CN201955444U - 芯片快速定位工具 - Google Patents

芯片快速定位工具 Download PDF

Info

Publication number
CN201955444U
CN201955444U CN2011200079180U CN201120007918U CN201955444U CN 201955444 U CN201955444 U CN 201955444U CN 2011200079180 U CN2011200079180 U CN 2011200079180U CN 201120007918 U CN201120007918 U CN 201120007918U CN 201955444 U CN201955444 U CN 201955444U
Authority
CN
China
Prior art keywords
chip
staff
right angle
scale
vertical
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Expired - Fee Related
Application number
CN2011200079180U
Other languages
English (en)
Inventor
周彬
张雨田
曾志敏
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Shanghai Huahong Grace Semiconductor Manufacturing Corp
Original Assignee
Shanghai Hua Hong NEC Electronics Co Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Shanghai Hua Hong NEC Electronics Co Ltd filed Critical Shanghai Hua Hong NEC Electronics Co Ltd
Priority to CN2011200079180U priority Critical patent/CN201955444U/zh
Application granted granted Critical
Publication of CN201955444U publication Critical patent/CN201955444U/zh
Anticipated expiration legal-status Critical
Expired - Fee Related legal-status Critical Current

Links

Images

Landscapes

  • Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)

Abstract

本实用新型公开了一种芯片快速定位工具，包括两个直角标尺，每个直角标尺设有相互垂直的水平标尺和垂直标尺，水平标尺和垂直标尺上分别标有刻度；两个直角标尺的原点位置设有选择孔；两个直角标尺通过两个选择旋钮实现活动连接；水平标尺和垂直标尺上分别设有轨道，选择旋钮能够在轨道内自由滑动；两个直角标尺的背面分别设有吸盘。本实用新型在已知一枚芯片的坐标情况下，通过所需芯片与已知芯片之间的相对位置来定位，能够在不使用显微镜等其他仪器的条件下，精确定位所需芯片，从而大大降低人为因素造成的误差并提高工作效率，实现快速定位所需检测的芯片的功能。

Description

芯片快速定位工具
技术领域
本实用新型涉及一种芯片失效分析工具，具体涉及一种芯片快速定位工具。
背景技术
EF130芯片是采用0.13微米嵌入式闪存工艺所生产的芯片，其主要类型分为MN09、MN06、MN04三个系列，而各系列芯片的尺寸都有相应的规格。
对于EF130芯片的失效分析，需要根据EFA(电学失效分析)所得的数据结果分析失效模式，在Wafer(晶片)上选择相对应的失效芯片，并对该选择芯片进行PFA(物理失效分析)处理，物理分析得出失效原因。
在上述通过EFA所得的数据选择失效芯片的过程中，由于MOSAID(一种现有的电学失效分析仪器)无法精确定位所需的选择芯片，因此需要使用显微镜人工定位选择芯片。由于测试后的芯片会在PAD(衬垫)上留下3个针痕，测试人员可以根据测试针痕来进行芯片的选择。具体方法是：
1、测试人员根据背景信息，随机选择一块区域使用MOSAID进行测试，得到芯片的Bitmap(位图)；
2、产品工程师进行数据分析，通过Bitmap来选择需要做PFA的芯片；
3、产品工程师根据针痕，使用显微镜找到测试过的芯片区域；
4、工程师根据Wafer map(晶片图)中所需选择芯片的位置，使用显微镜进行人工选择。
这种人工定位芯片的方法存在以下缺点：
1、无法将测试数据与物理位置有效地结合起来，需要根据针痕来判断测试区域，EFA数据与物理地址有时会产生误差，即Wafer map中数据与物理地址无法一一对应，因此需要工程师来判断测试区域的真实位置，会产生误差；
2、EF130芯片的尺寸较小，会产生较大的人工误差；
3、一旦出现选择芯片错误的现象，很有可能就会造成一个产品失效分析的失败，无法快速有效地进行工艺改进，进而影响良率的提升。因此需要大量时间来反复确认所需的芯片位置，核实所选芯片是否正确，造成工作效率的低下。
实用新型内容
本实用新型所要解决的技术问题是提供一种芯片快速定位工具，它可以
为解决上述技术问题，本实用新型芯片快速定位工具的技术解决方案为：
包括两个直角标尺，每个直角标尺设有相互垂直的水平标尺和垂直标尺，水平标尺和垂直标尺上分别标有刻度；两个直角标尺的原点位置设有选择孔；两个直角标尺通过两个选择旋钮实现活动连接；水平标尺和垂直标尺上分别设有轨道，选择旋钮能够在轨道内自由滑动；两个直角标尺的背面分别设有吸盘。
所述直角标尺上的刻度间隔为芯片的尺寸。
所述直角标尺上标注有对应于多种系列芯片的刻度。
本实用新型可以达到的技术效果是：
本实用新型利用MOSAID测试出已知芯片和所需芯片的坐标，进而计算出两者的相对位置，然后通过工具将两者的相对位置在工具上标注出来，即可以简便的找到想要选择的芯片。
本实用新型在已知一枚芯片的坐标情况下，通过所需芯片与已知芯片之间的相对位置来定位，能够在不使用显微镜等其他仪器的条件下，精确定位所需芯片，从而大大降低人为因素造成的误差并提高工作效率，实现快速定位所需检测的芯片的功能。
附图说明
下面结合附图和具体实施方式对本实用新型作进一步详细的说明：
图1是本实用新型芯片快速定位工具的示意图；
图2是图1的仰视图；
图3是本实用新型的使用状态示意图。
图中附图标记说明：
1为直角标尺，  11为选择孔，
12为轨道，     2为选择旋钮，
3为吸盘。
具体实施方式
如图1所示，本实用新型芯片快速定位工具，包括两个直角标尺1，每个直角标尺1设有相互垂直的水平标尺和垂直标尺，水平标尺和垂直标尺上分别标有刻度；两个直角标尺1的原点位置设有选择孔11；
两个直角标尺1通过两个选择旋钮2实现活动连接；如图1所示，第一直角标尺的水平标尺通过选择旋钮2与第二直角标尺的垂直标尺活动连接，第一直角标尺的垂直标尺通过选择旋钮2与第二直角标尺的水平标尺活动连接；
水平标尺和垂直标尺上分别设有轨道12，选择旋钮2能够在轨道12内自由滑动，使两个直角标尺1之间的相对物理位置发生变化；
直角标尺1上的刻度间隔为EF130芯片的尺寸；直角标尺1上可标注对应于多种系列芯片的刻度，用于选择多种尺寸的芯片；
如图2所示，两个直角标尺1的背面设有四枚吸盘3，能够起到固定工具同时避免对晶圆造成物理损伤的作用。
使用时，将一个直角标尺的选择孔11圈住已知坐标的芯片，根据已知坐标的芯片与目标芯片(即选择芯片)的相对位置，调节选择按钮2并固定，如图3所示，使另一个直接标尺的选择孔11圈住目标芯片。
本实用新型的使用方法是：
1、在Wafer上根据Bit map选择目标芯片Die，并记录其坐标；
2、选择任意一个已知芯片Die，并使用MOSAID确定其坐标，得出该任意已知芯片的数据位置；
3、确定Wafer map中已知芯片与目标芯片的坐标关系，得出二者的相对数据位置；
4、使用本实用新型将其转化成为二者的相对物理位置，并在Wafer上标注出来，从而实现对芯片的定位。

Claims (3)

1.一种芯片快速定位工具，其特征在于：包括两个直角标尺，每个直角标尺设有相互垂直的水平标尺和垂直标尺，水平标尺和垂直标尺上分别标有刻度；两个直角标尺的原点位置设有选择孔；
两个直角标尺通过两个选择旋钮实现活动连接；
水平标尺和垂直标尺上分别设有轨道，选择旋钮能够在轨道内自由滑动；
两个直角标尺的背面分别设有吸盘。
2.根据权利要求1所述的芯片快速定位工具，其特征在于：所述直角标尺上的刻度间隔为芯片的尺寸。
3.根据权利要求2所述的芯片快速定位工具，其特征在于：所述直角标尺上标注有对应于多种系列芯片的刻度。
CN2011200079180U 2011-01-12 2011-01-12 芯片快速定位工具 Expired - Fee Related CN201955444U (zh)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
CN2011200079180U CN201955444U (zh) 2011-01-12 2011-01-12 芯片快速定位工具

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
CN2011200079180U CN201955444U (zh) 2011-01-12 2011-01-12 芯片快速定位工具

Publications (1)

Publication Number Publication Date
CN201955444U true CN201955444U (zh) 2011-08-31

Family

ID=44499552

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
CN2011200079180U Expired - Fee Related CN201955444U (zh) 2011-01-12 2011-01-12 芯片快速定位工具

Country Status (1)

Country Link
CN (1) CN201955444U (zh)

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN103645548A (zh) * 2013-12-18 2014-03-19 中国科学院半导体研究所 确定光斑位置的夹具
CN105445647A (zh) * 2015-12-18 2016-03-30 苏州华兴源创电子科技有限公司 一种用于测试中对bga芯片进行定位的气动定位机构

Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN103645548A (zh) * 2013-12-18 2014-03-19 中国科学院半导体研究所 确定光斑位置的夹具
CN103645548B (zh) * 2013-12-18 2015-06-03 中国科学院半导体研究所 确定光斑位置的夹具
CN105445647A (zh) * 2015-12-18 2016-03-30 苏州华兴源创电子科技有限公司 一种用于测试中对bga芯片进行定位的气动定位机构

Similar Documents

Publication Publication Date Title
CN201389080Y (zh) 手术导航器械的通用标定模块
CN101907431B (zh) 带有辅助测块的孔位置度综合检具
CN201955444U (zh) 芯片快速定位工具
CN109108731B (zh) 一种链式刀库运动精度测量方法
CN103424050A (zh) 一种座椅检测装置
CN203572373U (zh) 零件孔位置度检测定位装置
CN205957845U (zh) 汽车转向节综合检具
CN209043205U (zh) 一种高精度两孔间中心距测量仪
CN104764373A (zh) 螺纹塞规自动化检测方法及装置
CN207395688U (zh) 定位治具和3d曲面玻璃检测系统
CN204154250U (zh) 一种内星轮分度检具
CN205209435U (zh) 一种晶片长度测量装置
CN202049210U (zh) 软性印刷电路板弹片自动测试装置
CN104297083A (zh) 硅片硬度测试装置
CN102997790A (zh) 一种电机底座定位件的检测装置
CN202793762U (zh) 具有定位功能的按键测试仪
CN204388746U (zh) 一种三坐标精密测量柔性夹具
CN204115633U (zh) 冲击试样尺寸测量装置
CN204143040U (zh) 三维坐标测量棱镜杆
CN202947668U (zh) 弧面对称度检具
CN202041148U (zh) 一种测量非平面高度的工具
CN207215024U (zh) 一种激光追踪仪靶球用新型基座
CN202757551U (zh) 一种综合检具
CN201480185U (zh) 鞋楦快速标测装置
CN103148782B (zh) 一种模拟零件装配位置关系结构的综合检具

Legal Events

Date Code Title Description
C14 Grant of patent or utility model
GR01 Patent grant
ASS Succession or assignment of patent right

Owner name: SHANGHAI HUAHONG GRACE SEMICONDUCTOR MANUFACTURING

Free format text: FORMER OWNER: HUAHONG NEC ELECTRONICS CO LTD, SHANGHAI

Effective date: 20131225

C41 Transfer of patent application or patent right or utility model
COR Change of bibliographic data

Free format text: CORRECT: ADDRESS; FROM: 201206 PUDONG NEW AREA, SHANGHAI TO: 201203 PUDONG NEW AREA, SHANGHAI

TR01 Transfer of patent right

Effective date of registration: 20131225

Address after: 201203 Shanghai city Zuchongzhi road Pudong New Area Zhangjiang hi tech Park No. 1399

Patentee after: Shanghai Huahong Grace Semiconductor Manufacturing Corporation

Address before: 201206, Shanghai, Pudong New Area, Sichuan Road, No. 1188 Bridge

Patentee before: Shanghai Huahong NEC Electronics Co., Ltd.

CF01 Termination of patent right due to non-payment of annual fee

Granted publication date: 20110831

Termination date: 20150112

EXPY Termination of patent right or utility model