与圆形泵口连接。

本实用新型的实施方式不限于此，在本实用新型上述基本技术思想前提下，按照本领域的普通技术知识和惯用手段对本实用新型内容所做出其它多种形式的修改、替换或变更，均在本实用新型权利保护范围之内。

Claims (6)

1.一种用于真空镀膜机均匀抽气的抽气口，其特征在于：所述抽气口开设在真空镀膜机镀室的室壁上，抽气口为长方形口，所述抽气口的长度等于镀室的高度，

2.与权利要求1所述的抽气口配合使用的用于真空镀膜机均匀抽气的抽气接头，其特征在于：所述抽气接头的一侧开有与所述抽气口大小形状完全一样的抽气接口(1)，与抽气接口(1)相对的另一侧开有出气口(2)，所述抽气接头的抽气接口(1)与所述抽气口对接后与真空镀膜机的镀室连通，所述抽气接头的出气口(2)与抽气系统的抽气泵连通，所述抽气接头的抽气接口(1)与出气口(2)之间为用于气流均匀缓冲过渡的缓冲过渡段。

3.根据权利要求2所述的用于真空镀膜机均匀抽气的抽气接头，其特征在于：所述缓冲过渡段包括用于气流由真空镀膜机的镀室进入抽气接头后均匀缓冲的等截面缓冲段(3)和用于连接开口形状不同的抽气接口(1)与出气口(2)的变截面过渡段(4)，所述缓冲段(3)与过渡段(4)连通。

4.根据权利要求3所述的用于真空镀膜机均匀抽气的抽气接头，其特征在于：所述缓冲段(3)是由四块长方形围板相互组合连接围成的矩形方框。

5.根据权利要求3所述的用于真空镀膜机均匀抽气的抽气接头，其特征在于：所述过渡段(4)是由四块梯形围板相互组合连接围成的变截面框。

6.根据权利要求3所述的用于真空镀膜机均匀抽气的抽气接头，其特征在于：所述过渡段(4)是由呈交替状分布的四块三角形围板(43)和至少四块弧形围板(44)相互组合连接围成的由矩形口变成圆形口的变截面框体。

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