CN201966190U

CN201966190U - 自动晶粒取放机

Info

Publication number: CN201966190U
Application number: CN2011200027646U
Authority: CN
Inventors: 姚圳杰
Original assignee: YIMING PRECISION TECHNOLOGY Co Ltd
Current assignee: YIMING PRECISION TECHNOLOGY Co Ltd
Priority date: 2011-01-06
Filing date: 2011-01-06
Publication date: 2011-09-07
Anticipated expiration: 2021-01-06

Abstract

一种自动晶粒取放机，包含：一机台；一架构于该机台上的Y轴驱动装置；一架构于该Y轴驱动装置的移动件上的X轴驱动装置；一架构于该X轴驱动装置的移动件上的物件取放装置；以及设于该机台上的一标准容器置放区，该标准容器置放区可排列放置复数个标准容器，其中一标准容器承放待测试物件，其他标准容器则做为分类盘之用，供已测试物件分类放置；至少一待测试物件被该物件取放装置从该标准容器中载移至该测试机的物件承载台；该物件取放装置依据该测试机的测试结果，从该测试机的物件承载台上取回已测试物件放置于其中一个分类盘中。

Description

自动晶粒取放机

技术领域

本实用新型涉及一种自动晶粒取放机，更详而言之，该自动晶粒取放机可应用于待测试物件(晶粒或构装IC)的上线备料和已测试物件的分类。

背景技术

半导体产业结构可区分为材料加工制造、晶圆的积体电路制造(wafer fabrication)及晶圆切割、构装(wafer package)等三大类制造流程。其中材料加工制造是半导体产业的上游工业，将硅晶石原料提炼硅多晶体(polycrystalline silicon)，再将硅多晶体经过切割、研磨加工制成晶圆。其次，晶圆的积体电路制造则为半导体产业的中游工业，包括将上述各种规格晶圆，经由电路设计、光罩设计、蚀刻、扩散等制程，生产各种用途的晶圆。而晶圆切割及构装为半导体产业的下游工业，将制造完成的晶圆，切割成片状的晶粒，再经焊接、电镀、包装及测试后即为半导体产品。

半导体产品的附加价值高、制造成本高，且产品的性能对于最终电子商品的功能有关键性的影响。因此，半导体在生产过程中的每个阶段，均需透过层层的测试和检验程序来为品质把关，并且依照测试结果为元件或产品进行分类，作为等级评价的依据。在下游工业，待测产品的测试前的上线备程序，是由人工来完成的，将上游厂商送来的待测产品一颗颗的放在一个标准容器(俗称tray盘)中，上线检测时，也是由人工操作将一颗颗的待测产品从标准容器内载入测试机的承载台上。进行测试之后，同样以人工操作，将已测试产品从测试机上取回。这个取回步骤更进一步涉及了产品分类(即俗称的分bin)的功能，操作者依据测试机所提供的检测结果(产品等级)，依照等级区分标准容器，以便将同等级的产品装在同一标准容器中。

然而，涉及人工操作的首要问题包括：受限于人工操作的速度，以致上线检测的时程无法有效的缩减，而人工分类更可能导致失误率增加。

实用新型内容

本实用新型的目的在于解决先前技术中人工操作上线检测程序和分类程序时所面临的问题。

本实用新型的目的在于提供一种自动晶粒取放机，该取放机可将一标准容器中的待测产品以自动化批次方式载入一测试机中，从而解决上述人工操作上线检测程序的问题。更进一步的，本实用新型取放机可依据测试机所提供的检测结果(产品等级)，将已测试产品自动批次化(或单颗)从测试机取回，并依分类放入对应的分类盘中，从而解决上述人工分类失误的问题。

为实现上述目的，本实用新型采用以下技术方案：

一种自动晶粒取放机，它包含：

一机台；

一架构于该机台上的Y轴驱动装置；

一架构于该Y轴驱动装置的移动件上的X轴驱动装置；

一架构于该X轴驱动装置的移动件上的物件取放装置；以及

设于该机台上的一标准容器置放区。

所述标准容器置放区供复数个标准容器排列设于所述机台上。

所述复数个标准容器中，其中至少一个标准容器中放置待测试物件，其余的标准容器为放置已测试物件的分类盘。

所述物件取放装置包括一固定于所述X轴驱动装置的移动件的支架，以及连接于该支架的数个取放器；各该取放器各具一吸头；一抽真空装置以复数导管通连该取放器的吸头。

一弹性元件安装于所述取放器中，其弹性作用力作用于所述吸头。

所述X轴驱动装置及所述Y轴驱动装置受一中央控制系统控制，该中央控制系统与一测试机耦合。

至少一待测试物件被所述物件取放装置从放置待测物件的标准容器中载移至所述测试机的物件承载台。

所述物件取放装置依据所述测试机的测试结果，从所述测试机的物件承载台上取回已测试物件放置于其中一个分类盘中。

本实用新型的有益效果是：

本实用新型的物件取放装置可将一标准容器中的待测物件以自动化批次方式载入一测试机中，从而解决先前技术以人工操作上线检测程序的问题。更进一步的，本实用新型取放机可依据测试机所提供的检测结果(产品等级)，将已测试产品自动批次化(或单颗)的从测试机取回，并依分类放入对应的分类盘中，从而解决先前技术人因人工分类而致高失误率的问题。

附图说明

图1为本实用新型相关机构的配置方块图。

图2为本实用新型的立体外观图。

图3为本实用新型的Y轴驱动装置的立体图。

图4为本实用新型的X轴驱动装置的立体图。

图5为本实用新型机具的俯视平面图。

图6为本实用新型物件取放装置的平面图。

图7为本实用新型吸取器的平面图。

具体实施方式

为便于说明本实用新型于上述发明内容一栏中所表示的中心思想，兹以具体实施例表达。实施例中各种不同物件是按适于说明的比例、尺寸、变形量或位移量而描绘，而非按实际元件的比例予以绘制，合先叙明。且以下的说明中，类似的元件是以相同的编号来表示。

图1及图2描述本实用新型晶粒取放机的立体外观，包括：

一机台10；

一架构于该机台10上循着该机台所定义的Y轴而设的Y轴驱动装置30；

一架构于机台10及该Y轴驱动装置30的移动件34上，且循着该机台10所定义的X轴而设的X轴驱动装置20；

一架构于该X轴驱动装置20的移动件24上的物件取放装置40；以及

设于该机台10上的一标准容器置放区50；该标准容器置放区50可放置复数个标准容器51，所述的标准容器51为俗称的tray盘。在本实用新型中，表现了四个标准容器51，其中一个放置待测试物件，其余则做分类盘之用，放置已测试物件，且是依照分类原则放置。

图6和图7描述本实用新型物件取放装置40。该物件取放装置40包括一支架41以及连接于该支架41的数个取放器42。该取放器42具有一吸头43，一抽真空装置及空气加压装置(图未示)以复数导管通连该取放器42，该抽真空装置启动时，使该取放器42的吸头43产生吸取物件的能力。反之，该抽真空装置关闭，该压力空气装置启动，提供该取放器42的吸头43一向外释放的空气压力，使被该取放器42的吸头43所吸取的物件得以脱离该吸头43。一弹性元件44施配于该取放器42，其弹性作用力作用于该吸头43，据以使该吸头43具有些微上下弹动的缓冲能力。

如图3、4、5，描述本实用新型X轴驱动装置20和Y轴驱动装置30。上述X轴驱动装置20和Y轴驱动装置30是以任何的线性移动手段达成，在本实用新型中，它们是以伺服马达21、31，驱转螺杆22、32，使与之相合的螺帽产生线性移动，致与该螺帽结合的一移动件24、34沿着该机台10的X轴及Y轴往复移动。该物件取放装置40固定于该X轴驱动装置20的移动件24。

本实用新型晶粒取放机应用在半导体构装的测试程序，该机台10与测试机90组配，在本实用新型实施例中，该测试机90的物件承载台91位于本实用新型的机台10上。一中央控制系统80与该测试机90以及本实用新型取放机耦合(如图1所示)，据以控制该物件取放装置40进行待测试物件的上线测试程序以及已测试物件的取回和分类。该物件取放装置40受该X轴驱动装置20和Y轴驱动装置30的控制，而能在机台10的X轴和Y轴所定义的二维坐标平面上往复移动。以吸头43真空吸取物件的能力从第一个标准容器51上吸取复数个待测试物件(晶粒或构装IC)，将待测试物件载移至该测试机90的物件承载台91上释放，该物件承载台91将待测试物件输送至该测试机的检测位置，完成上线测试程序，随后，输送回待测上线位置。该X轴驱动装置20和Y轴驱动装置30更进一步控制该物件取放装置40，将已测试完成的物件从物件承载台91中取回(同样以吸头真空吸取)，放置在其余之一的标准容器51中。此一取回步骤涉及已测试物件的分类程序，该测试机产生测试结果(产品等级)，将资料传输给该中央控制系统，该中央控制系统即据此命令该X轴及Y轴驱动装置20、30，将物件摆放至特定一个分类盘中，使同等级的物件汇集在同一分类盘。

该吸头43因受弹性元件44的弹性作用力作用，因此在与待测试物件或已测试物件结合时具有一缓冲作用，保护待测试物件或已测试物件，可避免吸头43接触该物件的同时，使物件承受过大的外力而受损。

综上所述，本实用新型的物件取放装置40可将一标准容器中的待测物件以自动化批次方式载入一测试机中，从而解决先前技术以人工操作上线检测程序的问题。更进一步的，本实用新型取放机可依据测试机所提供的检测结果(产品等级)，将已测试产品自动批次化(或单颗)的从测试机取回，并依分类放入对应的分类盘中，从而解决先前技术人因人工分类而致高失误率的问题。

虽然本实用新型是以一个最佳实施例做说明，但精于此技艺者能在不脱离本实用新型精神与范畴下做各种不同形式的改变。以上所举实施例仅用以说明本实用新型而已，非用以限制本实用新型的范围。举凡不违本实用新型精神所从事的种种修改或变化，俱属本实用新型申请专利范围。

Claims

1.一种自动晶粒取放机，其特征在于，它包含：

一机台；

一架构于该机台上的Y轴驱动装置；

一架构于该Y轴驱动装置的移动件上的X轴驱动装置；

一架构于该X轴驱动装置的移动件上的物件取放装置；以及

设于该机台上的一标准容器置放区。

2.如权利要求1所述的自动晶粒取放机，其特征在于，所述标准容器置放区供复数个标准容器排列设于所述机台上。

3.如权利要求2所述的自动晶粒取放机，其特征在于，所述复数个标准容器中，其中至少一个标准容器中放置待测试物件，其余的标准容器为放置已测试物件的分类盘。

4.如权利要求1所述的自动晶粒取放机，其特征在于，所述物件取放装置包括一固定于所述X轴驱动装置的移动件的支架，以及连接于该支架的数个取放器；各该取放器各具一吸头；一抽真空装置以复数导管通连该取放器的吸头。

5.如权利要求4所述的自动晶粒取放机，其特征在于，一弹性元件安装于所述取放器中，其弹性作用力作用于所述吸头。

6.如权利要求3所述的自动晶粒取放机，其特征在于，所述X轴驱动装置及所述Y轴驱动装置受一中央控制系统控制，该中央控制系统与一测试机耦合。

7.如权利要求6所述的自动晶粒取放机，其特征在于，至少一待测试物件被所述物件取放装置从放置待测物件的标准容器中载移至所述测试机的物件承载台。

8.如权利要求7所述的自动晶粒取放机，其特征在于，所述物件取放装置依据所述测试机的测试结果，从所述测试机的物件承载台上取回已测试物件放置于其中一个分类盘中。