CN201940377U - 分选机处理晶圆片的系统 - Google Patents
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Abstract
本实用新型公布了一种分选机处理晶圆片的系统，包括：晶圆片检测装置、分选机数据转换单元、分选机控制装置和分选机执行装置，其中晶圆片检测装置的输出端接分选机数据转换单元的输入端，分选机控制装置与分选机数据转换单元双向通信，分选机控制装置的输出端接分选机执行装置的输入端。本实用新型简化了生产工艺、设备简单，检测精度高。
Description
技术领域
本实用新型涉及一种对晶圆片进行分选的分选机系统。
背景技术
在半导体的制作工艺中，需要对半导体进行重排和分选，但是现在通常采用摄像机进行采样，然后进行分选，但是摄像机镜头对一些排列紧密或者间距较大的晶圆片采样时，经常漏选，而且效率低下。
实用新型内容
本实用新型目的是针对现有技术存在的缺陷提供一种分选机处理晶圆片的系统。
本实用新型为实现上述目的，采用如下技术方案：
本实用新型分选机处理晶圆片的系统，包括：晶圆片检测装置、分选机数据转换单元、分选机控制装置和分选机执行装置，其中晶圆片检测装置的输出端接分选机数据转换单元的输入端，分选机控制装置与分选机数据转换单元双向通信，分选机控制装置的输出端接分选机执行装置的输入端。
本实用新型简化了生产工艺、设备简单，检测精度高。
附图说明
图 1 ：本实用新型结构图。
具体实施方式
如图1所示，本实用新型分选机处理晶圆片的系统，包括：晶圆片检测装置、分选机数据转换单元、分选机控制装置和分选机执行装置，其中晶圆片检测装置的输出端接分选机数据转换单元的输入端，分选机控制装置与分选机数据转换单元双向通信，分选机控制装置的输出端接分选机执行装置的输入端。
Claims (1)
1.一种分选机处理晶圆片的系统，其特征在于包括：晶圆片检测装置、分选机数据转换单元、分选机控制装置和分选机执行装置，其中晶圆片检测装置的输出端接分选机数据转换单元的输入端，分选机控制装置与分选机数据转换单元双向通信，分选机控制装置的输出端接分选机执行装置的输入端。
Priority Applications (1)
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| CN2010206228269U CN201940377U (zh) | 2010-11-25 | 2010-11-25 | 分选机处理晶圆片的系统 |
Applications Claiming Priority (1)
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Publications (1)
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| CN201940377U true CN201940377U (zh) | 2011-08-24 |
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Family Applications (1)
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| CN (1) | CN201940377U (zh) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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| CN112588617A (zh) * | 2020-11-25 | 2021-04-02 | 海光信息技术股份有限公司 | 一种分等级筛选芯片的方法、装置及电子设备 |
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2010
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Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
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| CN112588617B (zh) * | 2020-11-25 | 2022-07-19 | 海光信息技术股份有限公司 | 一种分等级筛选芯片的方法、装置及电子设备 |
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| C14 | Grant of patent or utility model | ||
| GR01 | Patent grant | ||
| PP01 | Preservation of patent right |
Effective date of registration: 20141204 Granted publication date: 20110824 |
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| RINS | Preservation of patent right or utility model and its discharge | ||
| PD01 | Discharge of preservation of patent |
Date of cancellation: 20150604 Granted publication date: 20110824 |
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| RINS | Preservation of patent right or utility model and its discharge | ||
| CF01 | Termination of patent right due to non-payment of annual fee |
Granted publication date: 20110824 Termination date: 20141125 |
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| EXPY | Termination of patent right or utility model |