CN201962412U - 底部设置导热柱的夹层石英坩埚 - Google Patents

底部设置导热柱的夹层石英坩埚 Download PDF

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官春水
江迪夫
昝继军
罗军
占胜
徐振华
董建安
李志超
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Abstract

底部设置导热柱的夹层石英坩埚，包括坩埚本体和导热柱，所述坩埚本体具有内壁、外壁和锅底，所述内壁和所述外壁之间为真空夹层，两壁底部在锅底处连接为一体，所述导热柱安装在锅底的底部中心。本实用新型具有良好的轴向导热功能，同时真空夹层具有屏蔽热场波动的能力，可以削弱内部熔体对热场变化的感知能力。

Description

底部设置导热柱的夹层石英坩埚
技术领域
本实用新型涉及石英坩埚，具体为一种用于太阳能级硅单晶生产的底部设置导热柱的夹层石英坩埚。
背景技术
直拉法生产硅单晶已经是该领域通用的一种技术手段，在此生产过程中，需要用到热场装置，通常情况下，热场装置包括有外壳、安装在外壳中心的石墨坩埚、位于石墨坩埚内的石英坩埚、位于石墨坩埚外围的加热电极和位于石英坩埚内侧的导流筒，生产过程中，石英坩埚内的原料经过加热和局部冷却并拉伸生长形成圆柱状的硅单晶。
用于太阳能级硅单晶生产中的传统石英坩埚，结构非常简单，导致内部熔体在加热时热量不易从高温区流向低温区，同时熔体对热场变化的感知度十分敏感，在生产中温度不易调控。
实用新型内容
本实用新型所解决的技术问题在于提供一种底部设置导热柱的夹层石英坩埚，使其具有良好的轴向导热功能，同时削弱内部熔体对热场变化的感知能力，从而解决上述背景技术中的缺点。
本实用新型所解决的技术问题采用以下技术方案来实现：
底部设置导热柱的夹层石英坩埚，包括坩埚本体和导热柱，与传统石英坩埚的显著区别在于，所述坩埚本体具有内壁、外壁和锅底，所述内壁和所述外壁之间为真空夹层，两壁底部在锅底处连接为一体，所述导热柱安装在锅底的底部中心。
作为一种改进，所述导热柱为石墨柱。
作为一种进一步改进，所述石英坩埚在高温炉中采用高纯度的丙酮高温热解从而在内壁上沉积一层碳膜。
由于采用了以上结构，本实用新型具有以下有益效果：
1、设置的导热柱有利于轴向热流的引导，在晶体生长过程中，导热柱一端处于远低于坩埚底部位置的温场中，由于散热柱的作用，使坩埚底部位置晶体中的热量快速流向低温区，起到轴向引导热流的作用；
2、内壁和外壁之间设置真空夹层，使得坩埚本体具有遮热作用，当温场发生波动时，内部熔体感知温场变化的能力大大延迟和削弱，具有屏蔽热场波动的能力，更利于晶体的稳定成长。
附图说明
图1为本实用新型结构示意图。
具体实施方式
为了使本实用新型实现的技术手段、创作特征、达成目的与功效易于明白了解，下面结合具体图示，进一步阐述本实用新型。
参见图1，底部设置导热柱的夹层石英坩埚，包括坩埚本体1和导热柱2，与传统石英坩埚的显著区别在于，所述坩埚本体具有内壁11、外壁12和锅底13，所述内壁11和所述外壁12之间为真空夹层14，两壁底部在锅底13处连接为一体，所述导热柱2安装在锅底13的底部中心。
本实施例中，所述导热柱2为石墨柱。
本实施例中，所述石英坩埚在高温炉中采用高纯度的丙酮高温热解从而在内壁11上沉积一层碳膜15。
以上显示和描述了本实用新型的基本原理和主要特征和本实用新型的优点。本行业的技术人员应该了解，本实用新型不受上述实施例的限制，上述实施例和说明书中描述的只是说明本实用新型的原理，在不脱离本实用新型精神和范围的前提下，本实用新型还会有各种变化和改进，这些变化和改进都落入要求保护的本实用新型范围内。本实用新型要求保护范围由所附的权利要求书及其等效物界定。

Claims (2)

1.底部设置导热柱的夹层石英坩埚，包括坩埚本体和导热柱，其特征在于：所述坩埚本体具有内壁、外壁和锅底，所述内壁和所述外壁之间为真空夹层，两壁底部在锅底处连接为一体，所述导热柱安装在锅底的底部中心。
2.根据权利要求1所述的底部设置导热柱的夹层石英坩埚，其特征在于：所述导热柱为石墨柱。
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